Способ измерения давления газов

(61) Дополнительн ено 15.07.75 (21) 2155306инением заявки 51) М. Кл.еО. 01 1. 11/00 Ф О 1 Ь 21/00 с пр ственныи комитетМинистров СССРам изобретенийоткрытий осуд Сове орит во 531.78088.8) Опубликовано 05.11.763 юллетень 41 (53) УДата опубликования описания,17.02.77 В. Попи, Беца 2) Автори изобретен жгородский гос твенный университе(71) Заявитель ЛЕНИЯ ГА эл.ктрическим полем в направлениипараллельном (антипараллельном) естественнойполяризации, и в момент адсорбции (десорбции) молекул газов при отсутствии внешнейэ,д.с в цепи сегнетоэлектрического дат-чика измеряют ток деполяризации, по ве(личине которого судят о давлении,Датчик поляризуют полем, величина которого больше коэрцитивного поля сегнето электрика при температурах ниже точки фазового перехода сегнетоэлектрика.Способ основан на экспериментальнообнаруженном явлении адсорбо-деполяриза,ций, В момент адсорбции (десорбции) молекул газов и паров жидкостей в цепи сегнетоэлектрика при отсутствии внешней э.д.с,:Зависимость максимума этого тока от давЛения адсорбата Р в интервале О, 1-15 0 мм рт.ст.имеет почти линейный характер, которыйапроксимируется формулой апаз ным сор змеряем гдестепен 1 х широком диапаз м газо лений что сегне Это достигается кий датчик поля го датчи нешним 25(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕН Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изменрении давления газов в широком ди онеВ современной вакуумной технике для5измерения давлениягазов применяют различные способы, основанные на различныхфизических явлениях. Приборы, реализуюши,различных областях техники,Известен способ измерения давления га.зов, основанный на зависимости теплопроводности газа от давления с использоааниемсегнетоэлектрического датчика 2. Манометр обладает высокой чувствительностьюи имеет широкий диапазон измеряемых дав"лений от 10 до 760 мм рт. ст, Недост тком способа является нечувствительностьразличным сортам газов,2 СПель изобретения - обеспечение селективной чувствительности к различШта в и оне и ь ависит от природы адсорбата ииполярности сегнетоэлектрическдавления."4 РЕ 7717 77 Г)ЕДВЛРЕЕтеЕЕЬЕЕОЗВПОХявизоваЕЕНыХВ На- правлееп 7 и естественной поляризации мочокристаллов сегеЕетоэлектрика сульфоиодида сурьмы6-7 Ой .-типа Величина ) Ъ7,5.10 армм рт.ст щэи зцсорбции донорных молее 7 ул Водорода. При адсорбции акцепторных молекул кислорода Велив 77 Ечина 7 составляет 4,10 а/мм рт,ст, для предварительно заполяризованных В направлении, противоположном естественной поляризации, монокристаллов 5 Ъ Ь ."7, При ф поотиВОположных поляризациях сульфоиодида сурьмы, а также для естественно поляризованных кристаллов Б Ь 5 3 величина примерно на два порядка меньше, При адсорбции дипольных молекул спиртов величи 7 нане превышает 1,5-2,10 а/мм рт.ст.",ции при адсорбции донорных, акцепторных и ;диполярньех молекул достигается селективная ,чувствительность к природе и давлению газаОписываемый способ измерения давления газов, оснгванный на явлении адсорбо - депоряризации сегнетоэлектриков, имеет широкий интервал измеряемых давлений от 10 4 до 760 мм рт.ст., высокую чувствительность и обладает избирательной чувствительностью к различным сортам газов, которая обеспечивается определенным направлением поляризации сегнетоэлектрика по отношению к его естественной поляризации. 1. Способ измерения давления газов спомощью сегнетоэлектрического датчика,о т л й ч а ю щ и й с я тем, что, с це,лью обеспечения селективной чувствительности к различным сортам газов,в широков,диапазоне измеряемых давлений, сегнетоэлектрический датчик поляризуют внешнимэлектрическим полем в направлении параллельном .антипараллельном) направлению ес 7.тественной поляризации, и в момент адсорбции(десорбции) молекул газов при отсутствии вфшеней э.д,с. в цепи сегнетоэлектрического датчика измеряют ток деполяризации, по величине .которого судят о давлении2. Способ по и, 1,.о т л и ч а ю щ и с я тем, что оегнетоэлектрический датчикполяризуют внешним электрическим полем;величина которого больше коэрцитивного по-.;ля сегнетоэлектрика,при температурах нижеточки фазового перехода сегнетоэлектрика.Источники информации принятые во внимание при экспертизе;1. Лекк Дж, Измерение давления в ва,куумных системах . М., 1906.2. Авторское свидетельство е 7 о 281864,кл, С -01 7 21/10, 1969,Составитель О. ПолееРедактор Филипова Техред,М. Ликович Корректор Т Чаброва Заказ 5568/224 Тираж 2029,. Подписное Ш 1 ИИПИ Государствеиного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., Д, 4/5Филиал 7 ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Способ Опробован следующим образом. Сегнетоэлектрические кристаллы ЬЬ 8 и -ти ,па В течение 1 мин заполяризовались пощ РО дем, большим коарцитивного ( .е 450 В/см) при температурах ниже точки фазового перФ- хода (например при 16 С) в направлении естественной поляризации. В момент адсор 7 э-, ции молекул донорно-О газа (Н ) в цепи Об-Ф2 оазца при отсутствии внешней э.д.с. протекает ток деполяризации 10 - 10 8 а, величина которого почти линейно растет с уве личением давления от 10 до 150 мм рт.ст. ц При обратном направлении поляризации сегнетоэлектрика Величина тока 1-1,5 порядка меньше. После откачки газа цикл поляризации и напуска повторяется. Для измерения давления акцепторного га-фф за (например, 02) кристаллы 6 ЬБЗ т - типа поляризовались йолем 450 В/см В направлении, противоположном естественной поляризации. Величина тока при напуске кислорода"9 -т10 - 10 а. Для кристаллов, заполяри О1 зованных в направлении естественной поляризации, величина тока примерно иа два порядка меньше. Таким различным характером ,протекания электрического тока деполяриза 45 Формула изобретения