Источник вторичных ионов

Номер патента: 786686

Авторы: Николаев, Танцырев

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 119) (11) ц 4 Н 01 Л ТР;чН 1 сЩ КОМУ Т КА 4)( соединя гревател выводны ся те месей в загрязн сорбиро Электроника",азов,сточни ов Н.А.миссии для фторполи, 1973,цо крио УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ ПИСАНИЕ ИЗО(71) Ордена Ленина институт химической физики АН СССР(56) 1.Капцов Н.А. И.,1954, с. 94-112.2.Танцыров Г.Д., КлейменПрименение атомно-ионной эмасс-спектрального анализамеров. Доклады АН СССР, т.2с. 649 (прототип). ИСТОЧНИК ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ, ющий держатель образца с наем, систему электродов ищели, о т л и ч а ю щ и й -что, с целью снижения припучке ионов путем уменьшения ния поверхности образца аданными молекулами остаточных веден экран, охватывающий ,:и средство охлаждения егоенных температур.786686 Корректор О,Тигор Заказ 5764/2 Тираж 679ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Иосква, Б, Раушская наб д,4/5 Подписное Филиал ППП Патентг, Ужгород улПроектная 4 Изобретение относится к масс-спектрометрии, в частности к устройствам для получения ионов методом бомбардировки поверхностей твердых тел быстрыми атомами и ионами с целью анализа состава, поверхности.Известны источники вторичных ионов, предназначенные для химического анализа поверхностей твердых тел и нанесенных на них пленок различных 1 О веществ методом вторичной ион-ионной эмиссии, которые позволяют производить качественный анализ, послойный анализ, а таьоке определять структуру поверхности 11 . 15Для предотвращения загрязнения поверхности исследуемого образца адсорбированньии молекулами остаточных газов область конного источника, в которой располагается исследуемый 2 О объем, откачивается цо сверхвысокого вакуума, что требует применения сложных и,цорогостоящих вакуумных систем.Ближайшим к изобретению техническим решением является источник вто ричных ионов, содержащий держатель. образца с нагревателем, систему электродов и вывод ьые щели 2 .ГЭтот источник вторичньп ионов ра.ботает ь условиях высокого вакуума 1 О.ь (давление остаточных газон 10 мм рт.ст), Для предотвращения загрязнения поверхности исследуемого объекта. он нагревается до температуры несколько сот градусоа,Необходимость прогрева значительно сужает круг вешеств, которые могут быть проанализированы с помощью метода масс-спектрометрии вторичных ионов. Метод становится неприменимымк веществам, которые имеют высокое давление насыщенных паров при псвышенньж температурах (10 торр) или претерпевают необратимые химические превращения. К этому типу веществ ,уд Редактор С.Титова Техред А,Бабинец относится, в частности, большинствоорганических и биоорганических соединений, при исследовании которых,этот метод стал широко испольэоваться.Целью изобретения является снижение примесей в пучке ионов путемуменьшения загрязнения поверхностиобразца адсорбированными молекуламиостаточных газов.Эта цель достигается тем, что введен экран, охватывающий источник,исредство охлаждения его до криогенных температур.На чертеже изображен предлагаемыйисточник вторичных ионов.Он состоит из металлического экрана 1, охлаждаемого каким-либо хладагентом 2. К экрану через изоляторыприкреплены все необходимые электроды и держатель 3 образца 4. Источникснабжен электронагревателем 5 длярегулирования температуры образца 4.В экране имеются только две узкиещели для вводапучка бомбардирующихатомных частиц 6 и вывода вторичныхионов 7.Образец укрепляется на держателе3 и источник вторичных ионов устанавливается на масс-спектрометр и откачинается. Сразу же после откачки про.изводится охлаждение экрана 1 путФмзаливки хладагента 2. Включаетсягучок бомбардирующих частиц, которыевыбивают из образца 4 вторичные ионы.Вторичные ионы собираются, фокусируются ускоряются системой электродови направляются в масс-анализатор,Введение в конструкцию источниканового элемента - охлаждаемого экрана снижает интенсивность фоновых пиков в масс-спектре вторичных ионов споверхностей различных веществ в широкой области температур исследуемого образца,

Смотреть

Заявка

2802892, 27.07.1979

ОРДЕНА ЛЕНИНА ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ АН СССР

ТАНЦЫРЕВ Г. Д, НИКОЛАЕВ Е. Н

МПК / Метки

МПК: H01J 37/08

Метки: вторичных, ионов, источник

Опубликовано: 15.08.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-786686-istochnik-vtorichnykh-ionov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Источник вторичных ионов</a>

Похожие патенты