Способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя

2 и.З 1.н ; н чм ,;31 о и и течю-е Союз Советских Социалистических Реслублик(51) М. Кл Н 01 с присоединением заявки-Государственный комитет СССР оо делам изооретен и открытий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕЧИ ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКОГО Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления электроннооптических преобразователей (ЭОП) и усилителей яркости изображения.Способы изготовления многокамерных ЭОП делятся в основном на две категории: в одном варианте каждую камеру ЭОП обрабатывают в отдельности, в другом - осуществляют одновременную обработку двух камер, а потом-следующих пар камер, если количество камер превышает две.Известен способ изготовления многокамерного ЭОП, в котором каждая камера обрабатывается в отдельности 1.Поочередная обработка камер ЭОП существенно увеличивает время технологического процесса, кроме того, уменьшается вероятность получения высокочувствительного фотокатода. Это обусловлено тем, что по ряду причин обработку камер производят в одном рабочем объеме и изоляция камер друг от друга практически не применяется, в результате при обработке фотокатода в следующей камере избытки щелочных металлов попадают в ранее обработанную камеру и ухудшают чувствительность фотокатода. Известен также другой способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя, содержащий обезгаживание прибора на откачном посту, одновременную ооработку фотокатодов двух соседних камер, отпайку прибора с откачного поста и поворот промежуточного фотокатода на 180 2.Последовательность операций способа при обработке двух камер одновременно следующая: в исходном состоянии обе подложки для фотокатода находятся в одной камере (для чего подвижный узел повернут подложкой в сторону первой камеры, в другом торце которой расположена вторая под ложка); прибор напапвают на откачной пост и производят обезгаживание; обрабатывают фотокатод, отпаивают прибор с откачного поста. Далее поворачивают его на 180, при этом поворотный узел также поворачивается на 180 и фиксируется в этом положении. Недостатком этого способа изготовления многокамерного ЭОП является относительно малый коэффициент преобразования и большая величина шума.и" 669417 5Указанные перераспределения в объемена внутренней стороне колбы и электродах прибора и определяют уменьшение шума и повышение рабочего напряжения, а следовательно, и коэффициенты преобразования о прибора.Результаты испытаний четырехкамерныхусилителей яркости изображения показали, что высоковольтная тренировка на откачном посту позволяет примерно на 20 - 1580% повысить рабочее напряжение по сравнению с аналогичными приборами, обработанными по известной технологии. Это соответственно обеспечивает увеличение коэффициента преобразования четырехкамерного ЭОП более чем в 1 О раз.Кроме того, высоковольтная тренировкана откачном посту уменьшает на 15 - 201 о количество приборов, имеющих шумы на люминесцентных экранах ЭОП. Формула изобретения Сосгавитель В. БелоконьРедактор М, Рогова Техред О. Луговая Корректор Е. ПаппЗаказ 307044 Тираж 022 ПодписноеЦНИ И ПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раугиская набд. 45Филиал ППП Патент,. ь Ужгород, ул. Проектная, 4 Целью изобретения является увеличение коэффициента преобразования и уменьшение шума.Это достигается тем, что поворот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осуществляют тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке, после чего прибор отпаивают с откачцого поста.Предлагаемый способ изготовления приОора обеспечивает необходимые условия его тренировки в рабочем состоянии при непрерьвцой откачке на откачном посту. Г 1 ереворот промежуточного узла (фотокатода-люминесцентного экрана) на откачном посту можно произвести различными путями; при обработке фотокатода удерживают его подложку в нерабочем состоянии с помощью пружины, которая находится в напряженном состоянии, например, удерживается проволочкой, которую затем пережигают.Пружина раскручивается и переворачивает подложку на 180, плотно прижимая ее к специальному фиксатору. Или переворот подложки с фотокатодом можно осу - цествить путем перемещения ее с помошьк магнита и последующей фиксации. Когда фотокатод установлен в рабочее состояние,25 производят тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке. Тренировку проводят повышенным, гц сравнению с рабочим, напряжением питания, так как в этом случае вероятность стабильной работы прибора при рабочем напряже нии повышается. Многокамерные электроцнооптические преобразователи допускакуг запас прочности по цапряженикт 1,2 13 Цау. Лальцейшее Увеличение может пРивес ти к высоковольтному пробою межэлектродных промежутков и вызвать, например, прожиг люминесцецтного экрана, существенное снижение чувствительности фотокатода и т. д.В результате тренировки ца Откачцом посту избыточные щелочцыс металлы, возможные остаточные загрязнения, окислы и газы, находящиеся в обьеме на внутренней стороне колбы либо на электродах прибора, начинают интенсивно перемещаться. Частично Оци Осая(даются на х частки прибора,которые не определяют его электрическую прочность, т. е. на которые не подается напряжение во время тренировки. Большая часть перемещающихся частиц и газов откачивается за пределы объема прибора. Способ изготовления мцогокамерцого элсктроннооптического преобразователя, содержащий обезгаживание прибора ца откачном посту, одновременную обработку фотокатодов двух соседних камер, отпайку прибора с откачного поста и поворот промежуточного фотокатода на 180, отличающееся тем, что, с целью увеличения коэффициента преобразования и уменьшения шума, поворот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осушествляют тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке, после чего прибор отпаивают с Откачного поста,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Берковский А. Г. ц др. Вакуумцыс фотоэлектронные приборы М., Энергия, 1976, с. 300- 301.2. Г 1 атент США ЛЪ 303580, кл. 250- 213, опубл. 1962.