Устройство для фокусировки

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ВТЕЛЬСТВУ Своз Советских Социалистических Республик(22) Эаявлено 280 б.79 (2) 2768158/18-10 (5 нсоеднненнем заявки М 3 В 3/00 всударственимй комитет СССР по дедам изобретений и открытий23) Прнорите Опубликовано 300881. бюллетень ЙВ Дата опубликования описания 30088(Л) Заявител 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВ сится к проекции и может быть готовлении полу ров и интеграль Изобретение отн онной Фотолитограф использовано при иэ проводниковых приб ных схем. йство в коного ся рачный эобрарое ражения5 3 Известно проекционное устрос автоматической фокусировкой.тором для формирования раэностсигнала .Фокусировки используетвращающийся двухтолщинный проздиск, сканирующий по глубине икения штрихового растра, котостроится вблизи плоскости изобпроекционного объектива (1). Однако при Фокусировании непрерывно перемещакзцейся подложки быстродействие ограничивается относительно невысокой скоростью вращения диска 2 ОИзвестно устройство для фокусировки, содержащее источник линейно-поляризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, Фотоприемник и плоскопараллельную 25 пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины (2.Однако известное устройство имеет недостаточную точность. 0 Цель изобретения - повышение точности фокусировки и упрощение конструкции устройства.Указанная цель достигается тем,что в устройство дополнительно введенпереключатель поляризации, имеющийисходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельнойпластины и расположенный между источником линейно-поляризованного светаиштриховым растром.На чертеже представлена схемаустройства,Устройство для фокусировки содержит источник 1 линейно-поляризованного света, переключатель 2 поляризациисветоделитель 3, штриховой растр 4,плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла 5, объектив б, подложку 7, коллектив 8.и Фотоприемник 9.Устройство работает следующим об"разом.Свет от источника 1, пройдя переключатель 2 поляризации, меняетнаправление вектора поляризации на90 о, если переключатель включен, сохраняет его направление, или не включен, Оптическая ось плоскопараллель859989 Формула изобретения Составитель л,мухинаРедактор М.Лысогорова Техред А. Бабинец Корректор С, Корниенко Заказ 7544/70 Тираж 506 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д,4/5филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 ной пластины из одноосного кристалла5 ориентирована так, что она лежитв плоскости пластины и параллельнаили перпендикулярна исходному направлению вектора поляризации света,Поэтому в зависимости от положения вектора поляризации света через кристаллическую пластину 5 будут распространяться обыкновенная волна о (векторполяризации света перпендикуляреноптической оси кристалла),илинеобыкновенная волна е (вектор поляризации света параллелен оптическойоси кристалла). Соответственно, растр4 изображается поочередно объективом6 в двух положениях, разнесенныхпо глубине, вблизи плоскости изображения объектива. штриховой растр4 устанавливают так, что в случаеидеальной Фокусировки его автоколлимационные иэображения 10 при одномнаправлении вектора поляризации и Я11 - при другом положении находятсяна одинаковом расстоянии и по разныестороны от него самого. Отраженныйот подложки 7 световой поток светоделителем 3 и коллективом 8 направляется на фотоприемник 9, с которогоснимается раэностный сигнал дефокусировки. Если подложка 7 дефокусирована в ту или другую сторону, то в одном случае больше сигнал, соответствующий о-волне, а в другом случае - ЗОбольше сигнал, соответствующий е"волне. В положении идеальной фокусировки разностный сигнал переменной составляющей не имеет. Предлагаемое устройство позволяет работать с переменным раэностным сигналом высокой частоты и испольэовать одноплощадочный фотоприемник, Это в несколько раэ повышает точность фокусировки. Устройство для фокусировки, содержащее источник линейно-поляризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, Фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины, о .т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности фокусировки и упрощения конструкции, в него введен переключатель поляризации, имеющий исходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно-поляризованного света и штриховым растром. Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 406182, кл, С 03 В 3/00, 27.12,71.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке 9 2656481/18-10,кл. 6 03 6 3/00, 17,08.78 (прототип),