Способ размерного травления меди

ОР ИСАНИЙ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51) М. К 05 К 3/2 23 Р 1/О киГосударственный комитет Совета Иинистров СССР по делам изобретений н открытий(45) Дата опубликов 53) УДК 621.39 .049.75, 002 (088,8) 2) Авторы изобретени ИМаксимова и Ю.И. федо) Заявител 54) СПОСОБ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕ ЕДИ Изобретение о пеных рельефов с мельсодержащих тодом вакуумного вой фазы на изол темы с соответст водящими матери чается недоста чОднако при этомная точность воспроиЦель изобретениявоспроизведения рисуных схем. ведения рисунка.- повышение точинка, например пле разм изготовтвореуют водами,жет быть использованой в акустических преобраленни пассивных интегральроводниках, элементов ина изолирующих подложках икроэлектронике, оптике, точтроении).15 способ травления меди на оснохлорной меди СцС 6 с добавлеаСС или МНС 15 и травлении меди на участках,слоем фоторезиста, происхо иванне боковых границ меди. также способ травления меда основе раствора хлорного жес небольшим количеством НС Изобретение мо ри получении лини ователях, изготов пр следующем свес,ч,): тношени омпонентов на полупх схем н хе 0,9 калий 3,5 -19оизводят обрабоаммиака,способа заклю тегр аль ны ит,д., (вм ном машинос Известен ве раствора нием НСВ, М Однако прИодистьВода осле чего пр ом растворе Сущность чается в следующем. Пер ным н открыт торезис той меак медь фазы тых едине ользуя 0 вес войры акр ытых растравлИзвестенпленки нРеСа дит и т.д.) в слоем фоние иодиссостав свое с а ос носится к получению трав заданными размерами на атериалах, нанесенных мераспыления или из пароруюшие подложки или сисвуюшими подслойными проДля достижения цели в способе ного травления меди, например пр ленин пленочных схем, в одном ра алоидсодержащих веществ использный раствор иодистого калия и ио воначально нанесен апылением, из паро ых участках (не зак та) переводят в со ди белый налет), ис ве Э: К Э НьО =1.4;530486 Составитель В. ЛякишевРедактор Н, Коляда Техред М, Левйцкая Корректор С. Болдижар Заказ 5228/644 Тираж 1029 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 отношение), после чего иодистую медь удаляют 107 о-ным раствором аммиака в виде растворимого иодно-аммиачного комплексаС О ( Й Н ) 1 3, не затрагивая меди, находящейся под слоем Фотореэиста, 5Такое решение поставленной задачи позволяет получить отклонение размеров элементов (линий, диаметров отверстий и т,д,) на меди, полученных после травления, не более, чем на 1 мкм на сторону по сравне- р нию с размером, заданным на фотошаблоне.П р и м е р . Подложка из полупроводника или изолирующего материала (ситалла, поликора) или другого материала, обработан.ная по 13-14 классам чистоты ГОСТа пос к ледовательно обезжиривается в растворителях типа четыреххлористого углерода, толуола, спирта, после чего покрывается слоем стандартного фоторезиста на центрифуге толщиной 0,6-0,7 мкм, экспонируется и про) является в 0,5 н. растворе КОН, сушится при 85 оС в течение 20 мин, задубливается при 125 оС в течение 30 мин, после чего погружается в состав на основе З: К 3: НО = = 1:4;20 (весовое соотношение). Образую - 25 щийся в открытых участках белый налет иодистой меди удаляется затем в 10%-ном растворе аммиака, При этом образуется иодноаммичвый комплекс.При травлении меди для получения линий 30 с исходными размером 6 и 50 мкм получа - ют размеры 4,0; 4,1; 4,3; 1,425 , и 48,3; 48,15; 48,2;, 48,0; 48,2 . мкм соответственно.При использовании обычных травителейдля меди эти участки оказались полностьюстравленными,С использованием обычных травителей,например,на основе хлорного железа, получают размеры 36,7; 38,2; 37,7; 37,0 ,мкм.Формула изобретенияСпособ размерного травления меди, например при изготовлении пленочных схем, вводном растворе галоидсодержащих веществ,отличающийся тем,что сцелью повышения точности воспроизведениярисунка, например пленочных схем, используют водный раствор иодистого калия ииода при следующем соотношении компонентов (в вес.ч.):Иод 0,9-1, 1Иодистый калий 3, 5-4, 5Вода 19- 21,после которого производят обработку в 1025%-ном растворе аммиака,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, 1,.Н,бйаре а 6 7.2.6 агп,эпд,1 пу,СЬетп,чо 1 51, р, 293-298, 1953,2. Аренков А.Б, Печатные и пленочныеэлементы радиоэлектронной аппаратуры. М.,фЭнергияф, 1971., с. 127 (прототип),