Способ изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов

(22) Заявлено 19. 82. 81 (21) 321525/1с нрисоедивевнем заттвкн МГ 4 судэРстзквкьй ккюи сесе(23) П тет -ковано 15,01. 83. Бтоллетен яубл 4.8 Б88.8) делзм кэвбретеиий и открытий вублнкования овисання 15,03 Ав И.Н.Кондратьев, Г.Н,Сел ни Иркутский государственный педагогический инсти 71) Заявитель РЕСТРАИВАЕИОГОВНЫХ КАНАЛОВ 5 Й ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НОСИТЕЛЯ НИЗКОКОЭРЦ 1Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении носителя низкокоэрцитивных каналов.Известен способ получения носителя низкокоэрцитивных каналов, в котором имеется возможность многократного варьирования .конфигурацией низкокоэрцитивных каналов на одном носителе,Согласно этому способу на много-. кристаллическую подложку методом химического транспорта осаждают плен ки кобальтового или марганцевого ферритов с перпендикулярной анизотропией, затем, методом напыления в вакууме на полученный слой наносят диэлектрическую прослойку 1 Г, а затем металлический слой с плоскостной анизотропией Ге-й 1. Для получения низкокоэрцитивных каналов на таком носителе размагничивают слой с перпендикулярной анизотропией в переменном магнитном поле, перпендикулярном поверхности носителя, азатем заостренным концом постоянного магнита проводят над тем местом,где должен быть низкокоэрцитивныйканал, В такой системе имеется возможность создавать, стирать и вновьзаписывать низкокоэрцитивные каналы 1.11,Недостатком этого носителя является то, что осаждение методом химического транспорта предполагает наличиеспециальной сложной в техническомисполнении установки, в которой не"обходимо контролировать и поддерживать в течение длительного временимногие параметры (,состав газоносителя, его скорость, температуру и т.д.),оВыход годных изделий при газотранс.портной реакции из-за ее нестабильности меньше, чем при вакуумном напылении. Кроме того, после полученияслоя кобальтового феррита на газо989582 ВНИИПИ Заказ 11136/70 Тираж 592 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 транспортной установке необходимо переносить образцы на установку вакуумного напыления для нанесения слоев диэлектрика и магнитного слоя с плоскостной анизотропией. Перенос образцов с установки на установку неизбежно сопровождается их дополнительным загрязнением, что также сказывается на дальнейшем выходе годных изделий.Цель .изобретения - упрощение изготовления.Цель достигается тем, что согласно способу изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов, включающему нанесение двух металлических магнитных слоев с перпендикулярной и плоскостной анизотропией и диэлектрической прослойки на подложку, все слои наносятся вакуумным напылением и первым напыляют слой с плоскостной анизотропией.Кроме того, слой с перпендикулярной анизотропией напыляют под углом 50-70 к подложке, а плоскость падения луцка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя.Кроме того, напыление слоев проводят при 200-300 С.Способ осуществляют следующим образом.Первым производят напыление металлического слоя из сплава М 1 80 и Ге 203 при 250 С на подложку изастекла. Толщина магнитного слоя 800 Аи ось легкого намагничивания параллельна плоскости подложки. Затеи производят напыление. диэлектоического слоя 10 толщиной 250 А. при той же температуре, Затем производят напыление металлического магнитного слоя Ре-Й 1 того же состава с перпендикулярной анизотропией под углом 50 фк плоской основе, толщиной 0,5 микрон при той же температуре, причем плоскость падения пучка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя Низкокоэрцитивные каналы формируют следующим образом. Насыщающее магнитное поле прикладывают так, чтоб его направление совпадало с осью анизотропии верхнего слоя, магнитное поле поворачивают на 90 ф относительно начального направления вдоль осианизотропии первого слоя.Данный способ позволяет понизить,отношение коэрцитивной силы низко 5. коэрцитивного канала к коэрцитивнойсиле остальной части носителя в 3раза по сравнению с прототипом,чторасширяет рабочий диапазон носителяи увеличивает его помехоустой 10 чивость. Изготовление носителяпроизводят на одной и той жеустановке вакуумного напыления материала за один технологический цикл,включающий в себя: напыление магнит 15 ного слоя с плоскостной анизотропиейпри определенной температуре, слоядиэлектрика при той же температуре .и слоя с перпендикулярной анизотропией и полосовой доменной структурой2 О при той жетемпературе под угломк подложке. Таким образом, отпадает необходимость в установке газотранспорта,что позволяет упростить технологию изготовления носителя, увеличить25 производительность путем уменьшениявремени на технологический цикл иснизить себестоимость носителя засчет более простой технологии.Формула изобретенияЗО 1, Способ изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов, включающий нанесениедвух металлических магнитных слоевс перпендикулярной и плоскостнойанизотропией и диэлектрической прослойки на подложку, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения изготовления, все слои наносятся вакуумным напылением и первым4 О напыляют слой с плоскостной анизотропией.2. Способ по и. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что слой с перпендикулярной анизотропией напыляют подуглом 50-70 к подложке, а плоскостьпадения пучка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя.3. Способ по пп.1 и 2, о т л ич а ю щ и й с я тем, что напылениеслоев проводят при 290-300 ОС.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 60309 М, кл. О 11 С 11/1 Й, 1974.55