Проекционный объектив

Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.75 (21заявки М 163403/10 1) М. Кл,е602 В 9/6 (3 02 В 13/2 ооударстоеииыи комитетСовета Мииистроа СССРпо делам изобретеияйи открытий но 25.02.77, Бюллетень . ликования описания 12.07.77 53) УДК 535.824.2(088.8) 72) Авторы изобретения. Н. Казаченок и В. М, Новиков витель БЪЕКТИВ 4) ПРОЕ 1 ЩИОН еи онные объектив Известны проекци штампов и фотопо компонентов и ди ителеи, содержащи шесть агму, размешенную мпонентами 11, Это чную разрешающую между объек- пособвторым и третьим ктив имеет недостато ть. Наиболее близкимобъектив, содержащийщенной между нимирых состоит иэ двух ко- склеенныи менисдиафрагме, а вторая схем тельного скл ного положительньменисковьй кк плоскости иНедостатк инз мпон ражен этого е позвом менее апертура, что н дуля с.размеро Изобретение относится к оптическому при. боростроению, а именно к проекционным объективам, и может быть использовано в микрозлектро. нике как объектив фотоштампов и фотоновторителей. к предлагаемому является две группы линз с размедиафрагмой, первая из котомпонентов, один из которых обращенный вогнутостью к руина линз состоит из поло.мениска и двух одиночных за которыми установлен нт, обращенный вогнутостьюия 21.объектива является малая ляет получить элементы мо мкм. 2Цель изобретения - увеличение разрешающспособности.Поставленная цель достигается тем, что перваягруппа лннэ снабжена отрицательным мениском, 5 обращенным вогнутостью к плоскости предмета иустановленным перед первым компонентом, выполненным в виде двояковыпуклой линзы с фоку ным расстоянием, превышающим в два раза фокус ное расстояние объектива, а менисковый компоО нент второй группы, рассположенный 1 тозади двухположительных линз, выполнен двухсклеенным, положительным, с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию объектива, причем фокус.ное расстояние первой группы линз в десять раз пре выдает фокусное расстояние второй группы линз, арасстояние между ними равно 0,2 фокусного расстояния всего объектива.На чертеже представлена оптическая апредложенного проекционного объектива.О Объектив содержит две группы линз 1 и 2 ирасположенную между ними диафрагму 3. Группа линз 1 содержит одиночный отрицательный ме.писк 4, одиночную положительную линзу 5, поло, жительную 6 и отрицательную 7 линзы, образующие 2 я двухсклеенный мениск 8, обращенный вогнутостью547706 двух одиночных положительных линз, за которыми 1 О установлен менисковый компонент, обращенныйвогнутостью к плоскости изображения, о т л ич а ю щи й с я тем, что, с цель увеличения разрешающей способности объектива, первая группа линз снабжена отрицательным мениском, обращенным вогнутостью к плоскости предмета и установленным перед первым компонентом, выполненным в виде двояковыпуклой линзы с фокусным расстоянием, превышающим в два раза фокусное расстояние объктива, а менисковый компонент второй оО группы, расположенный позади двух положительных линз, выполнен двухсклеенным, положитель.ным, с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию объектива, причем фокусное расстояние первой группы линз в десять раз превышает фокусное расстояние второй группы линз, а рас.стояние между ними равно 0,2 фокусного расстояния всего объектива.Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе: о1. Авторское свидетельство Р 486298, М.Кл0 02 В 9/64, 1973.2. Авторское свидетельство М 333525, М,Кл6 02 В 9/64, 1971 (прототип). 13 15 16 7 3 10 11 12 а. ставитель С Коврихред А, Богдан Корректор Е. Скучка Редактор Т. ИваноЗаказ 875/98 Тираж 628 ЦНИИПИ Государственного ком по делам изобрет 113035,Москва,Ж - 35Подписноетета Совета Министров СССий и открытий 4(5 снская наб.,иал ППП "Пат.нт", г. Ужгор оектная,к диафрагме 3. Фокусное расстояние линзы 5 пре. вышает в два раза фокусное расстояние объектива. Одиночный мениск 4 расположен на расстоянии, равном половине фокусного расстояния объектива, от линзы 5,Отрицательный мениск 9 обращен вогнутостью к диафрагме 3 и склеен из отрицательной 10 и положительной 11 линз, показатели преломления которых не ниже 1,6 и модуль разности показателей преломления не превышает 0,045.Далее установлены одиночные положительные линзы 12 и 13, причем линза 12 выполнена из флюорита и имеет фокусное расстояние, равное 1,35 фокусного расстояния всего объектива, и толщину 0,55 фокусного расстояния объектива. Полоскательный мениск 14 с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию всего объектива, обращен вогнутостью к иэображению, и склеен из положительной 15 и отрицательной 16 линз. Линза 15 выполнена из сверхтяжелого крона и имеет толшину, равную 0,3 фокусного расстояния объектива, Линза 16 выполнена иэ тяжелого флин. та. Фокусное расстояние группы линз 1 превышает фокусное расстояние группы линз 2 в десять раз, а расстояние между ними составляет 0,2 фокусного расстояния всего объектива,Предложенный объектив имеет фотографичес. кое разрешение до 0,6 мкм на всем поле диамет. ром 3 мм и увеличение - 0,1, задний отрезок Ф увеличен до б мм при длине от плоскости предмета. до плоскости изображения 400 мм.Формула изобретения Проекционный объектив содержащий две группы линз с размещенной между ними диафрагмой, первая из которых состоит из двух компонентов, один из которых - склеенный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а вторая группа линзсостоит из положительного склеенного мениска и