Электростатическая квадруполь-ная линза

Номер патента: 801135

Автор: Данилов

ZIP архив

Текст

Союз Соввтсиик Социалистических РесттубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯИ АВТФРСКМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М. 1(л.з Н 01 4 29/74 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий(72) Автор изобретения В. Г. Данилов Новосибирский электротехнический институ2 Изобретение относится к технике формирования пучков заряженных частиц и может быть использовано в электронной и приборостроительной промышленности при разработке электрон 5 нолу 1 чевых приборов;Известны электростатические квадрупольные линзы, содержащие четыре одинаковых электрода, расположенных вдоль продольной оси, причем два из них расположенных одной плоскости, а два других - в перпендикулярной к первой плоскости 1.Недостатком этих линз является значительная сферическая аберрация, обусловленная тем, что распределения поперечной силы, действующей на электроны; и скорости электронов по радиусу плохо согласованы друг с другом.Наиболее близкой к предлагаемой является электростатическая квадрупольная линза, содержащая четыре цилиндрических электрода, оси которых расположены во взаимно-перпендикулярных плоскостях попарно-симметрично относительно упомянутых плоскостей ",2.Однако данной линзе также присуща. значительная сферическая аберрация. Цель изобретения - уменьшение сферической аберрации. Эта цель достигается тем, что в электростатической линзе, содержащей четыре цилиндрических электрода, оси которых расположены во взаимно перпендикулярных плоскостях. попарно симметрично относительно упомянутых плоскостей, одна пара симметрично расположенных электродов имеет радиус, больший расстояния от оси линзы до оси электрода, а вторая - в 1-10 раз меньший, чем укаэанное расстояние.На чертеже изображены электроды линзы, погеречное сечение.Линза содержит циЛиндрические электроды 1-4. Электроды 1 и 2 имеют радиус Кто , где йо - расстояние от оси линзы до оси соответствующих электродов. А для электродов 3 и 4 01 Щ 1. Электроды 1 и 2 и, соответственно, 3 и 4 электрически соединены между собой.Устройство работает следующим образом.На пару электродов 1 и 2 подают, напряжение с амплитудой, меньшей амплитуды напряжения на электродах 3 и 4. Электрическое поле оказывает собирающее действие в плоскости801135 Составитель В. КимРедактор м. махеева тех д В.Годкака ко екто В. Скккхка7 Подписное Заказ 10444/72 Тираж ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 1 Ф95комитета Си открытий ская на 13035, Москва, Ж 35, Ра б. д. 4 5 ал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная у и рассеивающее в плоскости х. Это приводит. к изменению характера зависимости поперечной силы от расстояния до оси линзы. При опреде-. ленном включении напряжений можно добиться того, что поперечная сила в плоскости у растет медленнее, а в плоскости х - быстрее, что по линейному закону. Такой характер этих зависимостей чриводит к тому, что, оптическая сила становится слабо зависящей от того, на каком расстоянии от оси проходит частица, вследствие чего уменьшается сферическая аберрация.Предлагаемое техническое решение позволяет в 10 и более раз снизить сферическую аберрацию по сравнению с аберрацией в известной линзе.Формула изобретенияЭлектростатическая квадрупольная линза, содержащая четыре цилиндрических электрода, оси которых расположены во взаимно. перпендикулярных плоскостях попарно симметричноотносительно упомянутых плоскостейо т л и ч а ю щ а я с я тем, что,с целью уменьшения сферическойаберрации, одна пара симметрично расположенных электродов имеет радиус,больший расстояния от оси линзы дооси электрода, а вторая - в 1-10 разОменьший, чем указанное расстояние.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе 1. Радиотехника .и электроника,15 19 бя, т. 13, Р 10, с. 1854-1863. 2. Явор С.Я. Фокусировка заряженных частиц квадрупольными линзами. М., "Атомиздатм, 1968, с. 18 (прототип).

Смотреть

Заявка

2703873, 26.12.1978

НОВОСИБИРСКИЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙИНСТИТУТ

ДАНИЛОВ ВЕНИАМИН ГРИГОРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 29/74

Метки: квадруполь-ная, линза, электростатическая

Опубликовано: 30.01.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-801135-ehlektrostaticheskaya-kvadrupol-naya-linza.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электростатическая квадруполь-ная линза</a>

Похожие патенты