Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯВ АВТОРСКОМУ СВИДЕ 3 ЕДЬИЗУ(22) Заявлено 170877(21) 2517965/22-02 Союз Советских Социалистических РВО 3 тбднк(51)М. Кл.".," "-с присоединением заявки Ио С 25 0 21/12 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ЗЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МИКРОПРОВОЛОКИИзобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано для автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки иэ тугоплавких металлов, применяемой в радиоэлектронике и приборостроении,Известен способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропрово 10 .локи, включающий измерение выходного диаметра микропроволоки, протягиваемой через многосекционную травильную ванну с постоянной скоростью, и управление током травления в зависимости от отклонения диаметра проволоки на выходе от заданного (1).Целью изобретения является снижение неравномерности микропроволоки по диаметру. 20Это достигается тем, что измеряют первую производную по электропровод- ности ванны на входных ее секциях в направлении движения микропроволоки и корректируют величину тока травления в соответствии с отклонением производной от заданного значения увеличивают при положительном значении отклонения производной и умень шарлот при отрицательном. На чертеже приведена принципиальная электрическая схема устройства, реализующего предлагаемый способ.На входных секциях травильной ванны измеряют производную по электропроводнасти и в зависимости от знака прбизводной формируют корректирующее воздействие на силу тока травления.Проводят автоматический контроль и управление процессом электрохимического травления вольФрамовой микро- проволоки 1 в многосекционной электралитической ванне, имеющей электроды 2 и 3, Мостовой схемой, образованной дифференциальным трансформатором 4 и электродами 2,Э и 5 входных секций электролитической ванны, непрерывно измеряется первая производная электропроводности в направлении движения микропроволоки,.причем измерительная диагональ моста подключается к входу дифференциального кондуктометрического преобразователя 6. Затем величину первой производной электропроводности, которой пропорционален сигнал преобразователя 6, сравнивают с величиной сигнала блока 7 задающих воздействий с помощью схемы сравнения регулятора 8 и регулятором изменяют мощность, подво663767 Формула изобретения ИПИ Заказ 2930/24 Тираж 719 Подписное иал ППППатент , г.ужгород, ул,Проектна димую к электродам ванны от выходного трансформатора 9, посредством суммирующего усилителя 10 мощности. Одновременно с помощью емкостного преобразователя 11 измеряют выходной диаметр микропроволоки, Полученную величину в схеме сравнения корректирующего блока 12 сравнивают с сигналом блока 7 задающих воздействий и в зависимости от отклонения блоком 12 корректируется мощность, подводимая к электродам ванны посредством суммирующего усилителя 10 мощности.Способ позволяет снизить неравномерность микропроволоки по диаметру, вйзванную изменением. скорости протягивания микропроврлоки через 15 ванну из-за дефекта настройки механизма раскладчика. Это обусловлено тем, что изменейие скорости движения сразу отражается на первой производной электропроводности ванны 20 в направлении движения микропроволоки, измеренной на первых секциях ванны, и через блок сравнения регулятора передается на ,суммирующийусилитель мощности, с помощью которого изменяется ток травления.Кроме того, способ снижает неравномерность микропроволоки по диаметру при возмущениях со стороны сети питания двигателя намотки по частоте и напряжению, а также со стороны входного диаметра.Способ исключает дополнительную перемотку микропроволоки, так как получаемая конусность намотки остается в пределах, установленных допусков. Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травлениямикропроволоки, включающий измерение выходного диаметра микропроволоки, протягиваемой через многосекционную травильную ванну с постоянной скоростью, и управление током травления в зависимости от отклонения диаметра проволоки на выходе от заданного, - о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью снижения неравномерности микропроволоки по диаметру, вычисляют первую производную по электропроводности ванны на входных ее секциях в направлении движения микропроволоки и корректируют величину тока травления в соответствии с отклонением производной от заданного значения - увеличивают при положительном значении отклонения производной и уменьшают при отрицательном.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1, Способ автоматического измерения и регулирования диаметра вольфрамовой микропроволоки. Информационный листок Алтайского межотраслевого центра НТИ и пропаганды 266-76, 1976.