Способ разбраковки изделий электроннойтехники по инфракрасному излучению

(23) П риоритет Опубликовано 07,08,81. Бюллетень М 29 по делам иэобретеиий и открытий(088,8) Дата опубликования описания 10.08.81(54) СПОСОБ РАЗБРАКОВКИ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙТЕХНИКИ ПО ИНФРАКРАСНОМУ ИЗЛУЧЕНИЮ Изобретение касается неразрушающегоконтроля изделий электронной техники(ИЭТ), в частности разбраковки потенциально ненадежных транзисторов по инфракрасному излучению, когда тепловыепараметры являются критерием годностиизделий.Известен .способ) контроля полей ИЭТпо ИК-излучению путем последовательно.го поэлементного сканирования поверхности изделия. В результате последователь-ного анализа сигналов, получаемых от каждого элемента поверхности или после получения всей картины теплового поля, делается вывод о качестве данного изделия 1,Недо статком указанного способаявляется низкая производительность, вследствие чего он неприемлем для производственного контроля серийно ВыпускаемыхИЭТ,Панболее близким к изобретению нзизвестных является способ контроля ИЭТпо ИК-излучению, заключающийся в изме 2ренин излучения со всей поверхности контролируемого иэделия и сравнении его с излучением эталона, По результатам сравнения делают вывод о том, к какой тууппе качества ьтнестн данное изделие 21.В то же время этот способ разбращвкн имеет существенный недостаток: низкую достоверность разбраковкн, так как в число годных попадает значительное число потенциальноненадежных изделий, имеющих скрытые дефекты, которые данным способом не мсйут быть выявлены на общем фоне суммарного сигнала, находящегося в допустимых пределах. Этн дефекты, образующие участки перегревов н недогревов, особенно характерныдля таких ИЭТ, кай транэястсеты, интегральные схемы, катодно-подогревательныеузлы элекгроннб аучевых приборов,Целью ттредпагаемого способа являетсяповьипение, достоверности разбуаковкя путемвыявления изделий, имеющих участки перегревов я недогревов,3.707402ф Указанная пель достигается тем, что Ров, пропускающих излучение в требуемых ЗНЙИПИ Заказ 5888/48 Тираж 907 Подписное филиал ППП Патент", г, Ужгород, ул. Пцоектная, 4 разбраковку производят по величине раз- диапазонах, В настоящее время имеютсяности сигналов " от-контролируемого изде- в наличии селективные фотоэлектрическиелия и эталона, измеряемых в К участ- приемники, которые при охлаждении чувстках сйектра по обе стороны от длины вол- вительного элемента обеспечивают высоны, соответствующей максимуму излучения кую чувствительность, Предлагаемый спо 5от эталона. соб допускает и частичное взаимное переС точки зрения контроля качества ИЭТ крытие .их спектральных характеристик.по ИК-излучению качественным (годным) При реализации способа с помощью поизделием-является такое, поверхность ко О лосовыхфильтров используется один фототорого нагрета равномерно, а температу- . приемник, имеющий широкую спектральнуюРа" поверхности находится в определенных характеристику в области спектра излученияпределах. В" соответствии с" предлагаемым контролируемых изделий, например пнроспособом для изделия, принятого за эта-электрический болометр. А характеристикилон, по закону Вина определяют длину 15 пропускания фильтров выбиРаются в соотволны 3, на которой спектральная пло- ветствии с Указанными выше требованиями.ф-тйость излучения имеет максимальное эна- Обработка электрических сигналов длячение, Затем выбирают спектральные ди- ( их сравнения .с эталоном в настоящее время"6 пазоны -лежащие в диапазоне длин волн реализована во многих пирометрах (ИК-ракак короче, так и длиннееКо о диомерах), Установка границ разбраковкиличество выбранных диапазонов может быть производится по изделиям, принятымзалюбым и зависит от конкретных требований эталон с учетом имеющихся статистическихк изделию и аппаратурных возможностей, данных по их качеству. Анализ и выдачаЗатем Измеряют электрические сигналы конт данных на исполнительный механизм разролируемого изделия в каждом из диапазо браковки возможны как с помощью уст-,.с= ляютотносительные отклонения измеренных Таким образом, предлагаемый способ" - сигналов по отношению к эталонным и по разбраковки ИЭТ обладает значительновеличине и знаку этих отклонений в каждом 30 большей достоверностью, так как выяиз диапазонов раэбраковывают изделия, т.е. вляются потенциально ненадежные иэдеделают вывод о степени годности данного лия, обладающие локальными перегрева+изделия, При наличии йо поверхности конт-ми и недогревами, что в конечном итогеролируемого иэделия хотя бы одного уча- повышает надежность работы устройств,сткалокального перегрева, занимающего 35 элементами которых являются изделия,: -===часть йлощади,доля излучения от этого разбракованные данным способом,участка в суммарном потоке будет суще- фоРмУла изобретенияственна. В этом случае относительное из . Способ разбраковки изделий электронмекение электрического сигнала в диапа- ной техники по инфракрасному излучению,зоне длин волн короче 3.по закону 40 заключающийся в измерении сигнала со9 Тсмещения Вина будет больше, чем из- всей поверхности контролируемого изде" -мененйе сигнала в диапазоне длин волн лия и сравнении его с эталоном, о т л идлиннее 3, в сравнеуии с установлен- ч а ю щ и й с я тем, что, с целью понймив этих же диапазонах значениях вышения достоверности разбраковки, разэталона, При наличии на поверхности конт браковку производят по величине разносропируемого изделия хотя бы одного участ. ти сигналов от контролируемого издека локального недогрева (при условии, что ция и эталона, измеряемых в Й участкахо- дбля излучения от участков перегрева не- спектра по обе стороны от длины волны,значительна) подобное изменейие сигйалов - соответствующей максимуму излучения- "в" коротковолновом диапазоне будет меньше,50 от эталона,""чем"в длинноволновом. - Источники информации,Реализация йредлагаемого способа воэ- принятые во внимание при экспертиземожна различными вариантами: с помощью 1. Авторское свидетельство СССРфотоприемников, имеющих различные спект- Й 346596, кл,. б 015/12, 1972,=-=" Ральййе характеристики, или, с помощью ,55 2. Авторское свидетельство СССРодного фотоприемника И полосовых фильт- % 534127, кл. О" 29/00, 1979.