Способ изготовления фольговыхтензорезисторов ha металлическойоснове

Союз Советских Социвпистиесиих Республик(22) Заявлено 16. 03. 79 (21)2736816/25-28 с присоединением заявки Й 9 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(088. 8) Опубликовано 23,03.81. Бюллетень М 11 Дата опубликования описания 23. 03. 81 72) Авторы изобретен Ю, М. Базжин, А, А. Цывин, С, С. Зверев В. В, 3. Петрова и А, А. Плеханов Научно-исследовательский и конструкторский .испытательных машин, приборов и средств изми Московский институт электронной техники 71) Заявител 54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЬЖ ТЕНЗОРЕЗИСТОРО НА МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ОСНОВЕ льсию, рспособа и метро- свойств ких темотоэмуеестногностьи выс Изобретение относится к измерниям, а именно к технике изготовления тензорезисторов,Известен способ изготовлениятензорезисторов на металлическойоснове, заключающийся в подготовповерхности основы, нанесении нанее подслоя жаростойкого матернала, механическом закреплении матриала решетки тенэорезистора наслое, нанесений на наружную поверхность решетки жаростойкого цмента 11,ьааениетенэо ратура отовле тения - пов арактеристи ысоких темп хнологии иэ тигается тем, основу наносят ине слой стеко тензореэистивих путем обрари температуре осле репродупокрывают тенэо езистоом известного способа что практически невозть подслой жаростойкого равномерной контролируй. Это снижает метролоактеристики тензорезисраэброса свойств партии способ трудо ния специальн ок м к предлагаемому щности являетсяя тенэорезисторо снове, эаключаюа тензорезистивНедо ст ат кявляется то,можно получиматериала семой толщиногические харторов из-эадатчиков.Кроме того,требует применеоборудования,Наиболее близкипо технической суспособ изготовленина металлической ощийся в том, что н ную фольгу наносят продуцируют и травя Недостатком изв является его трудое логическая нестабил жаростойкого слоя п пературах,Цель иэобре рологических х зисторов при в и упрощение те ния. 1 2указанная цель досчто на металлическую5 калиброванный по толщла, укладывают на негную фольгу, соединяютботки под давлением пплавления стекла и, п0 цирования и травлениянаружную поверхность Рров слоем стекла.Сущность способа заключается втом, что на одну из сторон металлической основы, например иэ сплава Х 18 Н 9 Т толщиной 50-150 мкм наносят электрофоретическим или другим спо:обом слой стекла толщиной 10-15 мкм и размером зерна 0,5-1,0 мкм, уклады вают на слой стекла тенэореэистивную815479 Составитель В, ПискаревРедактор О. Малец Техред А,Бабинец Корректор Л.Иван Заказ 1011/66 тираж 642 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 фольгу из сплава типа Х 20 Н 75 Ю толщиной 5-10 мкм и соединяют их междусобой путем обработки под давлениемпри температуре плавления стекла,Далее на наружную поверхность тензорезистивной фольги наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят поверхность, фольги. После удаления фоторезиста, наружная поверхность чувствительных элементов тензорезисторов покрывается калиброванным слоемстекла толщиной 10-15 мкм, температура плавления которого на 30-50 Сниже температуры плавления стекла,нанесенного на металлическую основу.Предлагаемый способ может найтиприменение при изготовлении фольговых тензорезисторов на металлическойоснове со" стабильными метрологическими характеристиками. Использование"различных химических составов стекол,наносимых; на -металлическую основу инаружную,поверхность тензорезисторов,позволйт;использовать их в нужномтемпературном диапазоне и требуемыхфизико-хймических условиях,Формула изобретенияСпособ изготовления фольговых тензорезисторов на металлической основе,заключающийся в том, что на тензорезистивную Фольгу наносят фотоэмульсию,репродуцируют и травят ее, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения метрологических характеристик тензорезисторов при высокихтемпературах и упрощения технологииизготовления, на металлическую основу наносят калиброванный по толщинеслой стекла, укладывают на него тензорезистивную фольгу, соединяют ихпутем обработки под давлением притемпературе плавления стекла и, послерепродуцирования и травления, покрывают наружную поверхность тензорезисторов слоем стекла. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Ильинская Л. С. и др. Высокотемпературные тензорезисторы на основе жаростойких окислов. М., "Энергия",1973,2. Авторское свидетельство СССР Р 200859, кл. С 01 В 7/18, 1966 (прототип).