Способ получения асферических поверхностей

Номер патента: 585133

Авторы: Афанасьев, Белозерова, Голубева, Клочков, Шапочкин

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советским Социалистических Республик(5) М. Кл.С 03 С 1 еетаеретееаацб аематеСввете Маааетрев СССРае девам авебретеааюа етарытаа(45) Дата опубликования описания 27.1277 6.1,05 (088 8 72) Авторы изобретен. М. Клоч ва и К. в, Б.А.Шапочкин,Афанасьев Заявитель 54) СПОСОБ ПОЛУЧ тносится к области логии изготовления ерхностей на оптиозволитизделичшить Изобретение ооптической техноасферических повческих деталях,Известен способ получения асферических поверхностей путем нанесения на заготовку разделительного асферизующего слоя иэ моноокиси кремния в вакууме 111.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому способу является способ получения асферических поверхностей путем нанесения на подложку сломоноокиси кремния переменной толы через маску электронно-лучевымодом 121. Этот способ заключается в том, что наносится асфериэующий сло моноокиси кремния термическим испарением в вакуумной камере в два этапа: вначале на заготовку, нагретую до 300-400 фС, осаждается равномерный подслой моноокиси кремния, а затемчерез маску осаждается раэнотолщинный слой моноокиси кремния при обычной - . температуре заготовки около 30 С.Однако известные способы обладают следующими недостатками: требуют специального нагрева заготовки, удлиняю-. щего технологический процесс; при терАСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ мическом испарениимоноокись кремниятрудно стабилизируется по показателюпреломления, что приводит к дополнительным ошибкам геометрической .толщи 5 ны асфериэующих слоев, т.е. снижению качества асферической поверхности; кроме того, такие способы обладаютнедостаточно вйсокой прочностью.Цель изобретения - повышение ка 0 чества и прочности асферизующих слоевЭто достигается тем, что в качестве окисла кремния используют кварц,а нанесение слоев ведут дискретно столщиной каждого слоя 0,1-0,2 мкм с5 интервалами, равными времени осаждения одного слоя,Такой режим позволяет уменьшитьповерхностные и внутренние напряженияв слоях и благодаря этому сохранить20 правильную форму асферической поверх.ности, а также исключить растрескивание и отклонение.Данный режим нанесения слоев обеспечивает достаточную производительность, так как позволяет получатьполный асферизующий слой, например,в 1 мкм эа время 30 минут.Использование изобретения пповысить процент выхода годныхпри вакуумной асфериэации и улу585133 формула изобретения Составитель Г.БуровцеваТехред Н.Вабурка Корректор П.Макаревич Редактор А.Морозова Заказ 4953/14 Тираж 583 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 качественные показатели асферическихповерхностей. Способ получения асферических поверхностей путем нанесения на подложку слоев окисла кремния переменйой толщины через маску электронно-лучевым методом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества и прочности слоев, в качестве окисла кремния используют кварц, а нанесение слоев ведут дискретно с толщиной каждого слоя 0,1-0,2 мкм с интервалами, равными времени осаждения одного слояИсточники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР 10 Р 268621, кл. С 03 С 17/06, 1968,2. Авторское свидетельство СССР9 381622, кл. С 03 С 17/30, 1971.

Смотреть

Заявка

2341504, 05.04.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8337

ГОЛУБЕВА ГАЛИНА ИВАНОВНА, КЛОЧКОВ АЛЕКСАНДР МАТВЕЕВИЧ, ШАПОЧКИН БОРИС АЛЕКСЕЕВИЧ, БЕЛОЗЕРОВА ТАТЬЯНА ИВАНОВНА, АФАНАСЬЕВ КОНСТАНТИН НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 17/30

Метки: асферических, поверхностей

Опубликовано: 25.12.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-585133-sposob-polucheniya-asfericheskikh-poverkhnostejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения асферических поверхностей</a>

Похожие патенты