Пьезоэлектрический материал

Номер патента: 992485

Авторы: Брайко, Зобова, Сиворонов, Якшин

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическикРеспублик. СССР но делан изобретений н открытий(23) ПриоритетЭ Опубликовано 3001.83. Бюллетень Мо 4 Дата опубликования описания 30,01.83 153) УДКббб. б 55) Заяв 4) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕС ЕРИАЛ 0 о техн ому яв Изобретение относится к акустической технике и может быть использовано в частности при изготовлении тонкопленочных пьезоэлектрических 5 преобразователей поверхностных акус" тических волн (ПАВ).Известны материалы для изготовления тонких пьезоэлектрических пленок на основе соединений А В (1).Недостатком тонкопленочных слоев этих материалов является невысокая стабильность параметров осаждаемых пленок, а также трудность получения высокоориентированных структур с малыми размерами зерен, что приводит к снижению эффективности преобразования ПАВ с повышением рабочих частот.Паиболее близким п ической сущности к предлагаем ляется пьезоэлектрический материал на основе окиси цинка 2).Недостатком известного материала :,является большой размер зерна (более 100 нм) в планках, полученных мето-. 25 дом высокочастотного ионноплазменного распыления при температурах подложки выше 200 оС (3), что не обеспечивает высокой эффективности преобразования на ВЧ, а также воспроиз- ЗО водимости получения стабильных скоростей распространения ПАВ в пленке.Цель изобретения - улучшение стабильности скорости распространения поверхностей акустической волны и эффективности преобразования за счет снижения потерь.Поставленная цель достигается тем что пьезоэлектрическийматериал для тонкопленочных акустических устройств содержащий оксид цинка, дополнительно содержит аморфный бор при следующем соотношении компонентов, мас.ФгОксид цинка 90-99,99 Аморфный бор 0,01-10 Введение бора препятствует росту зерна впроцессе образования пленки, а сосредоточение атомов бора по границам зерен в осажденной пленке способствует стабилизации ее структур.П р и м е р 1. Оптимальное соотнсгггение компонентов, мас.ЪгОкись цинка 98,8 Аморфный бор 1,2Порошкообразные аморфный бор и окись цинка тщательно перемешиваются в холцедоновых барабанах на плакетарно-шаровой мельнице в среде этилового спирта. Весовое соотношение компонентов при помоле подбирается992485 Удельное электро" Стабильностьсопротивлеиие, скорости, ПАВОм см Состав, весВеличина потерь на частотах, дб 2 пО; В 35 86 МГ Предлагаемы99,99 0,0 4 10 -4;10 5 6 2 10 -10 6 Д 5. 10 -8;10,5 98,8 1, 90 10 2 2 ротоип 210 2,5 34 50 формула изобретения Тираж 620 Подписно ВНИИПИ Заказ 361/27 пиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4 из расчета 1 мл этилового спирта на 1 г порошка. Время помола 5-6 ч. Полученную смесь сушат в термошкафу упри 10545 фС до полного удаления спирта и протирают через сито 40 мкм для разрушения коогломеритов. Гото вая порошкообразная смесь должна иметь удельную поверхность не менее г 5000 смз./г.П р и м е р 2. Максимальное содержание компонентов вес.З; 10Окись цинка 90Аморфный бор 10Технология получения материала аналогична примеру 1. Предлагаемый состав позволяет получать на сапфировых и стеклянных подложках методом ВЧ-ионноплазменного распыления пьезоэлектрические 35 пленки со следующимй характеристикамиУгол разориентацииоси С текстуры (0001) Менее 2 еРазмер зерна в пленкепри температурах, 46подложки при осажде"нии более 200 фС Менее 50 нмСтабильность воспроизводимости скоростираспространения ПАВ Не хуже 2,2Удельное электросопротивление пленок 4 ф 10 +8108 Ом смПреимущество пьезоэлектрического материала заключается в том, что он позволяет получать текстурированные мелкозернистые пьезоэлектрические пленки для преобразователей ПАВ со значительно большей стабильностью скорости распространения ПАВ и эффективности преобразования ПАВ на 55 различных частотах. Пьезоэлектрический материал для 60тонкопленочных акустических устройств П р и м е р 3. Минимальное содержание компонентов, вес, Ъ:Окись цинка 99,99 Аморфный бор 0,01 Технология получения материала аналогична примеру 1.Полученные материалы в виде спиртовой суспензии наносВт на мишень- подложку нз керамики ВК 94-1 и распыляют методом ионноплазменного распыления. В таблице приведены свойства полученного материала в зависимости от состава,содержащий оксид цинка, о т л и ч аю щ и й с а тем, что, с целью улучшения стабильности скорости распространения поверхностей акустическойволны и эффективности преобразования эа счет снижения потерь, он дополнительно содержит аморфный борпри следующем соотношении компонентов, мас. ЪОксид цинка90-99,99Аморфный бор 0,01-10Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Паэерно И,Б., Высоцкий Ю.А,Анализ перспектив использования вмикроэлектронике пьезоэлектрическихпленок соединений А 1 ВВ - в сб.1 фКонструктивно-технологические проблемы микроминиатюризации радиоэлектронной аппратуры, Л., 1977,с. 17-20.2. Хикерпелл Ф, Преобразователиповерхностных волн на тонких пленках окиси цинка, ТИИЭР; 1976, т. 64,9 5, с. 70 (прототип),3, Мочалов Б.Ф Стрельцова Н.Н.,Шермегор Т,Д. Получение пьезоэлектрических пленок БпО методами ионноплазменного распыления.- Электронная техника, Сер. 6 Материалы , 1979,вып. 11, с. 127-128.

Смотреть

Заявка

3323576, 20.07.1981

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8525

СИВОРОНОВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, БРАЙКО ГЕОРГИЙ ИЛЬИЧ, ЗОБОВА НАТАЛЬЯ СЕРГЕЕВНА, ЯКШИН АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C04B 35/453

Метки: материал, пьезоэлектрический

Опубликовано: 30.01.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-992485-pezoehlektricheskijj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пьезоэлектрический материал</a>

Похожие патенты