Устройство для передачи движения в вакуумную камеру

1.Оп ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДИТВДЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик пц 655859)М. Кл1.- 16 Т 15/44 осударстаанный номнт СССР аа делам изобретенн и еткрытий. Я. Моисеев, Г, Л. Саксаганский и Н, ф. Трушин 1) Заявитель 54) УСТРОЙСТВС ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ДВИЖЕН 1 В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУИзобретение относится к механизмам и устройствам для передачи вращательного и возвратно-поступательного движений в вакуумную камеру.Известно вакуумное уплотнение врашаю 1 цегося вала, выполненное в виде коаксиально вращающихся и неподвижных втулок с наклонными зеркально-симметричными прорезями 1.Известно также устройство для передачи движения в вакуумную камеру, в корпусе которого, выполненного с откачиваемой полостьк), установлен вращающийся приводной вал с блоком щелевых уплотнений, выполненных в виде поочередно установленных опорных неподвижных и вращающихся дисков, с наклонными зеркальоосимметричными прорезями 2. Известной конструкции свойственен существенный недостаток, связанный с тем, что невозможно осуществление возвратно-поступательного движения вращающегося вала.1 Лелью изобретения является обеспечение надежной работы устройства при вращательном и возвратно-поступательном движениях вала. Указанная цель достигается тем, что вкорпусе размещен с возможностью перемегцения вдоль оси приводного вала цилиндрический перфорированный стакан. герметизцрованцый относительно корпуса, например, сцльфоном, а блок шелевых уплотнений с приводным валом установлен в цилиндрическом стакане, причем опорные неподвижные диски выполнены с радиальными сверлениями.оНа фиг. 1 изображено предлагаемое устройство для передачи движения в вакуумную камеру, общий вид; на фцг. 2 - узел блока щелевых уплотнений.Устройство для передачи движений ввакуумную камеру содержит корпус 1 с 5 присоедицительным фланцем 2, патрубокоткачиваемой полости 3, патрубок 4 для загрузки технологического объекта и цилиндрический перфорированный стакан 5 с окнами б для сообщения с откачиваемой полостью. Корпус герметично соединен с цилиндричефсим стаканом сильфоном 7. К корпусу в месте крепления сильфона 7 жестко закреплен кронштейн 8, который является элементом узла 9 осевого перемещения,655859 Формула изобретения 1 НИЛи Заказ 1481/28 Тираж 1138 Подписио Филиал П 1 П Патент, г. Уж город, ул, Проектная шарнирно связанного с торцовой частью цилиндрического стакана. В полости цилиндрического стакана 5 смонтирован блок щелевых уплотнений, выполненный в виде опорных неподвижных дисков О и вращавшихся дисков 11, имеющих зеркально симметричные пазы 12. Вращающиеся диски и встроенный электродвигатель 14 закреплены на валу 15, поддерживающемся двумя опорными подшипниками 16. Один конец вала является продолжением вала приводного электродвигателя, другой конец оканчивается зажимом 17 для закрепления технологического объекта. Наружная поверхность цилиндрического стакана на длине блока щелевых уплотнений имеет радиальные пазы 18, сообщающиеся через перфорацию с радиальными сверлениями 9 опорных неподвижных дисков и с откачиваемой полостью.Устройство передачи движения в вакуумную камеру работает следующим образом. Для обеспечения осевого и вращательного движений технологического объекта в вакуумную камеру необходимо через патрубок 4 ввести и закрепить технологический объект на валу 15 зажимом 17, включить средства вакуумной откачки и привод электродвигателя 14. При достижении разрежения в корпусе 1 открыть шиберный затвор (не показан), соединяющий вакуумную камеру с устройством передачи движения. Цилиндрический стакан 5 при помощи узла 9 осевого перемещения движется в полости корпуса по направлению вакуумной камеры. Одновременно производится откачка газового потока из полостей, образованных корпусом и цилиндрическим стаканом через радиальные сверления 19 и радиальные пазы 18. Величина перемещения вала 15 определяется ходом сильфона 7. Устройство для передачи движения ввакуумную камеру, в корпусе которого, выполненного с откачиваемой полостью, установлен вращающийся приводной вал с блоком щелевых уплотнений, выполнен ны х в виде поочередно установленных опорных 15 неподвижных и вращающихся дисков, с наклонными зеркально-симметричными прорезями, отличающееся тем, что, с целью обеспечения надежной работы устройства при вращательном и возвратно-поступательном движениях вала, в корпусе размещен с возможностью перемещения вдоль оси приводного вала цилиндрический перфорированный стакан, герметизированный относительно корпуса, например, сильфоном, а блок щелевых уплотнений с приводным валом установлен 2 в цилиндрическом стакане, причем опорныенеподвижные диски выполнены с радиаль- Н 11 МИ СВЕРЛЕНИЯМИ.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР Зо Л;,", 265640 кл Г 16 3 5/44 9682. Авторское свидетельство СССРЮа 225631, кл, Г 16 Д 15(44, 1967.