Способ изготовления пьезоэлектрических устройств

фИСАНИ Союз Советских Социалистических республик(51)М. Кл. исоединением заявки рй 3 Н 3/02 ГееудеретввваЖ кеСССР 23) Приоритетее делен кзебрвтвкв в вткрыткк бликовано 1 юллетень,%3 53) УДК 621:372Дата, опубликован писания 15,09,7 А. А. Бронников, Л. Л. Вепринский, Р. Г. Кнтабов, В. П. Крючкова и О, А. Мещеряков 72) Авторы изобретени 1) Заявитель ОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХТРОЙСТВ СПОСОБ ИЗ кое кольцоу производя металл ичесную камерпоследующимсобу нагре Изобретение относится к области радиоэлектроники и может использоваться при изготовлении кварцевых резонаторов, пьезоэлектрическихфильтров и других пьезоэлектрических устройств,Известен способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между пьезоэле 5ментом и основанием корпуса вводят тепловойэкран, например, в виде слюдяного диска, ипроизводят нагрев области соединения стеклянного баллона с основанием с помощью газовомгорелки смесью бутан пропана с кислородом до1200 С с последующим охлаждением, после чего проводят вакуумирование через штенгель баллона (Ц,Недостатком этого способа является низкаятехнологичность из.эа необходимости введения15теплового экрана для зашиты пьезоэлементаот воздействия высоких температур, развивающихся при заварке, а также наличия раздельных.операций соединения основания с корпусом иЮвакуумирования,Известен способ изготовления пьезоэлектрических устройств, по которому между стеклянными баллоном и основанием корпуса вводят, помещают их в вакуум.т нагрев н выдержку с аждением 121, По этому споодят токами высокой час. Недостатком этого способа является недоста.точно высокая надежность изготовленных пьезо.электрических устройств из-за действия локаль.ного перегрева баллона и основания, ведущегок появлению в них микротрещин,Целью изобретения является повышение на.дежности пьезоэлектрических устройств.Это достигается тем, что по предлагаемомуспособу прн изготовлении пьезоэлектрическихустройств предварительно проводят окислениеповерхности металлического кольца на воздухе,а перед помещением в вакуумную камерусдавливают баллон с основанием, Кроме того,Величину давления при сдавливании устанавливают 0,3 - 0,5 кг/мма, давление в вакуумной-Ъ -фкамере - 10 - 510 мм рт. ст. температуру -на 100 - 150 С ниже температуры размягчениястекла баллона и основания, а время выдержкитстанавлнвают 15 - 20 мин.368По предложенному способу между стеклянным баллоном.н основанием, выполненным,например, иэ стекла с - 49 - 2, помещают металлическое кольцо, например, иэ меди. Кольцопредварительно окисляют на воздухе до закисиСОО. Сдавленные с усилием,0,3 - 0,5 кг/ммбаллон с основанием помещают в камеру вакуумной установки, в которой выдерживают ихв течение 15 - 20 мин при 480 С, При этом од.повременно с соединением основания с балло.ном происходит вакуумирование пьезоэлектри.ческого устройства. Микротрещин в баллонеи основании нри изготовлении таким способомне образуется,Предложенный способ обеспечивает высокиенадежность пьезоэлектрических устройств приих эксплуатации и процент выхода годных приих изготовлении,1. Способ изготовления пьезоэлектрическихустройств, при котором между стеклянными Составитель В, БанковТехред З.Фанта Корректор Е. Папп Редактор В. Трубченко Заказ 5483/54 Тираж 1060 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д, 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4Формула изобретения 6143баллоном и основанием корпуса вводят металлическое кольцо, помещают их в вакуумную камеру, производят нагрев и выдержку с последующим охлаждением, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения надежности, цред.варительно проводят окисление поверхностиметаллического кольца на воздухе, а перед по.мещением в вакуумную камеру сдавливаютбаллон с основанием.10 2, Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что величину давления при сдавливанииустанавливают 0,3 - 0,5 кг/ммф давление в ва.куумной камере - 10 - 510 им рт. ст, температуру - на 100 - 150 С ниже температуры раз 15 мягчения стекла баллона и основания, а времявыдержки устанавливают 15 - 20 мин,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1, Глюкман Л, И. Пьезоэлектрические квар.го цевые резонаторы "Энергия", Л 1969, с. 200 -202.2. Ярославский М. И, и др, Конструирование, изготовление и применение кварцевых ре.эонаторов "Энергия", М 1971, с, 91,