Способ изготовления монолитных керамических конденсаторов

О Л И САН-КЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сова Советских Социалистических011 Я 9775 Республик гм "Г осударствеииьй комитет овета Министров СССР по делам изобретений И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1) Дополнительное к авт. свид-ву 21) 1962905,121(54) СПОСО ИЗ 1 ОТОЯЛсНИЯ НОЛИТНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОР2 Изобретение относится к технологии изготовления иногослойных монолитных керамических конденсаторов и может быть использовано на предприятиях конденсаторостроения.Известен способ изготовления монолитных керамических конденсаторов, включающий металлизацию керамических пленок, вырубку металлизированных пленок, сборку их в пакет, прессование,пакета пленок, разрезание пакета на отдельные заготовки конденсаторов и их обжиг.Колебание расположения электродов прн сборке пакета из вырубленной заранее шаблонки доходит до 600 мкм, а при вырубке шаблонки из фиксируемого приспособления в матрицу штампа или на пуансон до 150 мкм, вследствие чего зазор около электродов составляет в первом случае 800 мкм, а во втором - 200 мкм.Однако при известном способе у конденсаторов недостаточно высокая удельная емкость и высокая трудоемкость процесса.С целью повышения удельных емкостей конденсаторов и снижения трудоемкости процесса по предлагаемому способу сборку пленок в пакет совмещают с их металлизацией путем поочередной укладки керамических пленок в ,приспособление для металлизации и их металлизации в нем, после чего осуществляют в этом же приспособлении подпрессовк, полученного пакета металлпзировацных керамических пленок и затем вырубают этот пакет из приспосоолецня для металлизации.В магазин-кассету на несколько пакетов за готовок каждая на группу конденсаторов помещают керамическую пленку и прижимают ее пружиной 1 к основанию магазинакассеты.На пленку накладывают полученную фотолитографией маску, положение которой в ма газцце фиксируется штырями, Коваровая маска прижимается и основанию магазина-кассеты при помощи постояцных макетов.Магазин-кассету с пленкой помещают в вакуум-камеру и на нее через маску цапыляют 15 слой палладня. Одновременно цапыляютстолько магазинов-кассет, сколько нх помещается в камере (14 магазинов-кассет на 3 группы по 40 - 400 конденсаторов каждая, т. е. до 1 б 800 конденсаторов одновременно).20 После напыления электродов магазин-кассету извлекают из вакуум-камеры, маску снимают, на металлцзированную пленку накладывают неметаллизцрованную, а на нее вторую маску со смещенными окцамц н вновь произ водят напыление в вакууме.При металлцзации каждого слоя в результате разогрева пружин в процессе термического напыления металлизируемая пленка под пружинами приваривается к нижележащим ЗЭ слоям, чем предотвращается смещение слоевКорректор А. Дзесова Редактор Е. Караулова Заказ 1779/7 Изд. Жо 1520 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, )К, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 пленки в магазине. кассете и несовпадение электродов.По завершении набора магазин-кассету прогревают при температуре 370-+7 К. Подогретые пакеты пленок подпрессовывают в открытом объеме магазина-кассеты давлением 20 - 40 мн/м, вырубают из магазина-кассеты, помещают в закрытый объем пресс-форм и допрессовывают при давлении 150 мн/м.Сборка конденсаторов в магазине-кассете для вакуумного напыления и фиксации положения пленок сначала приварками под пружинами, а затем подлрессовкой непосредственно в магазине-кассете полностью исключает возможность смещения электродов, что позволяет уменьшить приэлектродный зазор до 50 мкм и изготовлять конденсаторы с габаритами менее 1 мкм,Экономическая эффективность способа определяется сокращением расхода палладия более чем на 50% и существенным уменьшением трудоемкости операций напыления и сборки в результате массовости производства (одновременно напыляются и собираются до 16800 конденсаторов). 5 Формула изобретенияСпособ изготовления монолитных керамических конденсаторов, включающий металлизацию керамических пленок, вырубку металлизированных пленок, сборку их в пакет, прес сование пакета пленок, разрезание пакета наотдельные заготовки конденсаторов и их обжиг, отл ич ающи й ся тем, что, с целью повышения удельных емкостей конденсаторов и снижения трудоемкости процесса, сборку пле нок в пакет совмещают с их металлизациейпутем поочередной укладки керамических пленок в приспособление для металлизации и их металлизации в нем, после чего осуществляют в этом же приспособлении подпрессовку полу ченного пакета металлизированных керамических пленок и затем вырубают этот пакет из приспособления для металлизации,