ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(51) М, Кл С 09 ( 1/О 937/23-0 Государственный комнтет Совета Мнннотроо СИ по делам изобретений н открытнй(43) Опубкиковано 05,12,78,бюллетень 45 (45) Дата опубликования описания 15.12.7 53) УЙК 621,9( 54) ПОЛ ИРОВА ЛЬН ЫЙ АВ мпозиция со это Иэобретдля химик материало м носоединеннй, и держит 2-2 го аминорганоаэ к компоэици полирования техники и о упр овод ников 0 весЛ модифицированноросила, 2-60 весЛ траы органических оснований й), а остальное - вода.иная поверхность аэросивть аминосоединения алиматического и др, рядов, ны примеры приготовлекого применения комповителя из гру енно мон Изв ест ержащийсоставЫ аминосоединенк Модифицирова еет сравнительмалый срок ет содерж ского, аро ф но низкуюслужбы. же привед практичес ия 10 эицнй аминорганоаэросилания полупроводниковых матПример 1, Вемкодеиониэированной воды вносрошка аминорганоаэросиладо однородной консистенциикомпозицию применяют дляполирования поверхности -АСМ 1/10 или АСМ 0,5/О.Прим ер 2, Вемкостводы порциями вносят 280 гаэросила и тщательно перемешлученную композицию применялирования поверхности 51 -пл ьс 780 гаминорганоивают, Поют для поастин после ение относится о-механического электронной кристаллов пол н полировальны аэросил и воду этот состав им устойчивость и Цель изобретения - повышение стабильности состава при полировании поверхности материалов электронной техники,Эта цель достигается тем, что полировальный состав содержит аэроснл с поверхностью, модифицированной аминосоеаинениями (аминоорганоаэросил) при следующем соотношении компонентов, в вес,%:Аэросил с посерхностью,модифицированной аминосоединениями 2-25Вода ОстальноеДля повышения эффективности композиции в.ее состав можно вводить растворытравителей из группы органических амидля полироваерналов,сть с 980 гят 20 г пои перемешива636243 полирования КЗМ 5 или полированияАСМЗ/1,АСМ 2/1, АСМ 1/О и АСМ 0,5/О.Прим ер 3, Вемкостьс 900 гводы вносят 100 г аминорганоаэросилаи после перемешивания применяют для фокончательного полирования поверхности51 -пластин, подвергнутых шлифованиюи полированию.П р и м е р 4, К водной дисперсии,содержащей 20 г аминэтоксиаэросила й ф970 г воды, добавляют 10 г этилендиамина, Полученную композицию применяютдля полирования Т -пластин.П р и м е р 5, К раствору, содержащему 600 г этилендиамина и 180 г воды,фдобавляют 250 г аминоэтоксиаэросила иперемешивают, Полученную композициюприменяют для эффективного полированиякремния, подвергнутого шлифования,П р н м е р 6. К водному раствору,содержащему 100 г моноэтаноламина и 780 г воды, добавляют 120 г порошка аминоэтоксиаэросила, Композицию перемешивают и применяют для эффективногополирования 81 -пластин,П р и м е р 7, К композиции, содержащей 120 г порошка аминэтоксиаэросила и 830 г воды, добавляют 50 г30%-ной НО и после перемешиванияприменяют для полирования поверхностиОеи Яа Ав,П р и м е р 8, К композиции, содержащей 100 г порошка аминоэтоксиаэросила, 765 г воды и 100 г этилендиамина, добавляют 35 г 30%-ной Н О и после перемешивания применяют для полирования поверхности Се и монокристаллов А И ,Результаты применения предлагаем огосостава для полирования поверхности материала приведены в таблице,1,3 10,05 20,0 10,95 4,6 11,45 1,3 11,20 13,3 12,0 3,5 11,8 4,5 10,90 3,5 11,98 51 20 970 10250 150 600120 780 100120 830 - 50100 768 100 35 ОЕ,ЯО,А 5 6 Е,ОО,А 5 ООР,Зй 5 Ь Формула изобретенияПолировальный состав, содержащий Фу аэросил и воду, о т л и ч а ю щ и й -с я тем, что, с целью повышения стабильности состава при полировании по- верхности материалов электронной техники, он содержит аеросил с поверхностью, 30 модифицированной амнносоедннениями, при следукяцем соотношении компонентов,в вес.% Аэросил с поверхностью,модифицированной амикосоединениями 2-25Иода ОстальноеИсточники информации, принятые вовнимание при экспертизе: 1, Авторское свидетельство % 334852кл. С 09 6 1/02, 1970,ЦНИИПИ . Заказ 6879/19 Тираж 784 Подписное Филиал ПЙП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2333937, 09.03.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4937

АРТЕМОВ АЛЕКСАНДР СЕРАФИМОВИЧ, ОГЕНКО ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ЧУЙКО АЛЕКСЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ТЕРТЫХ ВАЛЕНТИН АНАТОЛЬЕВИЧ, ЩЕРБАТЮК ИВАН ДМИТРИЕВИЧ, ЧИЧЕРА МИХАИЛ ФЕДОРОВИЧ, КОРОТЕНКО ВАЛЕНТИНА ИВАНОВНА

МПК / Метки

МПК: C09G 1/02

Метки: полировальный, состав

Опубликовано: 05.12.1978

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-636243-polirovalnyjj-sostav.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полировальный состав</a>

Похожие патенты