Проекционный объектив

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(6) М, Кл.а б 02 В 13/24 Государственный номнтет Опубликовано 30.11 81. Бюллетень 44па делам нзобретеннй и открытийДата опубликования описания 05.12.81(72) Авторы изобретения евич и В. И.(54) ПРОЕКЦИОННЫИ ОБЪЕКГИ Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в установках мультипликации и совмещения.Известен объектив, состоящий из восьми компонентов 1.Недостатком объектива является малое разрешение.Наиболее близким к предлагаемому изобретению является проекционный объектив, содержащий девять компонентов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную .диафрагму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен из двухсклеенной отрицательной линзы, шестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, сельмой и восьмой компоненты выполнены из одиночных положительных линз а девятый компо-. нент - одиночная отрицательная линза 2. а является малетром 20 мм.увеличение разректива. вяти ком поперагмы О. ш Недостатком объективзрешение на поле днам Цель изобретенияающей способности объ Поставленная цель достигается тем, что в проекционном объективе, содержащем девять компонентов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную диафрагму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен из двухсклеенной отрицательной линзы, шестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме седьмой и восьмой компоненты выполнены в виде одиночных положительных линз, а девятый компонент - одиночная отрицательная линза, второй компонент выполнен из одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, передний компонент состоит из двух склеенной положительной линзы, а четвертый компонент выполнен в виде одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к плоскости изображения.На чертеже приведена оптическая схема объекти ва. Объектив состоит итов- 9 и апертурной/ /ЪЪ; ЪЯ7 Составитель М.Техред А. БойкасТираж 542ПИ Государственного коделам изобретений иМосква,. Ж - 35, РаушскП Патент, г. Ужгород,ЧебедевКорректор В. СПодписноемитета СССРоткрытийая иаб., д. 4/5ул Проектная 4 Редактор И. ТыиейЗаказ 0539/58ВНИИп.113035,Филиал ПП ицкая Компонент 1 - положительная одиночная линза с соотношением радиусов 1:20, б, выполненная из баритового крона. Компонент 2 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета с соотношением радиусов 1:1,18, выполненный иэ сверхтяжелого крона и установленный на расстоянии равном 0,28 фокусного расстояния всего объектива от диафрагмы 10, расположенной между компонентами 1 и 2. Компонент 3 - положительная линза, склеенная из двух линз 1 и 12, и выполненных соответственно из сверхтяжелого крона и тяжелого флинта, разность показателей преломления которых, составляет 0,0016, а разность дисперсий 18. Компонент 4 - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, выполненный иэ сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1;5,4. Компонент 5 отрицательная линза,. склеенная из двух линз 13 и 14, выполненных соответственно из сверхтяжелого крона и тяжелого баритового флинта, разность дисперсий которых 13,3. Компонелт 6 - отрицательный мениск, обращенный,вогнутостью к плоскости пред. мета из тяжелого. баритового флинта с соотношением:радиусов 1:2,3. Компонент 7 - положительная двояковыпуклая линза из особого крона с соотношением радиусов 1:1,84. Компонент 8 - положительная двоя. ковыпуклая линза из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:0,76. Компонент 9 - отрицательная двояковогнутая линза из тяжелого баритового флинта с соотношением радиусов 1:17,7. Указанные конструктивные особенности позволили увеличить разрешение объектива при увеличении 1/4 и, что .дает возможность получення минимального элемента в 2 мкм на поле диаметром 21,2 мм (5 Х 15 мм), что повышает производительность фотолитографического оборудования, при исполь зовании объектива в установках мультипликации и совмещения,формула изобретения1 о Проекционный объектив, содержащийдевять компон нтов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную диафратму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен 15 из двухсклееннои отрицательной линзы,ешестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, седьмой и восьмой компоненты вы.полнены из одиночных положительных линз, а девятый компонент - одиночная отрицательная линза, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности объектива, второй компонент выполнен чз одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, 2 Ъ третий компонент состоит из двухсклееннойположительной линзы, а четвертый компонент. выполнен в виде одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к плоскости иэображения. ЪОИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР463938, кл. б 02 В 11/34, 973.2. Авторское свидетельство СССР35605186, кл, б 02 В; 31134., 1%6.