Способ изготовления биморфного элемента

Союз СоеетсваСоцмаяистицесиммРеспублик и 641630 лнительн авт. свид Ву Заявлено 05.08,77 1 Я) 2410458/18-2 51) М. Кл. нознз/ присоедин заявки М 1 куирмтмммиц маатмт СССР Фм дОМм мзИРВтмнм и мтмрмтмм(53) УДК 621.372, 412 621 791 ,3 (088,8) Дата опубликования описания 0601,7-МЯЯч 1 уЙ 4 14 тЧ,ттвС В. Н. Н. Базис 71) Заявите ИЗГОТОВЛЕНИЯ Б 1 ОРФКОГ 0 Зй.:.МЕН 1 Изобретение относится к технологии микроэлектронных и пьезоэлектрических устройств, предназначено для использования при изготовлении биморфных колеблющихся элементов,Известен способ изготовления. биморфного элемента, включающий полировку, металлизацию, склеивание, сдавливание и натрев кристаллических пластин 11.Недостатками этого способа являются большие разбросы электрических параметров биморфных элементов и резкое снижение добротности после склейки, что объясняется дестабилизирующим и демпфирующим влиянием клеевой массы между двумя колеблющимися кристаллическими пластинам: . Указанные недостатки в известной степени устраняются при переходе от склейки к спаиванию,Известен способ изготовления бнморфного элемента, включающий металлизацию неполированных кристаллических пластин, облуживание одной из их поверхностей мягким при поем, наложение кристаллических пластин друг иа круга облуженными поверхностями, сдавлнвяние нх с помощью груза и нагрев 2.Однако этот способ не позволяет достичьвысокой механической прочности в расчете на эксплуатацию биморфных элементов в современной специальной аппаратуре; биморфнце элементы, иэгоговленные таким спо.сабом, облака кт неудовлетворительными электрическими параметрами - большим ТКЧ, низ 1.ой добротностью. Разбросы значений электрических параметров в одной пар 16 тии бимсрфных элементов значительны. Кроме того, экстремум температурно-частотной характеристики в таких биморфных элементах не удается установить выше +ОфС.Цель изобретения - улучшение электрических параметров бнморфного элемента.Поставленная цель достигается тем, чтопри изготовлении биморфного элемента способом, включающим металлизацию кристаллических пластин, аблуживание одной из поверхностей каждой пластины мягким при- В поем, соединение пластин облуженными поверхностями, сдавливание их с помощью груза и нагрев, перед облуживанием металлизированные поверхности пластин полируФормула изобретения Составитель О.1 авловаТекред О. Луговая Корректор Л. Кравченко Тнрах( 1 ОБа Подннсное Редактор Б. Федотов Заказ 7538/54.И)И Государственного комитета СССР яо делан нзобретен ай н отта р ьп и й)3036, Москва, Ж.35, Раушска наб, д. 4/5 Филова ЛИГ вПатента, г Ужгород, ул. Проектная, 4к)т, я затем сОедццяОт Пластины ОО:1)у)иенцы.ми поверхнос)ями Путем Притирки их нз ОПТИЧЕСКИЙ КОЦТЭКТ, Г)АЭСГИЦЫ СДЗВгЦВЯЮт усилцев 825 КГ/сы" Я и,"1)евэОт Боц темпера уре прав):,цэ Оц)ец т(ьмперэ у 1)у соли. 5 ДУСЯ ЦСЦОЛЬЗУЕМОГО МЯГКОГО ПРИПОЯ ЦЭ т) - 70 С.1)ОАО)к ительць)и э 1)с)ект нос ггэстся блзГОДЯОй )ЛУо)(ВИНЮ Г)ЕПЛЕЦ)У )Ц)СТЯЛ ЧИЧЕС" КИХ ПЛЯСТЦН МИЦИЬ)ИЗЯЦЦИ ка"СУ ПРИБОЯ эвтОдознровяни)О этОЙ мзссь и уотрэцецию из Банного соединецця 1)с 1 стороцних Вкл)о- ЧЕНИЙ С Бр.;)б (ОЗдОЛНЕТ дСтгц) Миннтварь.т)ой голцц(цы Банного спелцеция и Бявцо. МЕр)ГОСТИ СОЕдцццтЕг)нного щвя, Об(.СПСЧИПЗ.ЕТ ПОЛНОЕ УДЗАЕЦЦЕ гпла 3 Ц Од)(ЦЯК 1 ВОСТЬ МаССЬ БРИ)ГОБ В ПЯПЦОМ СО-Дг: ЕЦИ) В РЭЗ- нь)х бимор(р)ых эдемецЭ) О э цгы Бзптци, 1 1 ОВ )щение с)(сп яе)р;т гБре(еля гоя при ЭТОМ НЕ ТОЛЬКО УЛУ.)ЕЦЕЦ)ГЕМ У)ОВИН ДпффУЗИИ ИО и УС) Ва Е)гнЕМ О, )Ооонт)ИХ ВилаеЧЕИИИ ТНП 1 Ц. КЭ, а тК)КЕ Бг:аотвй И Цъ 723 ВЬ)РЬКОВ )1 З )БЗЯНОГО СОЕДЦЕНИЯ,.Способ Пояс)Нетс( Ба ко)ц(ретцом Примере.Яехэцически Обработанные ) чи тялличес КИе КВЯрцевые ПЛЯС)цц) После ОкончЯцця р 5 обрЯботкц Бо)щком Я 11 посаупЯЮ БЯ метэллизаци)о, Пластины подвергэ)от химическому ни)гелцровэцц)О с 061 тэзовацием никс.левого покрытия толщи пой 0,4 - 0,6 мкм, Далее ннкелевое Бокрытце пззделгцот элек. трОцскровь)м способом для форыировзийй ВозбухкДЯ ю щи х зле кт 1)ОДОП. з Ятем и ОДбирают парь пластин с разбросом БО толщине не более:т. 1 мкм, Аеталлизированну)о ПОВЕРХНОСть БОЭН "ЮОТ ОЧНО( ИЯ БОВЕ)УНОСТВЙ каждой цз пластин с ПОМО)цью мцкропО 1)Оика К 5. 1,част)(ны Нагревают до 100 - 120 С и облу хан В а ют поли рова нные поверх НОсти припоем (.)Сг 61, )зомец)э) Блэстицы из разОГ)етую до 205 - 2 1 ОС ГраИтонуО ПАЯ)У И СМЯВЯЯ ПОЛНРОВЯНЦУЮ НОВ")ХЦОеть припоем. Зятем притцрэ)от пластины Облу- дв н(енными сторонами Ба Оцтгц)еский (О)г)якт нядвиГЭН Одцу Пластину ня другую (такой спОсОб притирки БОзволяет полностью удЯ- лить алак, выделяемый Припоем), Соединенные плястинь ИЭГревяют дО 250 С, зя 45 ТЕМ НЗКЛЯДЬВЯ)от ЦЭ ВЕ)Х)4)О)О ПЛЭСТННУ МЕД- иую фольгу ня нее - резиног)ую Бро(Ядку толи(иной 8 - 15 мм и стальную накладку. Далее, поместив этот набор на грэфитовой Блате в пресс, развивз)ощии давление 8 - 25 кг/см, оставляют его в прессе на время, ДОСТЯТОЧЦОЕ ДЛЯ ЕСТЕСТВЕННОГО ОХЛЯЖДЕЦИЯ биморфцого элемента.Давление выбирают в зависимости от рабочей толщины кристаллических пластин, которая может быть от 0,15 до 3 мм, Величина 8 кг/смсоответствует толщине 0,15 мм, а величина 25 кг/см - толщине 3 мм.Наличие фольги при изготовлении биморфйого элсмецта предотвращает разрушение кристаллических пластин, которое может произойти из-за расширения резины.1 Г 1 зличие же резины обеспечивает получение зластцчцоц нагрузки и равномерное распредгление дяВления.Изготовлеццые данным способом биморфцые элементы Отличаются высокой механической прочностью, высокими электрическими пяряметрями и эксплуатационной надежи осью,1. Способ изготовления биморфного элемента, включающий металлизацию кристаллических пластин, облуживание одной из поверхностеЙ кэ)кдой ластиы миг приБоем, соединение пластин облуженнцми по- ВЕРХИОСТЯМИ, СДЗВЛИВЗНИЕ ИХ С ПОМОЩЬЮ груза и НЭГреВ, отличйющиися тем, что, с целью улучц)ения электрических параметров биморфного элемента, перед облуживанием МЕТЭЛ.гИЗЦРОВЯЦЦЫЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛаСтни ПО. лнруют, а затем соединяют пластинц облужецными пОВерхностями путем притирки их на оптический контакт,2. Способ по п. 1, отлича)ощийсл тем, что пластины сдавливают с усилием 8 - 2 о .г/см", а нагревают при температуре, преВыиэ)ощей температуру солидуса используемого мягкого припоя, на 65 - 70 С.ИстОчники информации прииятые ВО Вни. МЯЦИЕ ПРИ ЭКСПЕРТИЗЕ:1. Цатент Японии5460, кл. 1 ООВ 1, 1965,2, кЗлектронная техникээ, серия 1 Х, вып. 1, 1971, с, 28 - 32,