Способ испытаний изделий на герметичность

ОЙ ИСАЙ ИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 1665226 Сова Советских Социалистических Республик(23) Приоритет СССР ам изобретений н открытий) Опубликовано 30.0 5) Дат икования описания 30.0 2) Автор изобретени(54) СПОСОБ ИСПЪТАНИЙ И НА ГЕРМЕТИЧНОСТЪ Ий Изобретение относится к области испытательной техники и касается испытаний изделий с высокой чувствительностью массспектрометрическим течеискателем.Известен способ определения места утечки в емкости, работающей в вакууме при низких температурах, заключающийся в том, что емкость помещают в вакуумную камеру, заполняют емкость хладагентом, соединяют вакуумную камеру с масс-спектрометрическим течеискателем, вытесняют хладагент из емкости путем подачи в нее пробного газа до открытия места утечки 111Однако этот способ не позволяет достаточно точно обнаружить место утечки и ее величину,Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ испытаний изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере электрический разряд, а о негерметичности судят по свечению пробного газа в зоне разряда .2.Однако по такому способу о конкретном расположении места утечки изделия судят визуально по свечению пробного газа, что не всегда возможно для конструктивно сложных изделий, Кроме того, способ позволяет установить только место утечки без определения ее численной величины.Цель изобретения - повышение точностиопределения места утечки.Для этого по предлагаемому способу вкамере вблизи изделия размещают катодный локализатор, с помощью коммутатора поочередно подают напряжение на ячейки катодного локализатора, а о местоположе нии течи судят по положению коммутаторапри возникновении свечения пробного газа,На чертеже представлена схема установки для реализации предлагаемого способа.В полость вакуумной камеры 1 устанав ливают контролируемое изделие 2 и катодный локализатор 3, представляющий собой ряд тонких пластин. Габариты пластин выбирают, исходя из требуемой зоны 4 локализации, Каждую из катодных ячеек с по мощью электрического кабеля через гермопасту вакуумной камеры выводят за пределы камеры и подключают в электрическую цепь коммутатора 5, Пластины 3 стыкуются между собой через изоляционные про кладки 6. Зона возникновения электрического разряда находится над местом дефекта, в районе которого образуется зона 7 повышенной концетрации гелия. Объект испытания (анод) подключают во внеш нюю цепь источника 8 напряжения,665226 ставитель А. Гераськ нов Заказ 1800/1Тираж 1089НПО Поиск Гопо делам113035, Москва,Изд. М 33 Подписно комитета СССР открытий ая наб., д. 4/5ударствен ного зобретений и Ж, Раушс пография, пр. Сапунова 3Способ осуществляется следующим образом.Полость вакуумной камеры вакуумируют до давления 10 -- 10 -тор с помощью высоковакуумного агрегата 9, на форвакууме которого устанавливают масс-спектрометрический течеискатель 10, и механического насоса 11. Проверяемое изделие 2 заполняют пробным газом и настраивают течеискатель 10 на пик пробного газа и при наличии утечки в изделии он индицирует приращение парциального давления пробного газа в вакуумной камере. При наличии утечки определяют численную величину сравнением показаний течеискателя по утечке от изделия с показаниями течеискателя от контрольной течи, затем во внешнюю электрическую цепь подается напряжение и при включении тумблера коммутатора 5 в любое из положений 1 и между катодной ячейкой и корпусом изделия возникает электрический разряд. Молекулы пробного газа, выходящие из изделия, ионизируются электронами и захватываются электрическим полем между катодной ячейкой и анодом. В результате этого часть нейтральных молекул пробного газа, выходящих из микродефекта, участвует в формировании разрядного тока, и показания течеискателя уменьшаются, Координация зоны утечки производится по координатной системе, позволяющей фиксировать относительное расположение катодного локализатора и объекта испытания, или по углу поворота центральной либо боковой оси 5 объекта испытаний.Использование способа позволяет повысить точность определения места утечки и ее величины,10 Формула изобретенияСпособ испытаний изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделиепомещают в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере15 электрический разряд, а о негерметичностисудят по свечению пробного газа в зонеразряда, отличающийся тем, что, сцелью повышения точности определенияместа утечки, в камере вблизи изделия раз 20 мещают катодный локализатор, с помощьюкоммутатора поочередно подают напряжение на ячейки катодного локализатора, а оместоположении течи судят по положениюкоммутатора при возникновении свечения25 пробного газа.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР237433, кл. 0 01 М 3/20, 1967,30 2, Авторское свидетельство СССР168925, кл. 6 01 М 3/40, 1953,актор О, Юркова Корректо Техред А. Камышникова