Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 898122
Авторы: Дубова, Захарова, Корецкий, Мартинсон, Нестеренко
Текст
(и 1898122 ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ к двторСКОмЬ СвиДЕтедьСтвм Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ФОпубликовано 15.01.82. Бюллетень 2Дата опубликования описания 15.01.82 по делам изобретений и открытий(54) ВЫСОКОВАКУУМНОЕ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩЕЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОИСТВО(23) Приоритет -Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к быстродействующим откачнцм устройствам.Известны вцсоковакуумнце бцстродействующие откачнце устройства, содержащие. диффузионный насос с тарельчатцм затвором и соединенный с ним трубопроводом форвакуумнцй насос с расположенными на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой 1.Недостатками известных устройств являются ограниченная производительность, а также значительное загрязнение откачиваемого объема парами рабочих жидкостей насосов вследствие их миграции.Целью изобретения является повышение производительности и исключение миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемцй объем.Указанная цель достигается тем, что затвор дополнительно снабжен сорбционной ловушкой, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотная заслонка имеет капиллярное отверстие.На чертеже представлена схема устройства. Вцсоковакуумное быстродействующее отъачное устройство содержит диффузионнцйнасос 1 с тарельчатцм затвором 2 и соединеннцй с ним трубопроводом 3 форвакуум.нцй насос 4 с расположенными на входе поворотной заслонкой 5 и сорбционной ло-.вушкой 6, причем затвор 2 дополнительно снабжен сорбционной ловушкой 7, размещенной в вцполненном в тарели отверстии, и поворотная заслонка 5 имеет капиллярное отверстие 8. Устройство соединяется с отка чиваемцм объемом 9, имеющим напускнойвентиль 10.Устройство работает следующим образом Газ из откачиваемого объема 9 удаляется диффузионным насосом 1 с рабочей жидкостью, стойкой к воздействию атмосферы в трубопровод 3, и оттуда - форвакуумнцм насосом 4. При необходимости кратковременной разгерметизации рабочего объема, например, для замены какого-либо изделия, тарельчатцй затвор 2 и поворотная заслонка 5 находятся в положении закрцто, При этом через отверстие 8 в форвакуумнцй ,насос 4 .поступает ограниченное количествогаза, что не приводит к срыву рабочего83режйма насоса. После герметизации объема 9 газ откачивается диффузионным насосом через ловушку 7, что позволяет практически исключать миграцию паров рабочих жидкостей в откачиваемый объем. По достижении в объеме диффузионного насоеа давления, обеспечивающего нормальную работу форвакуумного насоса,заслонка 5 открывается, а по достижении давления в откачиваемом объеме, обеспечивающего нормальную работу диффузионного насоса, открывается затвор 2. Таким образбм, затвор 2 работает в положении открыто как механическая ловушка, а в положении закрыто как сорбционная, что позволяет изменять ее проводимость в зависимости ат условий работы диффузионного насоса снижая тем самым загрязнение откачивае мого объема парами рабочих жидкостей. формула изобретенияВысоковакуумное быстродействующее откачное устройство, содержащее диффузионный насос с тарельчатым затвором и со.единенный с ним трубопроводом форвакуум ный насос с расположеннымн на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и исключения миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемый объем, затвор дополнительно снабжен сорбционной ловушкой, размещенной в выполненном в тарелн отверстии, и поворотная заслонка имеет капилляриое отверстие.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Пауэр Б. Д. Высоковакуумные откачные устройства. М., Энергия, 1969, с. 148.Техрс тираж 113035илиал П едактор Л. Повхааква 1915/50ВНИ витель В. Криковкин Л А. Бойкас Ко б 70 По венного комитета СС ретеиий и открытий 5, Раушская иаб., д Ужгород, ул. Прое
СмотретьЗаявка
2133545, 15.05.1975
Заявитель.
МАРТИНСОН ЕВГЕНИЙ НИКОЛАЕВИЧ, НЕСТЕРЕНКО АЛЕКСЕЙ ГЕОРГИЕВИЧ, ЗАХАРОВА ЕЛЕНА СЕРГЕЕВНА, ДУБОВА ВАЛЕНТИНА МИХАЙЛОВНА, КОРЕЦКИЙ ГЕННАДИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04F 9/00
Метки: быстродействующее, высоковакуумное, откачное
Опубликовано: 15.01.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-898122-vysokovakuumnoe-bystrodejjstvuyushhee-otkachnoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство</a>
Предыдущий патент: Скважинная насосная установка
Следующий патент: Привод шагового перемещения
Случайный патент: Кузнечный горн