Тензоакселерометр
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических Республикавт. свид полнитель 2) Заявлено 07.10.74 (21) 2065868/18 с присоединением заявки1) М. Кл.а б 01 Р осударственный комите овета Министров СССР 3) Приорите публиковано 53) УДК 531,768(0 76. Бюллетеньо делам изобретени и открытийата опубликования описания 26.04.7 72) Авторы изобретения. Д. Сапрыгин и М. Л. Тарас 1) Заявител ЗОАКСЕЛ ЕРОМЕТР атуора нзо- емя времени к работе,ребляемой Изобретение относится к области измерительной техники.Известны тензоакселерометры, содержащиекорпус с расположенными в нем консольнозащемленной кремниевой балкой с инерционной массой на конце, тензорезисторами,включенными по мостовой схеме, и стабилизирующим температуру элементом.Цель изобретения - уменьшениена подготовку тензоакселерометраего габаритов, веса и снижение потмощности.Это достигается тем, что в нем стабилизирующий температуру элемент выполнен ввиде диффузионного резистора, расположенного на балке вокруг тензорезисторов.На фиг. 1 представлена конструктивнаясхема тензоакселерометра, на фиг. 2 показанорасположение на балке тензорезисторов идиффузионного резистора,Полупроводниковый тензоакселерометр содержит ( фиг. 1) корпус 1 с расположеннымив нем консольно защемленной в основании 2кремниевой балкой 3 с инерционной массой 4на конце, с каждой стороны которой укреплены (фиг. 2) по два тензорезистора 5 и одному стабилизирующему температурт диффузионному резистору 6. Последние электрически связаны через выводы 7 с бескорпуснымполевым транзистором 8, колодкой 9 и камерой 10, заполненной демпфирующей жидкостью. Тензорезисторы 5 и полевой транзистор 8 подсоединены к колодке 9. Электронная схема стабилизатора температуры располб 5 жена внутри корпуса (на чертеже не показана),.Выполнение стабилизирующего темперру элемента в виде диффузионного резист 6, расположенного на балке 3 вокруг те 10 резисторов 5, позволяет уменьшить врподготовки к работе, поскольку при этом не тратится время на перенос тепла от стабилизирующего к тензочувствительным элементам, снизить потребляемую мощность, так как нет 15 необходимости нагревать все пространствовнутри корпуса, и значительно уменьшить объем и вес тензоакселерометра.При воздействии линейного ускорения происходит перемещение инерционной массы 4, 20 вызывающее деформацию кремниевой балки3 и, следовательно, тензорезисторов 5, что приводит к изменению величины их сопротивления, которое регистрируется, При этом постоянство зависимости изменения сопротив ления тензорезисторов 5 от деформации приизменении температуры окружающей среды обеспечивается поддержанием постоянной температуры путем регулирования с помощьк полевого транзистора 8 напряжения, подава.30 емого на диффузионный резистор 6.504978 Формула изобретения Составитель А, Климоведактор И. Грузова Техред М. Семенов Корректор А. Галахова Тираж 1029Совета Минисоткрытийкая наб., д. 4 каз 90 И 8 Изд1137 ЦНИИПИ Государственного комитет по делам изобретений 113035, Москва, Ж, РауПодписноев СССР Типо ия, пр. Сапунова,Тензоакселерометр, содержащий корпус с расположенными в нем консольно защемленной кремниевой балкой с инерционной массой на конце, тензорезисторами, включенными по мостовой схеме, и стабилизирующим температуру элементом, отличающийся тем, что,с целью уменьшения времени подготовки тензоакселерометра к работе, уменьшения его габаритов, веса и потребляемой мощности, в нем стабилизирующий температуру элемент выполнен в виде диффузионного резистора, расположенного на балке вокруг тензорезисторов.
СмотретьЗаявка
2065868, 07.10.1974
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4665
САПРЫГИН ВЯЧЕСЛАВ ДМИТРИЕВИЧ, ТАРАСОВ МИХАИЛ ЛЕОНИДОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01P 15/12
Метки: тензоакселерометр
Опубликовано: 28.02.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-504978-tenzoakselerometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тензоакселерометр</a>
Предыдущий патент: Струнный резонатор
Следующий патент: Квазиуравновешенный мост переменного тока
Случайный патент: Обуривающий грунтонос