Номер патента: 912521

Авторы: Воробьев, Розум

ZIP архив

Текст

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ои 912521(53) УДК 679.8, .02(0888) па делзи изабретений н атхрытнй(72) Авторы изобретения С.А,Воробьев и Е.И.Розум Научно-исследовательский институт ядернойпри Томском политехническом институте им. С зикитп:,1, .(54) СПОСОБ ИЗГИБА КРИСТАЛЛОВ 0 стиц. Изобретение относится к тонкой обработке кристаллов и может быть использовано для изгиба кристаллов, применяемых в качестве дифракционных решеток в кристалл"дифракционных гамма-спектрометрах с изогнутым кристаллом, для отклонения пучков заряженных частиц методом каналирования и для получения электромагнитного излучения пучков отклоняемых чаПо основному авт, св. В 799959 известен способ изгиба кристалла, включающий введение кристалла в кон 1 такт с пластиной и наложение на пластину внешних изгибающих сил, причем введение кристалла в контакт с пластиной осуществляют в вакууме при 200-1200 аС путем напыле 20 ния на одну из поверхностенкристалла слоя материала, коэффициент теплового расширения которого не равен коэффициенту теплового расширения кристалла, а наложение на пластину внешних изгибающих сил осуществляют охлаждением кристалла и пластины до 18-22 С 13 .Цель изобретения - получение кристалла с неравномерным радиусом изгиба.Указанная цель достигается тем, что в способе изгиба кристалла в контакт с пластиной вводят кристалл с переменной толщиной по его длине.Способ осуществляется следунзцим образом.Монокристаллическую пластину предварительно. выполняют неравномерной по толщине, например, в виде клина. При охлаждении такого кристалла и нанесенной на его поверхность пленки, равномерной по толщине, но имеющей больший (или меньший) коэффициент теплового расширения, на поверхность кристалла в месте контакта его с пленкой действует сжимающее (или растягивающее) усилие, одинаФормула изобретения Составитель Х.ХамидуловТехред М. Надь Корректор А.Ференц Редактор Н.Воловик Заказ 1257/23 Тираж 604 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5, счет неравномерной жесткости кристалла, - в сечении с меньшей толщиной она меньше, в сечении с большейтолщиной - больше, кристалл изгибается также неравномерно, - в местахменьшей толщины радиус изгиба меньше, в местах большей толщины радиусизгиба больше,П р и м е р. Кристалл кремния 1 О-будельное сопротивлениер =100 ом/см.предварительно шлифуют и изготавливают в виде клина со следующими размерами: длина 20 мм, ширина 20 мм,толщина у основания 200 мкм, толщиона у вершины 20 мкм, угол - 5 . На отшлифованную и полированную поверхность кристаллической пластины наносят слой 510(коэффициент тепловогорасширения ъ =3 1 О град ) методом катодного распыления в вакууме на установке УВРпри 400 С, Затем кристалл медленно охлаждают до 20 С и извлекают из вакуума. Толщину нанесенного слоя контролируют микроинтерферометром МИМ, Радиус изгиба определяют оптическим методом на установке ОСК, Полученный радиус изгиба изменяется по закону К=А Х где 1 - постоянная, зависящая от упругих свойств 4пленки и кристалла, геометрических размеров кристалла и составляет от К - 800 см у основания клиновидного кристалла до В = 100 см у его вершины. При предварительном изготовлении кристалла другой заданной формы можно получить заданные законы и величины кривизны изогнутых кристаллов.Использование предлагаемого способа изгиба кристалла позволяет создать . неравномерно изогнутые кристаллы, регулировать радиус изгиба кристаллов с возможностью задания закона изменениякривизны кристалла. Это необходимо для регулирования частоты получаемого излучения и поворота изгиба частиц на различные углы. Способ изгиба кристаллов по авт. св. М 799959, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что,. с целью получения кристалла с неравномерным радиусом изгиба, в контакт с пластиной вводят кристалл с переменной толщиной по длине. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРН 799959, кл. В 28 0 5/00, 1977.

Смотреть

Заявка

2888554, 25.02.1980

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ ПРИ ТОМСКОМ ПОЛИТЕХНИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ ИМ. С. М. КИРОВА

ВОРОБЬЕВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, РОЗУМ ЕВГЕНИЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B28D 5/00

Метки: изгиба, кристалла

Опубликовано: 15.03.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-912521-sposob-izgiba-kristalla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изгиба кристалла</a>

Похожие патенты