Емкостный преобразователь

Союз СоветсннкСоцналнстнческннРеслублнк ИСАЙ ИЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУпубликовано 07.07.81. Бюллетень25ата опубликования описания 17.07.81 по делам нэебретен еткрыти(54) ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛ потенциальный -щего острие измНедостаткомизготовления коров и, следоватепечения высокойти. кольца, охватываю- ного электрода 2. вляется сложность ции малых размеевозможность обесительности и точносвви рите его я нструк льно н чувств овышениеобразоваточност у ретеля,Поставленная цель достигается тем, чтопреобразователь снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а торец второго измерительного 15 электрода утоплен относительно этой плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным и первым измерительным электродами.На чертеже приведена принципиальнаясхема емкостного преобразователя.Преобразователь содержит потенциальный электрод 1 и два измерительных электрода 2 и 3, выполненные в виде параллельных стержней. Рабочие торцы 4 потенциальИзобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения расстояний до контролируемого объекта, в частности расстояний порядка 10 з - 5 10 мкм.Известно устройство для контроля формы изделий и измерения малых перемещений, содержащее два электрода, один из которых выполнен в форме полушара, охватывающего второй электрод, размещенный в центре шара, причем радиус полушара равен двойному расстоянию от контролируемого объекта до второго электрода 1.Недостатком устройства является сложность его изготовления, невозможность контроля с его помощью перемещения объектов малых размеров и невысокая точность.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является емкостный преобразователь расстояния до контролируемого объекта, содержащий измерительный и .потенциальный электроды, экранирующие электроды, обхватывающие измерительный и потенциальный электроды, а так же фокусирующий электрод, выполненный в виде кольца. Измерительный электрод выполнен в виде заостренного стержня, а ью изобретения является и и ч вствительности п844986Дифференциальное включение преобразователя и исключение из конструкции экранов, позволяет снизить влияние различных дестабилизирующих факторов на ре-.зультаты измерений и повысить чувствительность вследствие уменьшения размеров преобразователя. Формула изобретения ного электрода 1 и первого измерительногоэлектрода 2 лежат в одной плоскости. Торец 5 второго измерительного электрода 3утоплен относительно указанной плоскостина расстояние, равное расстоянию междупотенциальным 1 и первым 2 измерительнымэлектродами. К потенциальному электродуподключен источник 6 напряжения, а кизмерительным электродам 2 и 3 - дифференциальный усилитель 7 и регистрирующий прибор 8,Преобразователь работает следующимобразом.С помощью потенциального электрода,подключенного к источнику 6 постоянногоили переменного напряжения, в локальнойзоне между преобразователем и контролируемой поверхностью: (на черт. не показана)создается электростатическое поле, изменение которого вследствие изменения рас-стояния до контролируемой поверхности приводит к изменению потенциала поверхностиизмерительного электрода 2. В то же время потенциал измерительного электрода 3не зависит от положения контролируемойповерхности вследствие указанного вышеразмещения его рабочего торца 5 относительно торца 4 второго измерительного электрода, Измерительные электроды 2 и 3 подключены к входам дифференциального усилителя 7, усиливающего разностный сигнал,который фиксируется соответствующим прибором 8. Емкостный преобразователь расстояния до контролируемого объекта, содержащий измерительный и потенциальный электроды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности преобразователя, он снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а торец второго измерительного электрода утоплен относительно этой плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным и первым измерительным электродом. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР339762, кл. 6 01 В 7/00, 1970.2. Авторское свидетельство СССР625130, кл. б 01 В 7/00, 1976 (прототип).мч 13035,лнал ПП Редактор Ж. РожковаЗаказ 4309/9ВНИИ Составитель Л. ГуськовТехред А, Бойкас КорректорТираж 642 ПодписноеИ Государственного комитета СССРделам изобретений и открытийМосква, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5П Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,