Способ определения толщиныпокрытия

Союз Советскик Социалистическик РеспубликОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ оц 815485 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 25. 06. 79 (21) 2783516/25-28с присоединением заявки йо(23) ПриоритетОпубликовано 230381 Бюллетень Мо 11Дата опубликования описания 23. 03. 81 Кз С 01 В 11/06 Государственный комитет СССР но дедам изобретений и открытий(72) Авторы В. А. Агеев, А. Т. Градюшко, С. Г, Комиссаров,(54) СПОСОВ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерения и контроля толщин покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной и машиностроительной промышленности.Известен способ определения толщины покрытия, заключакщийся в том, что лазерное излучение с определенной длительностью импульса и с заданной мощностью фокусируют на поверхность исследуемого покрытия, определяют пороговую плотность потока энергии, приводящую к разрушению покрытия и определяют толщину по. крытия 11.Недостаток способа - низкая точность определения толщины покрытия, обусловленная погрешностями фокусировки лазерного излучения на по верхность исследуемого покрытия.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ определения толщины покрытия, заключакющийся в том, что на исслюдуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, производят одновременное локальное испарение вещества с известными спект 30 ральными характеристиками исследуемого покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками,а вторая - веществу подложки, и определяют толщину покрытия 12.Недостаток способа - низкая точность контроля, обусловленная плохой воспроизводимостью характеристик электрического разряда, с помощью которого осуществляется локальное испарение, а также необходимость построения градуировочных графиков для каждого типа измеряемых покрытий, что значительно удлиняет процесс контроля.Цель изобретения - повышение точности и сокращение времени определения толщины. Указанная цель достигается тем, что в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии1в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия.. Определение толщины покрытия со815485 ФоРмУла изобретения Составитель О. ФоминРедактор В. Еремеева Техред Н.Бабурка Корректор Л. Иван 1011/бб Тираж 642 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ Филиал ППП "Патеит", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 гласно способу осуществляется следующим образом.Фольгу известной толщины, изготовленную из материала с известными спектральными характеристиками, накладывают на исследуемое покРытие, Осуществляют одновременное локальное испарение вещества фольги, покрытия и части подложки, например с помощью сфокусированного на поверхность фольги излучения импульсного лазера. Регистрируют спектр излучения образовавшейся плазмы, например, с помощью спектрографа. Определяют относительную интенсивность свечения парыспектральных линий, одна из которых принадлежит веществу фольги, а вторая - веществу покрытия, при этом относительная интенсивность свечения выбранной пары спектральныхлиний, при данных материала и толщине фольги, зависит только от толщины 30 исследуемого покрытия. Определяют толщину покрытия по известному значению относительной интенсивности свечения спектральных линий.Применение изобретения повышает 25 точность определения толщины покрытия благодаря исключению влияния источников возможных погрешностей, а также сокращает время определения толщины покрытия эа счет того, что отпадает необходимость построения градуировочных графиков, охватывающих весь диапазон применяемых толщИн покрытия данного типа. Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на исследуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, производят одновременное локальное испарение вещества с известными спектральными характеристиками исследуемого покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками, и определяют толщину покрытия, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и сокращения времени определения толщины, в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной,а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Левинсон Г. Р. и др,-"Физикаи химия обработки материалов", 1971Р 4, с. 124.2, Авторское свидетельство СССРР 99388, кл. 6 01 В 11/06, 1952