Способ измерения вакуума в кварцевых резонаторах
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советсмнк соцналистичесми 1 Республик(51) М. Кл ем заявк Я 01 1 21/2 Геврдэрвтээююцй юевютет 6 эветв Меюювтреэ 666 р юэ Аэлп юэээрэтеююю э втюрмтю 6(43) Опублнков (45) Дата опуб юллетень Ю нсання 0302 ано 25 Л 2,78,ликования о(71) Заявнтел Омский политехнический инсти 4) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА В КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРАХ собственнатора.Прв сле стоты кварцевого резо Цель изобретен ологии измерения Для этого по п у в качестве тепл пальзуют тепловуюие тех едлагаемому спосоового параметра испостоянную времени Бэобретение относится к технической физике и может быть использовано при разработке и исследовании пьезокварцевых резонаторов.Известен способ измерения вакуума, заключающийся в определении.грздуировочной характеристики, выражающей зависимость теплового параметра.обьекта иэмерания, а именно температуры электронагревателя, устайбвленного в объекте, при постояээстве: рзэссеиваемой им мотаности:от давления:.внутри объекта, иэмерении.этогопараэюетраи определении гййэления.по градуировоч" ной характеристике:. )11.Недостаткои:кэвестного способа.в применении к. кварцевым резонаторами является. сложность .технологии измерения, вызванная:необходимостью раэме" щения в баллоне.резонатора .нагревателя с датчиком температуры и четырех электрических выводов от них. едлагаемюй способ осуществляютдующей последовательности.б После заварки резонатор при помощищтенгеля присоединяют к вакуумной системе и снимают градуировочную зависимость давление - тепловая постоянная времени. Для этого, сначала ус 1 О танавливают в баллоне резонатора заданное давление, контролируемое пообразцовому вакуумметру, а затем воздействуют на резонатор перепадом температур аТфТ-Т, где Т- ко 16 нечная температура пьезоэлемента,Т - его начальная температура. Ука"эанйув операцию осуществляют, помещая:резонатор с:установившимся значениемчастоты1 к., соответствующим его20 начальной температуре Тн , в сосудДьюара с жидкостью, температура которой Т,Определяют величину тепловой посто"явной времени, .как время установленияИ частоты 1 а У и + 63(Х ), где- конечйое значейие частоты, соответствующее температуре ТВсе эти операции производят для нескольких значений давления в диапаэоЮ не 1 110 - 0,5 мм рт.ст., достаточныхдля получения укаэанной вьиие градуировочной кривой.Приведенная формула справедлива для кварцевых резонаторов, имеющих линейную температурно-частотную характеристику. Для резонаторов, имеющих нели 5 нейную характеристику, необходимо выбирать такой интервал температур ( Т - Т ), в котором температурно- частотная характеристика кварцевого резонатора наиболее близка к линей ной.Предлагаемый способ позволяет определить давление в баллоне резонатора стандартной конструкции, отиаянного с гребенки откачного поста, 15 в любой момент времени, Для этого необходимо измерить тепловую постоянную времени готового кварцевого резонатора и по. градуировочной зависимости определить соответствующее 20 ей значение давления.Изобретение может Найти прииен- ние при исследовании и Разработке технологических процессов иэготовле.ния кварцевых резонаторов.Формула изобретенияСпособ измерения вакуума в кварцевых резонаторах, заключающийся в онределении градуировочной характеристики, выражающей зависимость теплового параметра резонатора от давления в баллоне резонатора,измерении этого параметра и определении давления по градуировочнойхарактеристике, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии измерения, в качестве теплового параметра исполь. зуют тепловую постоянную времени собственной частоты.кварцевого резонатора.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Востров Г.А. и др. Вакуумметры. Л., Энергияф, 1967, с,51-56.Составитель И,ПетрашеньРе акто Т.Иванова Тех З.Фанта КоЗаказ 826/44 Тираж 1011 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035 Москва ЖРа шская наб. . 4 5 ЦФилиал ППН фПатент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4
СмотретьЗаявка
2415725, 29.10.1976
ОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
ШАПИРО ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОГАН МАРК НАУМОВИЧ, ВИЛЬЩУК ВЯЧЕСЛАВ АНАТОЛЬЕВИЧ, КАБАКОВ МИХАИЛ ФЕДОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 21/22
Метки: вакуума, кварцевых, резонаторах
Опубликовано: 25.02.1978
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-594424-sposob-izmereniya-vakuuma-v-kvarcevykh-rezonatorakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения вакуума в кварцевых резонаторах</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения экстремальных значений пульсирующего давления
Следующий патент: Стенд для испытания длинных трансмиссий
Случайный патент: Способ получения четыреххлористого кремния и трихлорсилана