Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания

(1 ц 539345 Союз Советских Социалистических Республик)Е полнительное к авт. свпд-ву г 1) М. Кл.- Н 01 К 3/02Н 05 В 33/10б ОЗР 3/00 2) Заявлс о 29.10,73 (21) 1968750/07 исоединением зая)вкиГосударственный комитет Совета Министров СССР 23) Приорите(088.8) бликовано 15.12,76. Бюллетси4 а опубликования описания 29.12.7 по делам изобретений и открытий1) Заявител 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНДИКАТОРОВ С ТУГОПЛАВ КИМИ ЭЛЕМЕНТАМИ НАКАЛИВАНИЯИзобретение может быть использовано в области электроникив частности в технике изготовления локальных микрокатодов и индикаторных приборов с интегральными схемами управления.Известен способ изготовления индикаторов с вольфрамовыми элементами накаливания, который содержит следующие стадии. На поверхности керамической подложки осаждают слой металла с хорошей электропроводностью, в )котором формируют токоподводящие дорожки с контактными площадками. На полученную структуру наносят слой стекла и вытравливают в нем от)верстия к контактным площадкам токовой разводки. Заполнив углубления металлом, создают траверзы-контакты. Поверхность стекла с выходами тра)верз покрывают тонкой пленкой вольфрама и формируют в ней систему элементов накаливания, совмещая их концы с траверзами-контактами. Вытравив ранее нанесенный слой стекла, получают основу индикатора, состоящую из расположенной на поверхности подложки схемы токовой разводки и системы вольфрамовых элементов накаливания, подвешенных над подложкой на вертикально расположенных траверзах. Схему токовой разводки, элементы накаливания и поддерживающие их траверзы- контакты формируют )в трех разных плоскостях,Известный способ включает большое числоспецифичных и сложных по исполнению операций, необходимых для,создания индикатора с указанными конструктивными особен ностями, Кроме того, низкие температураплавления и теплопроводность керамики не позволяют повысить температуру накаливания элементов выше 1200 С, что ограничивает возможности увеличения КПД. Применение кеи рамической подложки исключает возможностьформирования на одной и той жс подложке элементов накаливания и полупроводниковых интегральных схем управления. Целью изобретения является упрощениетехнологии изготовления накальных исндикторов путем уменьшения количества, сложности и трудоемкости технологических операций и увеличение КПД индикатора за счет созда нпя возможности повышения рабочих температур.Согласно изобретению поставленная цельдостигается за счет того, что на подложку пз монокристалла высокотемпературного окисла, 25 например сапфира, наносят пленку тугоплавкого металла, в которой одновременно и в одной плоскости формпругот элементы накаливания и схему токовой разводки, после чего в структуре создают изолирующие углубления 30 под элементами накаливания.Корректор Л. Брахнина Редактор Т, Юрчикова Заказ 277513 Изд, Мо 963 Тираж 963. Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по дедам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 45Типография, пр. Сапунова, 2 Таким образом, в отличие от прототипа, где токовая разводка и элементы накаливания разнесены в различные плоскости и не могут быть сформированы одновременно, применение сапфировой подложки позволяет г 1 олучить на ней монокристаллическую пленку вольфрама и в едином процессе фотогравировки одновременно получить в этой пленке и схему токоной разводки и элементы накаливания. Три операции нанесения металла - для токовой разводки, траверз и элементов накаливания - заменяются одной операцией, нанесения пленки вольфрама, Отпадает необходимость в нанесении и последующем стравливании слоя стекла, Три операции фотогравировки - для формирования схемы токовой разводки, схемы отверстий в слое стекла под траверзы и системы элементов накаливания - заменяются одной операцией фотогравировки, в которой одновременно формируются все элементыиндикатора,Формула изобретенияСпособ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания, включающий формирование на изолирующей подложке схемы токовой, разводки, элементов накаливания из тугоплавкого металла и создание изолирующего зазора между подложкой и элементами накаливания, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и увеличения КПД индикаторов, на подложку из монокристаллического высокотемпературного окисла, например сапфира, наносят, пленку тугоплавкого металла, например вольфрама, в которой одновременно и в одной плоскости формируют схему токовой разводки и систему элементов накаливания.