Устройство для напуска среды
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 8065518 1(5 И Г 16 К 11 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ щий тир хно общ да тем рег рот ктроннощим сре сед сек дин тем под ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ(71) Московский институт зле го машиностроения(56) 1. Авторское свидетельство СССР Р 16966, кл. Р 16 К 3/26, 1930.2, Авторское свидетельство СССР Р 281973, кл. Р 16 К 11/00, 1970 (прототип).(54)(57) УСТРОЙСТВО ЛЛЯ НАПУСКА СРЕЖ 1, в корпусе которого устаноннен поворотный шпиндель, взаимодействуюс уплотнительным диском, контакующим с седлом, на торцовых поверм стях которых выполнены каналы, со енные с каналом подвода или отвосреды, отличающеесячто, с целью повышения точности улирования потока, на торце повоного уплотнительного диска выполсоединенный с каналом, выходяк источнику подвода (или отвода) ды, радиальный паз, а на торце ла выполнен спиральный паз, переающийся с радиальным пазом и сое енный с каналом, выходящим в сису отвода (или соответственно вода) среды.655182 Редактор Л. Утехина Техред Л.Мартяшова Корректор АЛяско акаэ 3949/1 Тираж 9 ВНИИПИ Государственно по делам изобретений 113035, Москва, Ж, 3 Подписи о комитета СССР и открытий аушская наб., д илиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул.Проектная Изобретение относится к устройствам, создающим необходимый дозированный поток газа в вакуумную систему.Известно устройство с поворотным уплотнительным диском, соединенным со шпинделем и прижимающимся пружинами к седлу (1.Известно также устройство, в котором доэирОванный напуск обеспечивается изменением кольцевого зазора 2 1 ОВ таких устройствах изменение,проводимости обеспечивается изменением площади проходного канала и в связи с существенной зависимостью проводи мости от площади сечения невозможно 15 обеспечить тонкое регулирование газового потока.Белью изобретения является обеспечение заданного закона напуска среды и повышение точности регулировало вания потока газа. Для этого в предлагаемом устройстве на торце поворотного уплотнительного диска выполнен соединенный с каналом, выходящим к источнику подвсев да (или отвода) среды, радиальный паз, а на торце седла выполнен спиральный паз, пересекающийея с радиальным пазом и соединенный с каналом, выходящим в систему отвода (или соот ветственно подвода) среды.На фиг. 1 показано предлагаемое устройство для напуска среды, разреэ; на фиг. 2 - разрез А-А фиг.1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фиг.2.В корпусе 1 на опорах йорпуса ввода движения в герметизированный объем 2 расположен шпиндель 3, сое .д ненный с уплотнительным диском 4, имеющим радиальный паэ а. Радиальный паз а соединен с отверстием, выходящим к источнику подвода (или отвода) среды, подаваемой в герметизированный объем через штуцер 5, Диск 4 поджимается пружинами б через прок ладки 7 и контактирует с седлом 8, выполненным из фторопласта и расположенным в расточке корпуса 1. Седло 8 имеет спиральный паз б, аоединенный с отверстием; выходящим в вакуумную систему, и пересекающий радиальный паэ а.;)При вращении шпинделя 3, например, от электромеханического привода, диск 4 поворачивается. При этом радиальный паз а пересекает спиральный паз б седла 8, и длина его канала от отверстия, соединенного сиисточником газа, до пересечения со спиральным пазом б изменяется в соответствии с законом спирали. Сечение радиального паза а постоянно, и вследствие этого проводимость канала зависит от скорости изменения его длины, что обеспечивает тонкое регулирование потока газа. Усилие уплотнения обеспечивается пружинами б и прокладками 7.
СмотретьЗаявка
2480334, 29.04.1977
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ЛИЛЬЕ В. К, ЛЬВОВ Б. Г, ШИХОВ А. И
МПК / Метки
МПК: F16K 11/00
Опубликовано: 07.06.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-655182-ustrojjstvo-dlya-napuska-sredy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для напуска среды</a>
Предыдущий патент: Способ очистки липазы от пигментов
Следующий патент: Торцовая фреза
Случайный патент: Катализатор для гидрирования моносахаридов