Способ обработки твердых материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛО я к обработкеастности кботке полуИ тверд алмаз прово И ердыхбраимеетразуюепленфовки т одным хностьуру, о незак хрупкэивомравнощуюсяных абОдспособ ость это а низка. обретение относитсых материалов, в чно-абразивной обрадниковых пластин.вестен способ шлиих материалов своб.Шлифованная повемерно-матовую факпри перекатыванииразивных зереннако производител Известен также способ обработки1 твердых материалов, согласно которОму шлифовка твердых материалов связанным. абразивом производится с многократным выхаживанием для повышения качества обработанной поверхности 1 23.Однако процесс выхаживания не устраняет характерных следов реза, не позволяет получить однородйую поверхность обрабатываемого материала. Цель изобретения - получение одно родной поверхности пластин при высокой производительности процесса.Указанная цель достигается тем, что в известном процессе, включающем операции шлифования связанным абразивом и выхаживания, после шлифования связанным абразивом на этапе выхаживания в зону обработки подают абразивную суспензию с .величиной зерна ;равной размеру выступающей части зерна связанного абразива.Применяемый свободный абразив должен иметь размер зерна приблизительно равный размеру выступающей из связ ки части зерен шлифовального круга. Так как в связанном абразиве пример- . но 1/3 часть зерна находится в связке, то размер зерен свободного абразива должен быть приблизительно равен 2/3 размера зерна связанного абразива, т.е. размеру выступающей части зерна связанного абразива. При меньшем размере зерен свободного абраФормула изобретения Составитель С,Ухорский Редактор Н.Безродная Техред Ж. Кастелевич Корректор М,ДемчикЗаказ 3612/1 Й Тираж 882 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 11303, Москва, Ж, Раушская наб., д.ч/5Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,3 93138 зива (менее размера выступающей части его .действие неэффективно; так как на поверхности обрабатываемого материала остаются в виде рисок следы шлифования связанным абразивом. При большем размере зерен свободного абразива (больше размера выступающей части зерна связанного абразива) ухудшается класс шероховатости поверхности обрабатываемого материала 10 и увеличивается глубина нарушенного поверхностного слоя.При обработке пластин фосфида галлия алмазным кругом поверхность пластин имеет характерную сетку с четко 15 выраженными следами реза от алмазного круга. После удаления основного припуска материала в зону обработки на этапе выхаживания подается абразивная суспензия с микропорошком. По- о верхность пластин после обработки имеет однородную поверхность, следы реза отсутствуют.Способ позволяет сочетать высокую производительность шлифования связан-ным абразивом при съеме основного припуска материала на обработку и обеспечивать высокие геометрические параметры пластин ( плоскостность, клиновидность) при требуемой однород- о ности поверхности, получаемой при шлифовании свободным абразивом.Завершение процессашлифования (выхаживания) при подаче в зону об 7 4работки свободного абразива в видесуспензии не увеличивает длительнос.ти процесса шлифования и не требует.реконструкции существующего спецтехнологического оборудования. 1. Способ обработки твердых материалов, включающий операции шлифования связанным абразивом и выхаживание, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения однородной поверхности пластин при высокой производительности процесса, непосредственно после шлифования связанным абразивом на этапе выхаживания в зону обработки подают абразивную суспензию.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что абразивная суспензия, подаваемая в зону обработки на этапе выхаживания., содержит абразив с величиной зерна равной размеру высступающей части зерна связанного абразива. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1.Бочкин И.О. и др, Механическая обработка полупроводниковых материалов. М., 1977, с.20.2. Авторское свидетельство СССР Й БАМ ЗЙ, кл. В 2 Й В 1/00, 1975.
СмотретьЗаявка
3002877, 03.11.1980
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2836
ЛИБО ГРИГОРИЙ ЕВЕЛЬЕВИЧ, ЗАХАРОВ БОРИС ГЕОРГИЕВИЧ, ДМИТРИЕВА ТАМАРА ВАСИЛЬЕВНА
МПК / Метки
МПК: B24B 1/00
Метки: твердых
Опубликовано: 30.05.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-931387-sposob-obrabotki-tverdykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки твердых материалов</a>
Предыдущий патент: Поточная линия для обработки труб
Следующий патент: Способ притирки
Случайный патент: Способ получения пиколиновой или 6-метилпиколиновой кислот