Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников

ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ ТВЛЬСТВ ТОР СКОМУ С(61) Допо ельное к авт, свид-ву влево 20,04.77 21) 2484849/29-0 рисоединеннем заявкипсударственннн кпСсмта Мнннстровпо делан нзобрвтен юткрытнй 3) Приор но 25.10.78.Бюллетень(5 ЛЯ КАт; Г,1 Н.АНИЯ МЕГг".1 ОВ ОВО,Н КОВ УСГ 1 ОИСГВО ОКСДИРОВ 4 ПОЛУП Изобретение относится к устройствам для окисления металлов и полупровол;щков, в частности для термического оксцдцровация в присутствии катализаторов.Известна печь для ведения металлургических, химических и тепловых процессов, содержащая колпак, патрубки.олвола и отвода газа, размещенные на разь;х уровнях, и нагреватель 1.Цель изобретения - упростить коструив цию и обеспечить безопасность црн работе с окисляемым веществом.Это достигается тем, что устройство снабжено механизмом прижима катализатора к образцу, размещенным ца нагревателе и выполненным в виде стойки с кольцом и груза, а колпак выполнен из стекла,На чертеже дана принципиальная схема предлагаемого устройства.Нагревательная печь смонтирована ца основании 1, расположенном ца стойках 2. Ввод термопары 3, трубок 4 ц 5 подвода ц отвода газа, стоек 6 для подвода электроэнергии и крепления нагревательного элемента 7 под стеклянным колпаком 8 осуществляется через отверстия в основании 1, которые улотцяются с;юх;ощью резиновых прокладок. тскляць.и колпак 8 печи с помощью устройства. включаюцего прижим 9, прокладку 1 О и пружины 1, прижимается к резиновой проклалке 2. Контакт катализатора 13 с окислясмым образцом 4 обеспечивает устройство, состоящее из стойки 15 с кольцом 6, улержцваюццм груз 17, прижимающй катализатор 13 к образцу 14.Устройство работает след ющим образом.1 вМцкрокомпрссор 18 полает через трубк 4 воздух внутрь стеклянного колпака 8.Гоступакцций воздух удаляется после циркуляции пол текянцым колпаком через труоку 5 тволц и ромьвуо склянку 19,- 5 заолеуз полон. Техсратура реакционногоостра стцц печи поддерживается постоянной с помощью автоматики блока питания нагревателя 20 и потецццометра 21 в интервале 20 - 700"С с точностью + 10 С.Наблюдение за холом химического взаимолействця осуществяется визуально с помощью осветителя 22 с блоком питания 23.Безопасность при работе с окцсляемымвеществом, например баАз, достигается тем,629428 Формула изобретения Составитель Г. Кибовский Редактор Т. Фадеева Техред О. Луговая Корректор Д. Мельниченко Заказ 6055/36 Тираж 767 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж.З 5, Раушская наб. д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4что пары мышьяка, образующиеся при термическом разложении образцов 14 арсенида галлия, не удаляются за пределы используемой печи, а конденсируются на внутренней поверхности стеклянного колпака 8, Конденсация мышьяка обусловлена тем, что стеклянный колпак имеет более низкую температуру, чем нагревательный элемент и окисляемый образец.Коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии достаточно велик (60 - 80 й), поскольку, кроме образцов и катализатора, другие элементы печи не подвергаются специальному нагреву, а теплоотвод от нагревательного элемента 7 по стойкам 6 и за счет теплового излучения при температурах до 700 С невысок.При использовании предлагаемого устройства упрощается конструкция печи для термического окисления металлов и полупроводников; обеспечивается возможность проведения окисления при низких температурах и увеличивается коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии; обеспечивается равномерное перемешивание газа в реакционной зоне; достигается безопасность при работе с окисляемым веществом. Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников, включающее печь с колпаком и патрубками подвода и отвода газа, размещенными на разных уровнях, внутри которой установлен нагреватель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обеспечения безопасности при работе с окисляемым веществом, оно снабжено механизмом прижима катализатора к образцу, размещенным на нагревателе и выполненным в виде стойки с кольцом и груза, а колпак выполнен из стекла. 20Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССРМо 199833, кл. Г 27 В 5/00, 1965.