Способ изготовления электровакуумных приборов

ПйэЛИ саЮФТФВСТВЧ операции установки в оболочку прибора подложки с газопоглотителем из двойного гйдрида лантана и урана - 238, откачки прибора и активиров- ки газопоглотителя, о т л и ч а вв и й с я тем, что, с целью улучшения вакуума в приборе, газопоглотитель изготавливают из смеси двойно 1"о гидридалаитана и урана с 16-20 порошка,металлического тория, размещенной на : ииобиевой поддожке, а активировку газопоглотителя осуществляют путем териического напылителя лантана на Оболочку прибора при температуре 1600-1650 С в течение 8-10 с. ио ГОСУДМфсЗВВЮИЙ КОМИИТ СССРПР ДВии МВ 69 ВАНН.Н ОВЕЙ ОПИСАНИЕ ИЗО(21) 336074/18-3122) 02.12.8146) 30.05.83. Ввяъ В 2072) Г.Д.Глебов71) Московский институт электромашиностроения.56) 1. Глебов Г.Д. Поглощениеактивными юталлааю. К., Госэиеиздат, 1961, с, 10-162. Авторское свидетельство СССРв 738465 кл и 01 .У 7/18, 1978прототип ) ю(54) (57) СЗЮСОВ ИЗГОТОЮВНИИ ЭТРОВАМУУИНЫХ ПРИЗОРОВ, вклияа 3 еюи 80 .1020883(ЩЗИ, как правило бария , термически напыленной на оболочку (корпус) 10ЭВП 1.Недостатком данного способа являются ограниченная активность и сорбционная емкость пленок Ц 1 ЗМ, особенно в части кислорода и водорода, 15Наиболее близок к предлагаемомуспособ изготовления электровакуумныхприборов, включающий использованиев качестве исходного газопоглотитель-,ного материала двойного гидрида лантана и урана -238, Этот способ основан на достаточной устойчивости указанного двойного гидрида в простейшей бескислородной и осушенной защитной среде 2 .Однако в соответствии с известнымспособом напыление двойного гидридана подложку осуществляется вне ваку. умного прибора, плазменно-дуговымметодом, с последующей установкойгазопоглотителя в прибор, откачкой30прибора и активировкой его в процессе откачки при 400-600 С, т.е. беэтермического переиспарения металлана оболочку. Поэтому получить газопоьлотитель, состоящий из чистого ланта на, не удаетсяТак как уран обладает сравнительно худшими сорбционными свойствами, то, если геометрическая площадь поверхностМ газопоглоть- теля ограничена, например 10-30 см , 40дальнейшее улучшение вакуума всоответствии с указанным способомневозможно,Цель изобретения - улушение вакуума в электровакуумных прибоРах.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу изготовления электровакуумных приборов, включающему операции установки в оболочку прибора подложки с газопоглотителем иэ двойного гидрида лантана иурана - 238, откачки прибора и активировки газопоглотителя, последнийизготавливают из смеси двойного .гидРида лантана и урана - 238 с 16-20порошка металлического тория, размещенной иа ниобиевой подложке, а акти вировку газопоглотителя осуществляютпутем термического напыления лантанана оболочку прибора при 1600-1650 Св течение 8-10 с. 60Предлагаемый способ основываетсяна заметном повышении устойчивостидвойных гидридов редкоземельных .элементов РЗЭ ) и актинидов при до 1 бавке к ним тонкоизмельченного тория,65 который выс.рупает как ингибитор окисления и,распада, а также на том, что после вакуумного дегидрирования подобной смеси единственным летучим элементом в сочетании лантан-уран-торий-ниобий остается только лантан. Сравнительная упругость паров металлов при 1600-1650 С приведена ниже, Па: лантан г 200-300; уран 0,03", торий 510 4; ниобий 4.0 8 . Кроме того, указанная добавка тория способствует спеканию или сплавлению нераспиленного остатка с ниобиевой подложкой и, таким образом, придает гаэопоглотителю необходимую вибро- и ударопрочность. Подложки из молибдена или вольфрама в этом смысле менее подходящи.Полученный вакуумный возгон пленка чистого лантана на стеклянной . или металлической оболочке ЭВП активно взаимодействует со всеми остаточными газами, обеспечивая вблизи нормаль ной температуры стабильную удельную скорость поглощения порядка 1,2- 1,5 л/с. см).П р и м е р. В углубление подложкиполочки, Флажка ) из листового ниобия толщиной 0,1-0,15 мм запрессовывают в камере с сухой углекислотой порошок смеси из 30 мг двойного гидрида лантана и урана и 6-7 мг тория. Гранулометрический состав порошков соответствует 10-40 мкм, давление прессования м 0,5 МПа. Полученный газопоглотитель монтируют в прибор, избегая длительных экспозиций на атмосфере. Прибор подвергается гермети зации и откачке. Когда давление в йем падает до ф 0,01 Па, выполняют с помощью токов высокой частоты (ТВЧ) дбгидрирование геттерной массы, выдерживая ее при 650-700 С, в течение 4-5 мин. Промывка прибора выделяющимся водородом дает, как правило, дополнительный положительный эффект. затем, увеличивая канал, осуществляют при 1600-16500 С в течение 8-10 с распыление лантана. В результате на поверхности оболочки ЭВП образуется чрезвычайно активная пленка, которая энергично связывает остаточные газы, и давление в Приборе Обычно падает ниже 10Па.аКомпонентный состав исходной смеси, а именно 84-80 двойного гидрида лантана и урана и 16-20 порошка ме таллического тория, выбран с учетом того, что при 10-15-ном содержании тория устойчивость газопоглотителя на атмосферу заметно ухудшается, Если же содержание тория превышает г 25, выход лантана падает, а запрес. совка исходной смеси в подложку становится затрудненной.Температурно-временной режим распыления, а именно 1600-1650 С, 81020883 Составитель Г,ЖуковаРедактор И.Рачкулинец ТехредМ.Тепер . Корректор В.Бутяга Заказ 3906/44 . Тираж 703 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патентф, г.Ужгород, ул.Проектная,4 10 с, определяется следующим образом.Указанный температурный диапазон соответствует упругости паров лантана порядка 300 Па. При пониженной на 100-150 фС температуре .скорость испарения этого. металла резко падает и геттерная пленка практически не возникает. С другой стороны, разогрев исходной массы газопоглотителя до 1700-1750 С может приводить к опасно-.й му размягчению близко расположенных деталей ЭВП. Крсье того, лантан начинает интенсивйо сплавляться с подлож кой. Еслй время распыления меньше .6-8 с, выход лантана недостаточен, а если оно превышает 15-20 с, детали могу деФормироваться.По.сравнению с плазменным напыле- . нием лантайидови актинидов по извест. ному способу предлагаевнй способ за счет более глубокого конечного вакуума обеспечивает увеличение срока службы специальных ЭВП на 2-3 тыс. ч. и повышает эффективность работы элекрофизических устройств.