Пьезокерамический датчик перемещений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 828270
Автор: Никандров
Текст
О П И С А Н И Е1828270ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(45) Дата опубликования опи ия 07.05.(54) ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ Изобретение относится к области электронной техники, в частности к пьезокерамическим биморфным элементам консольного типа и может быть использовано в целях управления гироскопов, а также в качестве корректоров зеркал лазеров.Известен 11 пьезоэлектрический датчик перемещений консольного типа. Основу датчика составляют две пьезоэлектрические пластины равномерной толщины, не О сущие на своих поверхностях электроды. Пластины жестко связаны друг с другом по общей плоскости в единый биморф. Электроды пластин, лежащие на общей плоскости, образуют центральный электрод, а два 15 других электрода являются внешними электродами биморфа.Известен датчик перемещений 21, содержащий две пьезокерамические пластины, поляризованные по толщине, с нанесенными на их поверхности электродами, жестко соединенные по общей плоскости в единый биморф.При подаче на внешние электроды электрического напряжения биморф испытывает изгиб, при этом его свободный конец производит перемещение деталей или узлов в цепях управления гироскопов и корректирует положение зеркал в лазерах.Недостатками известных датчиков явля- зо 2ются невысокая чувствительность к изгибу,если в датчике обеспечивается высокая механическая прочность, (из-за значительнойтолщины пьезоэлектрических пластин), невысокая механическая прочность датчика(если обеспечена его относительно высокаячувствительность к изгибу) при применениитонких пьезоэлектрических пластин,Целью изобретения является повышениечувствительности к изгибу и увеличениемеханической прочности.Поставленная цель достигается тем, чтов пьезокерамическом датчике перемещений,содержащем две пьезокерамические пластины с нанесенными на их поверхностиэлектродами, жестко соединенные по общейплоскости в единый биморф, на пьезокерамических пластинах со стороны внешнихэлектродов сформированы ячейки, при этомвнешние электроды покрывают поверхностьпластины и ячеек. Количество ячеек напластине и их глубина определяют чувствительность биморфа к изгибу, а количествоячеек, их профиль и глубина - механическую прочность биморфа.Сущность изобретения поясняется чертежом. Пьезокерамические платины А и Вжестко соединяются друг с другом по общей плоскости, не имеющей ячеек, и образуют центральный электрод 1. Со стороны3внешней поверхности пластины А и В имеют углубления - ячейки 3. Вся внешняя поверхность пластины, включая и поверхность ячеек покрыта электродом 2. Пластины Л и В отполяризованы по толщине 5 (направление вектора поляризации в них показано стрелками).Ячейки на пьезокерамические пластины можно наносить методом фотолитографического травления, Перед травлением плас о тины покрывают слоем фоторезиста, на который с помощью фотошаблона наносят изображения ячеек. Глубина, диаметр и плотность ячеек выбираются в зависимости от заданной механической прочности и чув; ствительности к изгибу. Электроды наносят на поверхности пластин, например, методом вжигания серебряной пасты.Предлагаемый пьезокерамический датчик перемещений обеспечивает более высокую 20 чувствительность при повышенной механической прочности. Формула изобретения Пьезокерамический датчик перемещений, содержащий две пьезокерамические пластины, поляризованные по толщине, с нанесенными на их поверхности электродами, жестко соединенные по общей плоскости в единый биморф, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности к изгибу и увеличения механической прочности, на пьезокерамических пластинах со стороны внешних электродов сформированы ячейки, при этом внешние электроды покрывают поверхность пластины и ячеек.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. С, В. Ьаюуег. Рпос 1 КЕ, ч. 19, Х 1, 1931, р, 2019 - 2020.2. Глозман И. Н. Пьезокерамика. М., 1967, с. 141 в 1 (прототип),
СмотретьЗаявка
2781244, 14.06.1979
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8941
НИКАНДРОВ ВАЛЕНТИН СЕМЕНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 41/08
Метки: датчик, перемещений, пьезокерамический
Опубликовано: 07.05.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-828270-pezokeramicheskijj-datchik-peremeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пьезокерамический датчик перемещений</a>
Предыдущий патент: Материал для холодильника эттингсгаузена
Следующий патент: Устройство для закрепления сепарации наэлектродах химических источников toka
Случайный патент: Способ получения -замещенных феноксиуксусных кислот и их производных