Устройство для литья пленки

рО П И С А Н И Е (1)670343ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(45) Дата опубликования Бюллетеньсания 30.06,79 53) УДЫ, 678.026по делая изобретений и открытий, А, Пальчевск одра 71) Заявптель вовски ена Лен политехническии институт) УСТР 0 йСТВ 0 ДЛ 1 ЛИТЬ 1 ПЛ 0 Изобрстение относится к конструкции устройств, применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. и. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.Известно устройство для литья пленки, содержащее стол для тсхнологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха 1.Такое техническое решение лишь частично устраняет неравномерность расхода пасты, Однако при изготовлении пленок, используемых в радиоэлектронике, даже незначительное отклонение толщины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в воронке, нежелательно.Известно также устройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся технологической подложкой литейную воронку, соединенную с пневмосистемой вытеснения пасты из воронки, снабженной подводящим трубопроводом, трубопроводом отбора воздуха от воронки и измерительным соплом, размещенным над технологической подложкой 2. 7Такое устройство является наиболееблизким к изобретению по техническойсущности и достигаемому результату,Недостатком его является то, что пристабильном расходе пасты равномерностьтолщины пленки достигается не всегда. Например, при изменении толщины тсхнолоподложгп равпомсрностг. расходапасты приведет к ооратному результату -отклоненшо толщины пленки от заданнойвеличины.Целью изобретения является повышениестабильности толщины пленки.Указанная цель достигается тем, что измерительное сопло установлено на выходном конце трубопровода отбора воздухаперед литейной воронкой по ходу движения технологической подложки.На чертеже изображено предлагаемоеустройство.Устройство для литья пленки содержитустановленную над движущейся технологической подложкой 1 литейную воронку 2,соединенную с пневмосистемой вытесненияиз нее пасты, снабженной подводящим трубопроводом 3, трубопроводом 4 отбора воздуха от воронки 2 и измерительным соплом5, размещенным над технологической подложкой 1,;актор Г, Прусова Тскред А. Камышникова Корректор Т. Добровольская 14/7 Изд. М 421 Тираж 821 Ц 1-1 ИИПИ 1-11 Я Гсиск Государственного комитета по делам изобретений и открытии 113035, Москва, )К, Раушская наб., д. 4/5ПодписР Лака Типография, пр. Сапунова,Измерительное сопло 5 установлено на выходном конце трубопровода 4 отбора воздуха перед литейной воронкой 2 по ходу движения технологической подложки 1.Устройство также содсржит стол 6 под технологическую подложку 1 и механизм ее протягивания, содержащий барабаны 7 и 8.В литейной воронке выполнена щель 9, а на входс г подводящий трубопровод установлен дросссль 10.Устройство для литья пленки работает следующим образом.Воронку 2 заполняот пастой и подаот воздух из писвмосистсмы под давлением, превышающим гидростати 1 ескос давление пасты В Воронке 2, Под суммарным давлением (гидростат еское плюс воздушное) паста через щель 9 поступает па движущуюся тсхнологичсскую подложку 1. При изме;епии толщины подложки 1 изменяется величина зазора между соплом 5 и поВерхиосте О подложки, В результате 1 его изменяется количество воздуха, проходящее через трубопровод 4 отбора воздуха. Соотзстствснпо измси 51 с 5 ся давление В ВО- роикс 2 и расход пасты, от которого зависит толщина наносимого слоя,4Использование предлагаемого изобретения позволяет получить высококачественную металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, 5 электронных вакуумных приборах и т. п. Формула изобретенияУстройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся техно 10 логической подложкой литейную воронку,соединенную с пневмосистсмой вытесненияпасты из воронки, снабженной подводящимтрубопроводом, трубопроводом отбора возду;,а от воронки и измерительным соплом,15 размещенным над технологической подложкой, отл ич а юцесс я тем, что, сцелью говышсиия стабильности толщиныпленки, измерительное сопло установленона выходном конце трубопровода отбора20 воздуха перед литейной воронкой по ходудвижения технологической подложки.Источники информации,принятыс во внимание при экспертизе1. Патент СШЛ Мо 29743 б 4, кл. 18 - 15,;5 опублик. 19 б 5.2. Заявка ЛЪ 245113 б/23 - 05, кл. В 05 С5/02, 1977, по которой принято решение овыдаче авторского свидетельства,