Способ измерения потока газа

(22) Заявлено 210677(21) 2499709/25-28 с присоединением заявки М Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий(23) Приоритет Опубликовано 25.05,79, Бюллетень Йо 19 Дата опубликования описания 25.05.79/ (54) СПОСОБ ИЗМЕРННИЯ ПОТОКА ГАЗА Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к технике испытаний на герметичность, и может быть использовано при градуировке стандартных, течей и измерении величинЫ тЕчей, обнаруживаемых в ис" пытуемых иэделиях.Известен способ измерения потока газа, заключающийся в том, что поочередно регистрируют показания измерительного устройства, пропорциональные давлению газа (например, ионного тока масс-спектрометрического анализатора), создаваемые при подаче в непрерывно откачиваемую вакуумную камеру измеряемого потокаЦ и потока станДаРтной течи Яе 111Величина потока Ях при этом рассчитывается по формуле;дх(кх (е дЭегде дух ид 3 - приращения показанийизмерительного устройства, фиксируемые приподаче в вакуумную камеру измеряемого и стандартного потоков.Недостатком способа является низкая точность измерения при существен-ЗО ном различии величин измеряемого и стандартного потоков, что объясняется существенным различием показаний измерительного устройства.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ, заключающийся в том, что поочередно псцают измеряемый Ях и эталонныйй потоки в предварительно откачанную до предельного остаточного давления вакуумную камеру определенного объема и регистрируют скорости изменения показаний измерительного устройства при изоляции камеры откачки 121. Величину потока Црассчитывают по формуле:1 е д 1 хх (е,да хгде дух - приращения показаний эавремя 1 при подаче в камеру измеряемого потока;дЭ - приращения показаний засвремя 1 при подаче в камеру стандартного потока,Недостатком, этого способа является низкая точность измерения при существенном различии величин измеряеМого и стандартного потоков, что объясняется большой разницейвремени4Формула изобретения 664075 3и , необходимого для получениясоизмеримых показаний измерительного устройства (точнее малым временемпои работе с большей течью).Для повышения точности измерения газа различного по величине от эталонного измеряют давление при откачке камеры, создаваемое большим иэ потоков, изолируют камеру от средств откачки, откачивают камеру вновь до предельного давления и из меряют-время, необходимое, для дос - О тижения того же давления при пода че в камеру меньшего потока, после чего величину измеряемого потока находят из соотношения:3 г 9., 15ц, чгде Я, - поток, подаваемый в камерупри ее откачке;Ч - поток, подаг 1 аемый в камеруизолированную от средстваоткачки;.: - эффективная быстрота откачки камеры;У - объем камеры 1- время.Способ осуществляется следующим образом. Камера откачивается до предельного давления и при постоянной откачке в нее подается поток стан- . дартной течи Цг, Фиксируют показа,ния К масс-анализатора." Затем стандартная течь изолируется от камеры. Камера вновь откачивается до предельного остаточного давления, а затем изолируется от средства откачки. После этого на обнаруженную течь по- М дают гелий, измеряют время 1 , в течение которого показания масс-анализатора достигают значения, равного Я, и рассчитывают величину измеряемого потока Я через течь в изделии 40 по формулегЧЦ аЦй г 8 1 Способ измерения потока газа, заключающийся в том, что поочередно подают измеряемый и эталонный потоки газа в вакуумную камеру определенного объема и с предельным остаточным давлением и рассчитывают величину измеряемого потока, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точностиизмерения потока газа различного по величине от эталонного, измеряют давление при откачке камеры, создаваемое большим из потокон, изолируют камеру от средства откачки, откачивают камеру вновь до предельного давления и измеряют время, необходимое для достижения того же давления при подаче в камеру меньшего потока, после чего величину измеряемого потока находят иэ соотношения: где Я - поток, подаваемый в камерупри ее откачке;Ц - поток подаваемый в камеру,изолированную от средствоткачк игэффективная быстрота откачки камерыг1 - время;Ч - объем камеры,Источники информации, принятыево внимание при экспертизе 1. Ланис В.А;, Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М.-Л ГЭИ 1963, с. 160-170.2. ЮоЬ ЯМЬОг На 1 гонаГ 51 гпрочитн он Часоипг ТесЬгю 1 оцц Тыкаю, Регратпогг Реы, 1959, Р.126- 128Составитель В.МакаровРедактор Т,Шагова ТехреБ Л. Алферова Корректор М. ПожоЗаказ 298 3/41 Тираж 108 9 Подпис ноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москна, ЖРа 1 пнская наб. д,4/5 .