Способ определения коэффициента температуропроводности электропроводящих пленок

(1) 619839 Союз Советских Социалистических Республик(45) Вата опубликова Государственный комитетСовета Министров СС С Рпо делам изобретенийи открытий(71) Заявнтел ЕДЕЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТАОПРОВОДНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОПЛЕНОК(54) СПОСОБТЕМПЕРА Х Изобретение относится к областиметрологии Физических параметров. материалов и может быть использовано дляопределения коэффициента температуро-проводности электропроводящих пленок, 5применяемых, например, в электроннойтехнике,Известен способ определения коэффициента температуропроводности, включающий температурное воздействие на 10одну из поверхностей образца и регистрацию кинетики перемещения относительно упомянутой неподвижной поверхностидвух точек образца 11 . Первая из этихточек расположена в зоне температур вного возмущения на известном расстоянии от неподвижной поверхности, вторая расположена за пределами эоны теплового возмущения.Недостатками этого способаявляютсяотносительная сложность применейиядилатометрических измерений на практике и трудности достижения высокойточности измерений,Известен также способ определениякоэффициента температуропроводности,включающий нагрев образцов в виде .прямоугольных пластин путем контакта од-:ной из сторон прямоугольника с.ютойоь,жидкой диэлектрической теплопередаю- Г щей среды, поддержание. температуры теплопередающей среды постоянной в процессе измерений и несовпадаихцей но величине с первоначально псстоянной температурой образца, и дилатометрическое измерение параметров процесса нагрева и образца 21 .Однако этот способ сравнительно сложен в осуществлении и обладает невысокой точностью применительно к пленочным образцамтак как чувствительность и точность дилатометрических измерений пропорциональны исходным размерам образцов и резко снижаются при малых толщинах пленочных образцов.Целью изобретения является увеличение точности и упрощение измерений коэффициента температуропроводности применительно к электропроводящим пленочным и пластиночным образцам.Это достигается тем, что по предла. гаемому,способу до начала нагрева измеряют электросопротивление и 1 пленки, после достижения теплового койтакта пленки и теплопередающей среды ведут нелрерывнув регистрацию изменения об" щего электросопротивления образца вплоть до момента изменения характера нарастания электросопротивления,619839 Формула изобретения филиал ППП Патент, г,ужгород, ул.Проектная,4 например до появления на кинетической кривой изменения электросопротивления перегиба или излома. В этот момент рремени измеряют скорость Ч изменения электросопротивления и временной интервал, разделяющий начало нагрева и момент изменения характера нараста ния электросопротивления, Затем поток теплопередающей среды направляют на всю поверхность пленки и после того, как завершатся полностью температурные изменения в пленке и изменение ее О электросопротивления, измеряют величину предельного электросопротивления 92 и по полученным данным определяют искомую величину коэффициента О температуропроводности по формуле: 52 2-ЗО 91)2 2где 3 - длина контакта пленки с тепло- передающей средой. иВ соответствии с изобретением образец исследуемой пленки выбирают в виде прямоугольной пластины. Одну из сторон прямоугольного образца приводят в контакт с потоком жидкой диэлектрической теплопередающей среды. Температуры образца и теплопередающей среды первоначально отличаются на некоторую величину, минимальное значение которой зависит от погрешности измерения электросопротивления образ" ца. При уравнивании температур образца и теплопередающей среды электросопротивление образца должно изменитьсяна величину, превышающую, по крайней мере, на два порядка допустимую погрешность измерения электросопротивления. Температуру теплопередающей среды поддерживают в процессе измерений постоянной.До начала нагрева измеряют электроО сопротивление образца, а после достижения теплового контакта пленки и теплопередающей жидкости ведут непрерывную регистрацию изменения ее общего влектросопротивления вплоть до момен 45 та изменения характера нарастания электросопротивления, например до по-, явлении на кинетической кривой изменй.ния электросопротивления перегиба или излома. В этот момент времени измеряют скорость Ч изменения электросопротивления, а также измеряют временнойинтервал Т , разделяющий начало нагре,ва и момент изменения характера нарас-тания электросопротивления. 55Затем поток тенлопередающей средынаправляют на всю поверхность образца и ожидают, пока не завершатся полностью температурные изменения в образце и изменение его электросопротивления. После этого измеряют величинупредельного электросопротивленияМина основании полученных данных опреЦНИИПИ . Заказ 4498/40 деляют искомую величину коэффициента температуропроводности а по формуле (11 .Повышение точности и упрощение измерений по предлагаемому способу предопределяются большой точностью и удобствами измерения электросопротивления образцов, а также отсутствием необходимости измерения температуры образцов. Способ определения коэффициента температуропроводности электропроводящих пленок, включающий нагрев образцов в виде прямоугольных пластин путем контакта одной из сторон прямоугольника с потоком жидкой диэлектрической теплопередающей среды, поддержание температуры теплопередающей среды постоянной в процессе измерений и не совпадающей по величине с первоначально постоянной температурой пленки, и измерение различных физических параметров процесса и пленки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения точности и упрощения измерений, до начала нагрева измеряют электросопротивлеиие 71 пленки, после достижения теплового контакта пленки и теплопередающей среды ведут непрерывную регистрацию изменения общего электросопротивления образца вплоть до момента изменения характера нарастания электросопротивления, например до появления на кинетической 22 ривой изменения электросопротивления перегиба или излома, измеряют в этот момент времени скорость Я .изменения электросопротивления и временной интервал , разделяющий начало нагрева и момент изменения характера нарастания электросопротивления, затем поток теплопередающей среды направляют на всю поверхность пленки и после того, как завершатся полностью температурные изменения в пленке и изменение ее электросопротивления, измеряют величину предельного электросопротивления % и по полученным данным определяют искомую величину коэффициента 4 температуропроводности по формулеЗО 9т 1 уй;12,)2,где 0 - длина контакта пленки с тейлопередающей средой. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе: 1, Авторское свидетельство СССР 9 548797 кл01 М 25/18 ф 0404 751 2. Авторское свидетельство СССР 9 289344 р кл. С 01 Й 25/18 г 0910 е 69 е Тираж 1112 Подписное