Номер патента: 813129

Автор: Лаанеотс

ZIP архив

Текст

Союз Советских Сфцианистичесник РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ТНЗЬСТВУ Фнф(22) Заявлено 14. 06. 77 (21) 2496313/25-28 (51) М )л с присоединением заявки Нов(23) Приоритет 6 01 В 7/06 Государственный комитет СССР по дедам изобретений н открытий(53) УДК 531. . 717 (088, 8) Дата опубликования описания 15. 03. 81(7) Заявитель Таллинский политехнический институт(54) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для проверки и градуировки средств измерения толщин покрытий.Известны меры толщины пленок, содержащие подложку прямоугольной или круглой формы и пленку, нанесенную на эту подложку гальваническим, химическим, диффузионным или другим способом 1).Недостатком таких мер является высокая стоимость, связанная со сложностью нанесения пленки заданной толщины, трудоемкостью аттестации толщины пленки, а также неудобства в эксплуатации, связанные с отсутствием участка для установки толщиномера на нуль.Известна также мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для астройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку Г 2.Эта мера лишена эксплуатационного недостатка, однако в изготовлении еще более сложна и дорога.Цель изобретения - упрощение тех-. нологии изготовления и снижение стоимостиПоставленная цель достигается тем, что на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованныйпо глубине, пленка внесена в упомянутый паз,а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки.На чертеже изображена мера толщины пленок.Она содержит. подложку 1, на верхней поверхности которой имеется участок 2 для настройки на ноль толщино меров. На этой же поверхности подложкивыполнены паз, дно 3 которого удаленоот верхней поверхности на величину Ь,равную требуемой толщине пленки. Пленка 4 заполняет паэ так, что ее верхняя 15 поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Прочие размерымеры определяются исходя из размеровизмерительных головок толщиномеров.При изготовлении мер верхнюю по верхность подложки 1 и дно 3 паза доводят до высокого класса шероховатости, что позволяет с высокой точностьюаттестовать его глубину, например ин-.терференционным способом. После нанесения пленки 4 проверяют плоскостность верхней поверхности, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1.Проверку и градуировку толщиноме ров выполняют с помощью комплекта813129 Формула изобретения Составитель В, РиковаТехред Ь.Бабинец Корректор Ю акаренко Редактор М. Хом Тираж 642 Подписно дарственного комитета СССР лам изобретений и открытий ква, Ж, Раушская.наб., д Заказ 752/47 ВНИИПИ Гос по д 113035, Мофилиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 мер с различной толщиной пленок.Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложек на участке 2,гдепленочное покрытие отсутствует,а затем перемещают на участок с пленкой4. Показания толщиномера сравниваютс аттестованной толщиной пленки.Комплект мер позволяет проверить характеристику толщиномера в различныхточках. Мера толщины пленок, содержащаяподложку с участком для настройкитолщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, о т л и ч а -ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и снижения стоимости, на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесенав упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1 . "Измерительная техника", 1973,Р 2, с,30-31.2. Информационный листок 9 650-71,Ленинградский ЦНТИ, 1971 (прототип).

Смотреть

Заявка

2496313, 14.06.1977

ТАЛЛИНСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ЛААНЕОТС РЕЙН АНТСОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/06

Метки: мера, пленок, толщины

Опубликовано: 15.03.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-813129-mera-tolshhiny-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Мера толщины пленок</a>

Похожие патенты