Магниторазрядный манометр

и 11- Ц)953 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Сокиалистических Республик(51) М. Кл.з б 011. 21/34 с присоединением заявкиГосударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий(72) Авторы изобретения (71) Заявитель Ю. Г. Кошко, Ю. М. Крот, В. Н. Пакулин и И. В. Федоренко Особое конструкторское бюро технической кибернетики Ленинградского ордена Ленина политехнического института им. М. И. Калинина(54) МАГН ИТОРАЗ РЯДН Ы й МАНОМЕТР Изобретение относится к области измерения вакуума, в частности к магниторазрядным манометрам.Известен магниторазрядный манометр магнетронного типа, содержащий полый цилиндрический анод, размещенный внутри него катод в виде двух дисков, соединенных между собой стержнем, и магнит. У известного манометра ограниченный участок линейности градуировочной характеристики (графика зависимости разрядного тока от давления). При давлениях выше 1 10 - " мм рт. ст. характеристика имеет вид сильно выпуклой кривой, так что при давлениях 1 10- - 5 10 -мм рт, ст. чувствительность манометра падает до нуля.Цель изобретения - улучшение линейности градуировочной характеристики и расширение пределов измеряемых давлений.Это доигаеся тем, что манометр снабжен полым цилиндром с крышкой, выполненной в виде цилиндрического магнита с центральным отверстием, и стержневым электродом, соединенным с анодом, изготовленным из магнитомягкого материала. При этом полый цилиндр укреплен соосно с анодом на одном из катодных дисков, представляющих собой цилиндрические магниты, а стержневой электрод размещен по оси полого цилиндра и проходит сквозь отверстие его крышки. Схема магниторазрядного манометра приведена на чертеже.Катод состоит из трех цилиндрических магнитов 1, 2, 3. Магниты 1 и 2 скреплены между собой центральным стержнем 4, а магниты 2 и 3 - полым цилиндром 5. Анод 6 изготовлен из магнитомягкого материала, например сплава Армко, и является одновременно корпусом манометра и магнитопроводом 10 для замьпсания магнитного потока магнитов1 и 3, Анод имеет отверстия 7 и 8 для сообщения внутренней части манометра с окружающей средой и стержневую часть в виде электрода 9, проходящего через отверстие в 15 магните 3 по оси цилиндра 5.Манометр работает следующим образом.Катод образует с анодом разрядную камеру магнетопронного типа, а со стержневым электродом 9 - инверсно-магнетронного ти па. При подаче на катод отрицательного напряжения в разрядных камерах устанавливается разряд, ток которого пропорционален давлению в манометре. Для очень низких давлений большее значение чувствительности 25 имеет магнетронная камера, а при высокихдавлениях основной прирост тока дает инверсно-магнетронная часть. Объединение разрядов двух типов позволяет получить лшейную характеристику манометра в широком 30 диапазоне измеряемых давлешш.515953 Составитель О, ПолевРедактор И. Грузова Техред Е. Подурушина Корректор Е. Рожков Заказ 1585/2 Изд.1484 Тираж 1029 Подписно ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5пография, пр. Сапунова, 2 Манометр хорошо зажигается и обладает болшпой чувствительностью при низких давлениях, требует невысокого анодного напряжения и устойчиво работает при малых магнитных полях, Градуировочная характеристика испытанного опытного образца, работавшего в магнитном поле 600 гс с напряжением на катоде 1600 в, имеет две зоны линейности. Излом характеристики происходит при давлении 1 10 - " мм рт, ст. Предел измеряемых высоких давлений достигает 5 10 - - мм рт, ст. Предмет изобретенияМагниторазрядный манометр, содержащий цилиндрический анод с отверстием в торцоьой крышке и размещенный внутри анода катод, выполненный в виде двух дисков, сое.диненных между собой стержнем, о т л и ч ающи й ся тем, что, с целью улучшения линейности градуировочной характеристики и 5 расширения диапазона измерения в сторонувысоких давлений, он снабжен полым цилиндром с крышкой, выполненной в виде цилиндрического магнита с центральным отверстием, и стержневым электродом, соединен ным с анодом, изготовленным из магнитомягкого материала, при этом полый цилиндр укреплен соосно с анодом на одном из катодных дисков, выполненных в виде цилиндрических магнитов, а стержневой электрод разме щен по оси полого цилиндра и проходитсквозь отверстие его крышки.