Способ обработки кварцевых труб
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 739017
Автор: Грель
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскинСоциалистическихРеспублик ш 73901.7 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51)М, Кл. С 03 С 23/00 Гесударстеенный камнтет СССР но делам изобретений и открытий(088.8 Дата опубликования описания 08,06,80(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ 1 О 15 20 Изобретение относится к способамобработки изделий из кварцевого стекла,в частности труб, которые используютсяпри вь.сокотемпературных (более 1000 С)процессах, например, эпитаксиальногонарашивания, окисления, диффузии приизготовлении полупроводниковых приборов.При проведении высокотемпературныхпроцессов кварцевые трубы используютменьше месяца, после чего необходимазамена,Известен способ регенерации кварцевых труб, включаюший травление их вводном растворе смеси кислот, промывку,сушку и последующий нагрев до 1100 о1500 С в потоке хлора, хлористого водорода или их смеси (Ц,Недостатком этого способа являетсято, срок службы регенерироввнных кварцевых труб невелик и составляет приблизительно 100 часов.Наиболее близким к изобретению подостигаемому результату является способ восстановления кварцевых труб, включаюший кислотное травление, промывку,осушку н нагрев до 1100-1500 С в газовой смеси водорода и кислорода, послечего осушествляется дополнительныйнагрев до температуры 1900-2200" С 2.Вслед за пламенем горелки перемешают водоохлвждаемые графитовые ролики,Срок службы кварцевых труб послеуказанной обработки составляет 300 часов,Целью изобретения является повышенис срока Члужбы кварцевых труб. Этодостигается тем, что кварцевые трубытравят, промывают и нагревают при температуре 1700-1800 С до расплавленияповерхностного сло нв глубину 0,2-0,6толшины стенки трубы, выдерживают врасплавленном состоянии в течение 50300 сек., после чего охлаждают со скоростью изменения температуры 50 о200 С/сек,Расплавление наружного слоя трубыи выдержка в расплавленном состояниипозволяют устранить имеюшнеся в наружном слое микротрешины и, кроме того,2. Авторское свидетельство СССРпо заявке % 2480018/33, кл. С 03 С23/00, 1977.20 3 73 в расплавленную зону вытягиваются примеси из нерасплавленных внутренних областей трубы за счет явления сегрегации.Это позволяет провести дополнительно очистку внутреннего объема трубы от загрязнений.При охлаждении поверхности со скоростью 50-200 С/сек. кроме упрочненияоповерхностного слоя в нем фиксируются загрязнения, вытянутые при расплавлении из внутреннего объема трубы, Кроме того, способ позволяет очистить внутреннюю область кварцевой трубы, из которой примеси сегрегируются в расплавленную зону.Формула изобретенияСпособ обработки кварцевых труб включающий травление, промывку и тер 9017 4,мообработку, о т л и ч а ю ш и й с ятем, что, с целью увеличения срока службы, термообработку ведут при температуоре 1700-1800 С до расплавления поверхностного слоя на глубину 0,2-0,6 тог. -шины стенки трубы, выдерживают в расплавленном состоянии 50-300 сек, посФ(ле чего охлаждают со скоростью ЪОо200 С/сек. 10 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Маслов А. А, Технология и конструкция полупроводниковых приборов, издво Энергия, М., 1970, с. 53-54Составитель О. СамохинаРедактор И, Квачадзе Техред М. Кузьма Корректор МКостаЗаказ 27 б 9/22 Тираж 528 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Филиал ПП П Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4
СмотретьЗаявка
2589654, 13.03.1978
ОРГАНИЗАЦИЯ ПЯ М-5222
ГРЕЛЬ ПЕТР СЕМЕНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 23/00
Опубликовано: 05.06.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-739017-sposob-obrabotki-kvarcevykh-trub.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки кварцевых труб</a>
Способ изготовления кварцевых труб
Номер патента: 191755
Опубликовано: 01.01.1967
Автор: Левин
МПК: C03B 19/04
...и центрирование ее оплавляемого конца позволяет производить переплавку трубчатых заготовок, имеющих значительную стрелу прогиба без их предваритель.ного прямления.Предмет изобретения Способ из тем нагрева и одновреме готовки, отл вышения ка ния трубчат ее конце уч скоростью,20 о пугчения ой заью по- ягиваым на ают со Известен способ изготовления кварцевых труб путем нагревания до температуры размягчения и одновременного вытягивания трубчатой заготовки.Цель изобретения - повысить качество труб. Достигается это тем, что по предложенному способу в процессе вытягивания трубчатую заготовку с образованным на ее конце участком готовой трубы вращают со скоростью, например, 100 - 200 об/мин, 10При изготовлении труб описываемым способом один конец...
Способ обработки длинномерных кварцевых труб
Номер патента: 1209628
Опубликовано: 07.02.1986
Авторы: Иванов, Мийченко, Чернышов
МПК: C03C 15/00, C03C 23/00
Метки: длинномерных, кварцевых, труб
...проведения процесса термического разложения арсина имеет пыле- видное покрытие, состоящее из мьппьяка. Перед проведением последующего процесса пиролиза трубу подвергают 1209628Изобретение относится к получениюредких металлов марки о.ч, и можетбыть использовано при производствеполупроводниковых материалов.Цель изобретения - упрощение 5способа.На чертеже изображена схема пояс)няющая способ.Горизонтально вращающийся цилиндрический реактор 1 выполнен из 1 Ооргстекла. В реактор, имеющий длину2500 мм и внутренний диаметр 150 ммвкладывают кварцевую трубу 2 черезторцовой люк, прибалчивают съемнуюкрьппку 3 и заливают травитель 4через штудер с заглушкой 5, которыйрасположен на боковой поверхностиреактора. Реактор оовершает реверсивное вращение...
Устройство для обработки кварцевых труб
Номер патента: 724463
Опубликовано: 30.03.1980
Авторы: Вурзель, Гайсинский, Гладков, Глазов, Назаров, Найда, Орлов
МПК: C03B 29/00
...12. Патрон 8, 3,. 4снабжен одной из составных частей шаро,8 - 2,2 м и получены хорошие результаты:вой пары - шаровым слоем 13, а шпин- удаление дефектного слоя 20 - 60 мкм, задель 7 имеет соответствующее гнездо 14. плавление микротрещин, улучшение чистоПатрон 8 неподвижно закреплен на шпин- ты поверхности на 3 - 7 классов и т. д.деле 7 фиксатором 15. ""5 Время, затраченное на обработку наружПриводы для перемещения плазмотронов ной поверхности кварцевых труб длинойна чертежах не показаны, На фиг, 1 штри,2 м диаметрами 85 и 150 мм известнымиховой линией изображена кварцевая тру- устройствами, составляло соответственноба, , щщ 40 и 70 мин, причем машинное время соотУстройство может быть использовано как 10 ветственно 25 и 40 мин....
Устройство для получения кварцевых труб и дрота
Номер патента: 727566
Опубликовано: 15.04.1980
Авторы: Долгошев, Долотов, Шейнзон
МПК: C03B 5/02
...отдиаметра стержняУстройство для получения кварцевыхтруб и дрота состоит из плавильноготигля 1, выполненного иэ молибдена. 30или вольфрама, с периферийным нагревателем 2.По оси плавильного тигля 1 расположен стержень 3 с нагревательнымэлементом, изготонленный также из 35молибдена или вольфрама, Верхняячасть стержня длиной ),6-0,8 высотытигля имеет диаметр 0,1-0,15 отвнутреннего диаметра тигля, В нижнейчасти плавильного тигля расположенформующий узел 4,конструкция которого определяется видом вырабатываемых изделий. Устройство снабженозагрузчиком шихты 5.Устройство работает следующимобразом. 45Кварцевую крупку из загрузчика 5шихты подают в плавильный тигель 1.При перемещении от уроння засыпкидо формующего узла кварцевая крупка...
Устройство для изготовления кварцевых труб
Номер патента: 881018
Опубликовано: 15.11.1981
Авторы: Волков, Сивко, Червинская, Шубин
МПК: C03B 23/04
...предел отношений 0,9 вы 35бран из конструктивных соображений,При большем соотношении диаметров,например 1, усложняется конструкцияустройства, Нижний предел отношения40расстояния . между нагревательным диском и тиглем равен 0,1. С уменьшением этого расстояния эффект нагревания верхней торцовой плоскости тигляи нижней плоскости нагревательного45диска уменьшается и в предельномслучае сводится к нулю. Отношение,равное 0,1 - это тот предел, нри котором значение эффекта нагревательного диска практически исчезает, а тигель и нагревательный диск при этомкак бы превращаются в единый тигельс недостатками известной конструкции. Верхний предел отношений 0,6, при этом нагрев диска максимальный, Од како в данном случае увеличиваются тепловые...
Предыдущий патент: Белая эмаль
Следующий патент: Вяжущее
Случайный патент: Способ изготовления известково-кремнеземистых