Способ препарирования углеродистых реплик для электронномикроскопических исследований

Номер патента: 566169

Авторы: Бурнаков, Данилов, Мосталыгин

ZIP архив

Текст

Союз СоветскииСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия(43) Опубликовано 25.07.77. Бюллетень 1 1 ч 21/01 Гдсударстееиный комитет Сдвета Иниистрда СССР ид делам иэддретений и дтнрытнй(4 б) Дата опубликования о сания 09.12,77 72) Авторы, изобретения К, К. Бурнаков, Г. П. Мосталыгин, В, Ф. Данилов и А. Г. Мосталыгмн 71) Заявитель некий машиностроительный инсти) СПОСОБ ПРЕПАРИРОВАНИЯ УГЛЕРОДИСТЫХ РЕПЛИК ДЛ ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙИзобретение относится к электр но- микрок методи. просвечископическим исследованиям, в частностике приготовления образцов (реплик) длявающей электронной микроскопии.Известны способы приготовления углеродистых, кварцевых, титановых и других реплик, в основе которых лежит конденсация соответствующих веществ из паров непосредственно на исследуемой поверхности 1) .Наилучшим комплексом свойств - механической прочностью, устойчивостью под электронным пучком, химической стойкостью, отсутствием собственной стуктуры - обладают углеродистые реплики.Известен также способ вакуумной конденсации 15 углерода на поверхности образца из вакуумной дуги 2). Получаемые этим способом реплики обеспечивают удовлетворительную контрастность. Основным недостатком способа является отсутствие высокого разрешения вследствие того, что 2 л характер изображения с таких реплик определяется различным рассеиванием потока элактронов на участках разной толщины.Цель изобретения - получение углеродных реплик, обеспечивающих высокий контраст и вы. щ сокое разрешение при их электронномикроскопнческом исследовании на просвет.Это достигается тем, что процесс напыления ведут в электростатическом поле, приложенном между образцом и угольными электродами, Ионы углерода, образующиеся в электрической дуге меж. ду угольными электродами под действием электростатического поля, ускоряются и движутся к образцу. На поверхности образца ионы нейтрали. зуются и осаждаются. Различие напряженности электрического поля у поверхности образца на выступах, впадинах и отно. сительно ровных площадках обеспечивает различие в потоках напыляемых ионов углерода, что, в конечном счете, и позволяет получать высококонтрастные реплики без дополнительного оттенения. Кроме того, рассевание электростатического поля у дефектов кристаллического строения создает условие для "декорирования" их углеродом. Последнее повышает разрешающую способность углеродистыхреплик.Способ осуществляют следунлцим образом. К образцу, расположенному на расстоянии 40 50 мм о испарителя и защищенному экраном от прямого напыления, подключается положительный полюс от566169 Составитель А, СуворовТеяред Н. Андрейчук Корректор Н, Ковалева Редактор Н. Разумова Тираж 1101 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушскея наб д, 4/5Заказ 2395/29 Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 источника питания, а к угольным электродам - отрицательный полюс. Далее между угольными электродами зажигается электрическая дуга, и про. цесс напыления ведется до получения%ленки от синего до темносннего цвета. Величину прилагаемо. го между образцом и угольными электродами на. пряжения подбирают опытным путем, обычно она составляет 500 - 2000 В и зависит от целей исследо вания и материала образца. формула изобретения Способ препарирования углеродистых реплик,для электронномикроскопнческих исследований,включающий вакуумное напыление при испарении углерода, отлича ющийся тем,что, с целью получения реплик, обладающих высокой контрастностью и разрешением, процесс напыления углерода ведут в электростатическом поле, приложенном между образцом и угольными электро. дами. Источники информации, принятые"во внимание10при экспертизе:1, Мета 1 одгарйв ересптеп ргерагет 1 оп Орб 1 сеаль е 1 естгоп нмсговсору 1 Иве-,1 огМ 1974.2 Смит Э, Сб. Приборы и методы физическогометалловедения, вып, 2, изд.во Мир, М 1974,стр. 26.

Смотреть

Заявка

2335061, 15.03.1976

КУРГАНСКИЙ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЙ ИНСТИТУТ

БУРНАКОВ КОНСТАНТИН КОНСТАНТИНОВИЧ, МОСТАЛЫГИН ГРИГОРИЙ ПЕТРОВИЧ, ДАНИЛОВ ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ, МОСТАЛЫГИН АЛЕКСАНДР ГРИГОРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 21/00

Метки: исследований, препарирования, реплик, углеродистых, электронномикроскопических

Опубликовано: 25.07.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-566169-sposob-preparirovaniya-uglerodistykh-replik-dlya-ehlektronnomikroskopicheskikh-issledovanijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ препарирования углеродистых реплик для электронномикроскопических исследований</a>

Похожие патенты