Устройство для обработки фасок изделий

Номер патента: 727405

Автор: Друнк

ZIP архив

Текст

( 7274 О 5 Союз СоветскииСоциалистическихРеспублик ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУиа делам иаооретеиий и открытий, Опубликовано 15.04.80. Бюллетень 14 Дата опубликования описания 20.04.80,(72) Автор изобретения О. Н. Друнк(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК ИЗДЕЛИЙ/обработке преимущественно полупроводниковых пластин и предназначено для шлифовки периферийных частей изделий, а точнее - для снятия фасок по краям изделий.Известно устройство для обработки5 фасок одновременно с двух сторон, которое содержит два идентичных круга и копир Ц.Недостатком известного устройства является необходимость самостоятельной правки кулачка и инструмента. Для упрощения конструкции устройствакопир устанавливают жестко между двумя15кругами с возможностью совместного сними вращения, что одновременно и упро-, щает конструкцию устройстваНв чертеже схематично изображенопредлагаемое устройство,Оно состоит из следующих основныхдеталей: держателя 1 изделия, выполненного а виде стола с вакуум-присосами,получающего круговое вращение со ско 2.ростью подачи от привода (на чертеже не показан), инструмента, состоящего из двух идентичных дисков 2 и 3 с алмазными участками соответственно 4 и 5; между дисками 2 и 3 инструмента жестко установлен копир 6 (заданной толщины) с возможностью вращения заодно синструментом, получающим, в свою очередь, вращение от электродвигателя 7, Держатель 1 изделия установлен с возможностью обеспечения постоянного контакта изделия 8 в процессе его обработки за счет силы, постоянно действующей в направлении оси вращения инструмента 9, что достигается с помощью известных средств, например с помощью пневмоцилиндра или пружины (на чертеже не показано). Изделие 8, например полупроводниковая пластина толщиной 0,8 мм, закрепленная с помощью вакуум-присосов держателя 1, подводится в плотную к алмазным участкам 4 и 5 дисков 2 и 3, пос7405 4образование кремниевой пыли в процессеосуществления очередных операций, уменьшить утолщение на краях пленки фоторезиста во время его нанесения, а такжеисключить нарост пленок кремния покраям пластин, получаемых при эпитаксиии осаждении из газовой фазы, чтовсе вцелом и в отдельности позволит повысить выход годных изделий. 10 Заказ 1039 Л 943 Подписи НИИПИ Проектная, 4 Филиал ППП "Патент", г, У 3 72ле чего держателю 1 и дискам 2 и 3 с установленным между ними копиром 6, имеющим толщину 0,2 мм, сообщается вращатепьное движение в противополбжном один другому направлении, При этом происходит снятие фасок 10, 11 однс.временно с двух сторон изделия 8. Процесс съема фасок 10 и 11 идет до моментаупора края иэделия 8 в копир 6, после чего держатель 1, сделав один полный оборот, отводится от инструмента (влево). Режущие участки 4 и 5 инструмента, а также копир 6 устанавливаются тех размеров, которые обеспечивают получение необходимой конфигурации профиля кромки изделия 8, т,е.инструмент должен иметь профиль, обратный профилю кромки изделия, который необходимо получить.Предлагаемое устройство обеспечивает возможность обработки фасок одновременно с двух сторон плоскосого,хрупкого изделия, телщиной не более 1 мм, что при использовании в полупроводниковом производстве позволит улучшить стойкость полупроводниковых пластин к механическим повреждениям, уменьшить Формула изобретения Устройство для обработки фасок иэделий, содержащее два круга с конусными рабочими поверхностями, установленными из условиях одновременной обработки фасок с двух сторон, и копир, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью упрс щения конструкции устройства, копир установлен жестко между двумя кругами с воэможностью совместного с ними вра-щения. Источники информации. принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США3158967,кл, 51-89, опубл. 1964.

Смотреть

Заявка

2584163, 27.02.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6707

ДРУНК ОЛЕГ НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: B24B 9/16

Метки: фасок

Опубликовано: 15.04.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-727405-ustrojjstvo-dlya-obrabotki-fasok-izdelijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для обработки фасок изделий</a>

Похожие патенты