Масс-спектрометрический течеискатель

О П И С А Н И Е 688875 Союз Советских Социалистических Республик22) Заявлсно 10.05.78 (21) 2612332/25-28 вки ,Го присоединением за23) Приоритет -43) Опубликовано 345) Дата опублико Государственный комитет СССР делам изобретений(54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛ Изобретение относится к приборам для масс-спектрометрического анализа и предназначено для контроля герметичности различных устройств.Известны анализаторы заряженных часц, где отключающая система выполнена иде набора электромагнитных анализатов с различными радиусами орбит (1.Известны также анализаторы, имеющие направленное фокусирование, позволяющие в некоторых пределах изменять фокусировку, т. е. траекторию пучка ионов 121.Однако, при изменении орбиты от наибольцтей к наименьшей соответственно снижается разрешающая способность приборов, кроме того из-за ограниченной возможности изменения ускоряющего напряжения они также могут применяться лишь для близких по массе газов,Наиболее близким по технической сущ ности к изобретению является масс-спектрометрический течеискатель, например, типа ПТИ, содержащий масс-анализаторную камеру статического типа, размещенную между полюсами магнита, вакуумнуо систему, 25 блок питания камеры и измерительную систему 3.Течеискатель настроен на измерение парциального давления только одного контрольного газа, перестройка же течеискате- ЗО ля на другои газ может выполняться изменением ускоряющего напряжения только в небольших пределах, иначе происходит расфокусировка пучка и резкое ухудшение чувствительности и разрешающей способности прибора. Практически возможна его перестройка только на газ с близкой эффективной массой и с понижением чувствительности.Целью изобретения являстся расширение спектра анализируемых газов,Указанная цель достигается тем, что масс-анализаторная камера выполнена с двумя П-образными карманами, расположенными вдоль орбиты полета ионов газов, а течеискатель снабжен вставками из магнитопроводного материала, устанавливаемымии в эти карманы.На фиг. 1 схематически изображенг предлагаемое устройство, на фиг. 2 - разрез А - Л на фиг. 1.Течеискатель состоит пз масс-анализа- торной камеры 1 статического типа с 180- градусной фокусировкой ионных пучков в однородном поле магнита 2, измерительной системы 8, вакуумной системы 4 и блока 5 питания камеры. Внутри камеры расположены источник 6 ионов и приемник 7, а снаружи П-образные карманы 8 с магнитоияг кими вставками 9.Подписноений и открытий Заказ 857/1075 Изд.540 Тираж 10901 ПО Поиск Государственного комитета СССР по делам нзобр113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фил ен Работает течеискатель следующим образом.Поступающий за счет диффузии в вахуумируемый ооьем камеры 1 газ понизируется и вытягивается в виде узкого пучка нз источника б ионов в пространство камеры 7, где под действием электрического и магнитного полей он движется по круговой орбите радиуса й и попадает в приемник 7. Ионный ток регистрируется измерительной системой 3. При изменении типа контрол 1- ного газа карманы 8 камеры заполняются магнитомягкими вставками 9 цз электротехнической стали или сплава на высоту, соответствующую изменению массового числа газа. Перестройка такого течеискателя на новый контрольный газ сводится к установке (или снятию) калиброванных магнцтоцроводных вставок, имеющихся в наборе, и небольшой подстройке течеискателя изменением ускоряющего напряжения. Так, например, перестройка с гелия на аргон требует установки 8-миллиметровых вставок из стали Э,Течеискатель позволяет без дополнительных затрат и без уменьшения его чувствительности быстро производить перенастройку с одного анализируемого газа на другой в широком диапазоне массовых чисел газов. Формула изобретения5 Масс-спектро метрический течеискатель,содержащий масс-анализаторную камеру статического типа, размещенную между полюсами магнита, вакуумную систему, блок Гв цитации камеры и измерительную систему,о тл и ч а ю щи й ся тем, что, с целью рас 1 цирсния спектра анализируемых газов, масс-анализаторная камера выполнена с двумя П-образными карманами, располо жсццыми вдоль орбиты полета ионов газов,а Ген сискатсль снабжен вставками из магццтопроводного материала, устанавливаемыми в эгц карманы. 20 Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССРМ 253945, кл. Н 01 1 39/34, 1969.2, Патент США М 321327 б, кл. 250-41,9,259873. Лацис В. А., Левина Л, Е, Техникавакуумных испытаний, Госэнергоиздат,19 б 3, с. 199 - 207, (прототип),