Способ измерения поперечных размеров оптически прозрачных структур

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик нн 706690 111 гэ.Рби 1 ьК АВТОРСХО МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(72) Авторы изобретения С. Н, Менсов н В, А. Вдовин Горьковский государственный университет им. Н.И, Лобачевского(54) СПОСОБ. ИЗМЕРЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ СТРУКТУРИзобретение относится к измерительной технике и может быть применено для определения поперечных размеров оптически прозрачных структур, труднодоступных для непосредственного измерения.5Известен способ измерения поперечных размеров оптически прозрачных структур, заключающийся в том, что оптическое излучение формируют в виде сходящейся сферической волны, пропускают ее через контролируемую структуру и сканируют поле волны, продифрагировавшей на контролируемой структуре 111.Однако этот способ затруднителен в приме. ненни, например, при контроле внутренних размеров, что обусловлено необходимостью перемещения сканирующей системы в поперечном относительно оптической оси направлении, Кро. ме того, оц имеет невысокую помехозащищен. ность вследствие использования первого макси мума прострацствец ного Фурье-спектра, который обычно составляет цо величине 4% от основно. но - нулевого. Цель изобретения - расширение диапазона контроля и повышение номехозащищеиности, По предлагаемому способу сканирование производят вдоль оптической оси, определяют положение основного максимума интецсивцости поля и по найденному положению судят о контролируемом размере.В основе способа лежит факт однозначной зависимости положения основного максимума интенсивности поля, прошедшего чсрез собирающую линзу и анализируемую структуру в виде амплитудно-прозрачной маски, ца оптической оси от эффективной ширины входного рас. пределеция этой структуры.На чертеже изображена схема устройства для реализации предложенного способа,Устройство содержит излучатель 1, например ОКГ, фокусирующую линзу 2, оптический фильтр 3, объектив 4, измеряемую амплитудно. прозрачную структуру 5, сканирующую систему 6, точечный приемник 7 излучения, лифферсн. циатор 8, блок 9 отсчетных импульсов, осциллограф 10.Способ осуществляется следующим образом.Излучение ОКГ фокусируют линзойв плоскость оптического фильтра 3, созлаяцнего6690 Составитель С, ГрачевРедактор Г, Улыбина Техред О,Андрейко Корректор Е.Лукач Тираж 845ИПИ Государственного комитета СССРо делам изобретений и открытий35, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/ Подписно каз 8205/3Ц 1 13 пиал ППП "Патент" г. Ужгород, ул, Проектная,3 70 расходящуюся сферическую волну, равноценную, излучению точечного источника, раслоложенно. го в плоскости фильтра 3, Это излучение по.средством объектива 4 преобразуют в сходящу. юся волну, пропускаемую через амплитуднопроэрачную структуру 5, ширину которой не. обходимо измерить, Положение основного максимума интенсивности поля по оптической оси Е определяют путем перемещения вдоль нее сканирующей системы 6 с точечным приемником светового излучения, преобразующим световое излучение в электрический сигнал, который поступает на дифференциатор 8, а с него - на блок 9, вырабатывающий импульс при нулевом входном напряжении, выход блока 9 подключен к вертикальным пластинам осциллографа 10. Если развертка осциллографа синхронизирована со сканирующей системой 6, то в точке максимума интенсивности на экране будет однозначно высвечиваться отсчетная метка, которая опреде. ляет значение ширины структуры 5. 4Способ позволяет значительно распирить ли.апазон измерения и повысить. его.омехозапицсе.ность.Формула изобретенияСпособ измерения поперечных размеров оп.тически прозрачных структур, заключающийсяв том, что оптическое,излучение формируют ввиде сходящейся с 1 ерической волны, пропускают ее через контролируемую структуру и скаО нируют после волны, продифрагировавшей наконтролируемой структуре, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения диапазонаконтроля и повышения помехозащищенности,сканирование производят вдоль оптической оси,15 определяют положение основного максимумаинтенсивности поля и по найденному положе.нию судят о.контролируемом размере.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе2 ц 1. Патент США У 3884581, с. 356 - 109, 1973