Способ контроля герметичности изделий

Номер патента: 714199

Авторы: Курбатов, Лейтес, Солдатов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Светскик Социалистическид Республик(51) М. Кл.2й 01 М 3/001 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытий(О 88. 8) Дата опубликования описания 050280(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ФормуЛа изобретения Изобретение относится к техникеиспытаний на герметичность, в частности к технике испытаний изделийна герметичность в жидкости, преимущественно корпусов микросхем.Известен способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том,что изделие погружают в жидкую испытательную среду, создают наднейразряжение и о герметичности судятпо пузырькам газа или воздуха, взходящим через неплотности изделия, а вкачестве испытательной среды используют уайтспирит, этиленгликоль,фреон(11, 15Недостатком известного способаявляется то, что используемая испытательная среда является либо растворителем, либо химически активнымвеществом, что приводит к тому, что 20изделия, представляющие собой корпусамикросхем, разрушаются вследствиепопадания испытательной среды черезнеплотности в корпус.Целью изобретения является обеспечение контроля микросхем без ихразрушения,Указанная цель достигается тем,что в качестве исдытательной средыиспользуют перфторированные жидкости.30 Эти жидкости представляют собой широкий класс органических веществ, химически нейтральных и не являющихся растворителями. Попадание таких веществ внутрь изделия не приводит к выходу ее из строя.Способ осуществляют следующим образом.Иэделие погружают в жидкую испытательную среду (МДЗФ-перфтортриэтиламин- (СГ )а И-ТУ 6-02-721-73 вместо фреойаили ДЭФ, перфтордибутиловый эфир-(СГо) О - ТУ 6-02-.802-73 вместо уайтспирита и воды), создают над ней разряжение и .о герметичности судят по пузырькам газа, выходящим через неплотности. Способ контроля герметичности иэделий, заключающийся в том, что изделие погружают в жидкую исйытательную среду, создают над ней разряжение и о герметичности судят по пузырькам газа, выходящим через неплотности, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью обеспечения контроля микросхем без их разрушения в качестве714199 Составитель И. Кесоян Редактор А. Семенова Техред И.Кузьма Корректор Г, Решетник Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035 Москва ЖРазыская наб. д. 45Заказ 9272/Зб ч. . С34 ЕЕУ . Филиал ППППатент, г, Ужгород ул, Проектная,4 испытательной среды используют перфторированные жидкости.Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе 1. Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства М., Высшая школа, 1976 (прототип).

Смотреть

Заявка

2616401, 26.05.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3162

ЛЕЙТЕС ИЛЬЯ ЛАЗАРЕВИЧ, КУРБАТОВ ОЛЕГ ВЛАДИМИРОВИЧ, СОЛДАТОВ ВЛАДИМИР КОНСТАНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01M 3/00

Метки: герметичности

Опубликовано: 05.02.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-714199-sposob-kontrolya-germetichnosti-izdelijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля герметичности изделий</a>

Похожие патенты