Способ измерения скорости изменения давления хемосорбционно активного газа

(61) Дополнительное к ает. саид-ву(22) Заявлено 10.05,78 (23) 2617323/18-10с присоединением заявки Йо(23) ПриоритетОпубликовано О Ь 1 1.79 Ьоллетеиь йо 41Дата опубликования описания 10.05,79 Сеез Советскик Социалистических Республик(51) М. Кл. С 01 Ь 11/ОО Государственный комитет СССР по дедам изобретений и открытий(71) 3 аяеитель Иаучно-исследовательский институт прикладной физикипри Иркутском государственном университете им.А.А.Жданова3(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ИЗМЕНЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ХЕМОСОРБЦИОННО-АКТИВНОГО ГАЗА,"(ля повышения точности измерений в вакуумированный объем помещают люминофор, регистрируют время разгорания люминесценции - промежуток времени с момента возникновения свечения до мсмента достижения максимальной интенсивности свечения и по формуле с 1 Р -ОгИзобретение относится к областиприборостроения, в частности к методам измерения скорости изменения давлению газа. 5Известны способы определения скорости натекания газа в вакуумированный объем с помощью устройств, включающих манометрические преобразователи различных типов 11. Недостатком"щих является либо значительная инерционность, либо конструктивная сложность изготовления.Известен также способ определенияскорости натекания газа в вакуумированный объем, основанный на существовании зависимости ионного тока,возникающего в газе в результатеионизацни его каким-либо способом,от давления газа. Способ заключается в дифференцировании функции изменения давления со временем по выходному сигналу датчика ионного тока 22 .Недостатком способа является необходимость создания в рабочем объеМе значительной концентрации заряженных частиц (ионов и электронов),которые могут существенно влиять нарезультаты измерений.30 ВРгде -- скорость изменения давленияС - время разгорания люминесценции;с - постоянная величина,определяют скорость изменения давления,Способ основан на явлении хемилюминесценции, возникающей при взаимодействии хемосорбционно-активногогаза с поверхностью неорганическихлюминофоров . Кинетика такой хемилюминесценции.определяется скоростьюхемосорбции. При прочих равных условиях хемосорбцня протекает тембыстрее, чем больше скорость возрастания давления газа. Поэтому по временным параметрам кинетики хемилюми-ааС=А у Составитель О, СафоновРедактор О, филиппова Техред И.Бабурка Корректор М,Пожо Заказ 6752/42 Тираж 1073. ПодписноеЦИИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытийПЗОЗ 5, Москва, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5, филиал ППП Патент 11, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 несценции судят о скорости изменения давления газа,Хемосорбция (в частности, хемосорбция кислорода на неорганических оксидных соединениях) подчиняется закону Рогинского-Зельдовича: где Б - количество хемосорбированных чадтиц;Р(1) - закон изменения давления;а(.и 1" - постоянные,при линейном законе натекания газа Р(1) =(-)Интегрируя уравнеЙР,ние (2) при начальных условиях(М = О при 1 = о) и учитывая, чтоинтенсивность хемилюминесценции пропорциональна в , , получаем следуютйщее выражение для интенсивности свечения ,где ) - выход хемилюминесценции.Иэ уравнения (3) видно, что интенсивность свечения с течением време проходит через максимум. Время разгорания свечения ( ь ) - промежуток времени с момента возникновения свечения до момента достижения максимума свечения - определяется выражением где А- - постоянная для данного люминофора., зависящая от с и у. Таким образом, между временем разгорания хемилюминесценции Ги ско ростью натекания газа (др/Йс) существует простая зависимость,Способ включает следующие операции.С помощью Фоторегистрирующейаппаратуры измеряют время разгорания хемилюминесценции, возникающей5 при взаимодействии газового потокас люминесцентным материалом. По градуировочному графику определяютскорость натекания газа в вакуумированный объем. Для реализации спо 10 соба вакуумируемый объем должениметь оптическое окно для выходаизлучения,Способ измерения скорости изменения давления хемосорбционно-активного газа при натекании его в вакуумный объем, о т л и ч а ю щ и й с я тем, чтос целью повышения точности измерения внутри объема .помещают люминофор, регистрируют промежуток времени с момента возникновения свечежия до момента достижения максимальной интенсивности свечения и по величине промежутка времени судят о .скорости изменения давления.Источники информации,.принятые во внимание при экспертизе 30 1. Королев Б.Н., Кузнецов В.И.,Пипко А.И., Плисковский В,А, ф Основы вакуумной техники 1. М., фЭнергияф, 1975,с, 236-254.35 2, Авторское свидетельство СССРР 476473, кл. С 01 1 21/ОО, 1975