Способ изготовления микроострий
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК 4 Н 01 Х 1/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ НИ-25 ление средней части заготовки в тонком слое электролита и автоматическое прекращение травления при обрыве образующейся "шейки", о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюуменьшения и регулировки радиусакривизны поверхностей микроострийи улучшения ихкачества, во времятравления вдоль заготовки через еесреднюю часть (область формированиямикроострия) пропускают электрический ток, плотность которого регулируется в пределах 10:-10 А/мми пропорциональна требуемой кривизне поверхности острия. Ф 1 С.В.З(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРООСТРИЙ из металлической проволоки,включающий электрохимическое трав,.БОь 797441 79 4 0Изобретение предназначено дляизготовления металлических микроострий - автоэмиссионных эмиттеров,применяемых в качестве точечныхионных и электронных источников,а также образцов в автоэлектроннойи автоионной микроскопии.Известны способы изготовлениямикроострий из металлической прово,локи включающие электрохимическоеЭтравление средней части проволочнойзаготовки в слое электролита и автоматическое прекращениетравленияпри обрыве .образующейся "шейки"под действием веса нижней части заготовки.Общими недостатками этих способов являются плохая воспроизводимость параметров изготавливаемыхмикроострий, недостаточно высокаякривизна поверхности (В=500 А) и отсутствие.возможности заданным образом реглйровать величину кривизныповерхности.Из известных способов изготовления микробстрий из металлическойпроволоки наиболее близким к предлагаемому является способ травленияв трехслойной ванне, включающийэлектрохимическое травление среднейчасти проволочной заготовки в тонком.слое электролита и автоматическоепрекращение травления при обрыве обР азующейся "шейки". Способ предусматривает травление проволочной заготовки в трехслойной ванне, в которой между нижним жидким контактом и верхним слоем электролита размещена жидкая непроводящая прослойка. Напряжение прикладывается междужидкйм контактом и электролитом. 7 4Проволочная заготовка 1, укрепленная на держателе 2, погружаетсяв трехслойную ванну, состоящую изжидкого контакта 3, непроводящейпрослойки 4 и слоя электролита 5.5Прикладывается напряжение междуэлектролитом и жщким контактом(1-20 В в зависимости от вида заготовки и электролита). При;этом происходит травление в области формирования острия. Одновременно с этимдополнительно прикладывается напряжение между жидким контактом и держателем образца (обычно 5-10 В).1 В процессе стравливания области6 образуетсяшейка, причем плотностьтока, проходящего через нее, увеличивается с уменьшением ее диаметра и достигает величин, при которых 20проявляется эффект электропластичности. Плотность тока, необходимаядля проявления этого эффекта, дляразличных материалов лежит в преде 25лах О -1 О А/ммБлагодаря резкому повышению пластичности области формирования острия при отпадании нижней части за 11 ф 1готовки происходит вытягиваниеострия с меньшим радиусом кривизны,который можно регулировать изменением напряжения между держателем заготовки и жидким контактом. Предлагаемый способ осуществлен 35 благодаря тому, что в зоне формирования острияв 1000 раз возрастает удельная поверхность, что способствует интенсивному отводу тепла. В противном случае острие бы 40 просто оплавилось,Заказ 1338/3 Тираж 643 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
2801423, 25.08.1979
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8315
СУВОРОВ А. Л, ЗАЙЦЕВ С. В, БОБКОВ А. Ф
МПК / Метки
МПК: H01J 1/304, H01J 9/02
Метки: микроострий
Опубликовано: 23.03.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-797440-sposob-izgotovleniya-mikroostrijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления микроострий</a>
Предыдущий патент: Загрузочное устройство для поштучной выдачи деталей
Следующий патент: Способ получения -алкил, -диакиламидоарилфосфонатов
Случайный патент: Регулирующий клапан