Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей

Союз Советски кСоциалистическихреспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТБЗЬСТВУ 1 В 894386(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦАЕМЫХ ЭЛЕМЕНТОВ КОНТРОЛЬНЫХ ТЕЧЕЙ 1Изобретение относится к технике испытания изделий на герметичность, в частности к способам изготовления проницаемых элементов контрольных течей.Известен способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что стеклянный капилляр помещают в форму, пропускают через капилляр газ под давлением и заполняют форму вакуумно-плотным от 10 вердевающим полимерным материалом так, чтобы выходной канал проницаемого элемента образовывался в поли" мерном материале выходящим из капилляра газом 1.Недостаток известного способа заключается в нестабильности величины пропускной способности получаемых проницаемых элементов вследствие из 26 менений проходного сечения канала в полимерном материале, химическая стойкость которого значительно ниже стойкости стекла при пропускании через него сред, содержащих органические растворители.Наиболее близким по технической сущности к изобретение является способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что напыляют в вакууме на наружную поверхность стеклянного капилляра токопроводящий слой и электролитически осаждают на него ваку- умно-плотный слой металла, При электролитическом осаждении для исключения попадания жидкости в полость капилляра осуществляют продувку капилляра газом под избыточным давлением 121.Недостаток указанного способа заключается в ограниченности диапазона получаемых контрольных течей по пропускной способности, поскольку для продувки газом капилляров, диаметр которых меньше 0,3 мкм, требуется подавать газ в капилляр под давлением, превышающим его прЕдел прочности.894386410 15 УО филиал ППП "Патент", г. Ужгород,ул.Проектная, Ч Цель изобретения - расширение диапазона величин пропускной способности.Указанная цель достигается тем,что перед электролитическим осаждением герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра нерастворимым в электролите материалом, а после электролитического осаждения отрывают герметизированный конец капилляра усилием, превышающим предел прочности стенки стеклянного капилляра.Кроме того, отрывают конец стеклянного капилляра путем подачи в капилляр сжатого воздуха.Способ осуществляется следующим образом.Стеклянный капилляр с диаметром выходного канала 0,.08 мкм закрепляют в вакуумной камере под углом 45 к направлению напыления токопроводящего материала из ячейки испарителя (чтобы исключить металлизацию выходного канала капилляра) и, вращая капилляр вокруг его оси, напыляют медь на наружную поверхность капилляра до толщины напыленного слоямкм. После вакуумного нанесения слоя меди капилляр закрепляют в оправку или гермозажим и, перемещая с помощью микрометрической подачи к сужающейся части капилляра миниатюрный диск из фторопласта с предварительно загустевшим эпоксидным клеем, фиксируют момент касания конца капилляра с клеем. Фиксация момента касания осуществляется либо визуально с помощью микроскопа, либо при закреплении капилляра в гермозажим, по прекращению выхода из капилляра индикаторного газа, подаваемого в него через гермозажим и регистрируемого течеискателем в откаченном объемеПосле отвердения клея, т.е, герметизации концевого участка капилляра, его вместе с приклеенным фторопластовым диском помещают в электролизер с анодами из меди марки М 1 и приспособлением для вращения капилляра, и на токопроводящий слой электролитически осаждают медь в течение двух часов до толщины слоя около 1 мм.Герметизация конца капилляра эпоксидным клеем с приклеенным фторопластовым диском позволяет в процессе электролитического осаждения ограничить рост металла в осевом нап,ВНИИПИ Заказ 11466/62 равлении, что дает возможность получать проницаемые элементы, у которых выход канала стеклянного капилляра находится на одном уровне с ваку- умно-плотным слоем металла. После электролитического осаждения капилляр извлекают из электролизера, промывают дистиллированной водой и просушивают в струе сжатого воздуха. При изготовлении проницаемых элементов, рассчитанных на потоки газа порядка 10 л мкм/с и менее, капилляр отрывают от фторопластового диска механическим усилием, превышающим предел прочности фиксированных клеем частей стеклянного капилляра.При изготовлении проницаемых элементов, расчитанных на потоки газа более 10 л мкм/с, конец капилляра отрывают сжатым газом, который подают в полость капилляра,Использование изобретения позволяет получать проницаемые элементы на потоки газа порядка 10 л мкм/с и,менее при перепадах давления от 0,1 до нескольких атмосфер.Формула изобретения1. Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, зазо ключающийся в том, что напыляют в вакууме на наружную поверхность стеклянного капилляра токопроводящий слойи электролитически осаждают на неговакуумно-плотный слой металла, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью расширения диапазона величинпропускной способности, перед электролитическим осаждением герметизируют концевой участок сужающейся час 40 ти капилляра нерастворимым в электролите материалом, а после электролитического осаждения отрывают герметизированный конец капилляра усилием,превышающим предел прочности стенкистеклянного капилляра,2. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что открывают конецстеклянного капилляра путем подачив капилляр сжатого воздуха.Источники информациипринятые во внимание при экспертизе,. 1, Авторское свидетельство СССРпо заявке М 2627086/25-28,кл,б 01 М 3/02,1978;2, Авторское свидетельство СССРпо заявке 1 2776531/25-28,кл,б 01 М 3/02,1979 (прототип),Тираж 910 Подписное