Номер патента: 498770

Автор: Яловега

ZIP архив

Текст

11498770 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советских Социалистических Респубики.Кл. Н 05 К 3 18 6 013,г 08 соединением заявки -23) Приоритет -ГосударственСовета Мини по делам и ый комитет УттК у 1 1 с 3 2;66.028 088.8) убликовацо 05.01.76, Бюллетень М ров СССРоретений 45) Дата опубликования описания 17.06.76 ткрытии 2) Автор изобретеци Н. В, Яловегаовский институт электронной техник) Заявитель 54) ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ 25 Изооретение относится к производству микроэлектронных схем, в частности к устройствам для точного дозировация мпкрорасходов жидкости.Известен, дозатор жидкости, содержащий контейнер для жидкости и сообщающийся с ним через пористую перегородку испаритель с патрубками для газа-носителя,Однако известное устройство дозирует жидкость с невысокой точностью из-за невозможности управления расходом жидкости.Цель изобретения - повышение точности дозировация - достигается тем, что предлагаемьш дозатор снабжен находящимися ца противоположных плоскостях пористой перегородки сетчатыми электродами, соединенными с источником напряжения.Дозатор изображен на чертеже.Тонкостенный из пластичного материала контейнер 1 герметично соединен с пробкой 2, в которой выполнена горловина для заправки жидкостью в исходный момент и подачи жидкости при работе. Контейнер с пробкой герметично закреплен в корпусе 3 через прокладки 4 с помощью гайки 6. Горловина пробки перекрыта пористой 1 перегородкой б, разделяющей крышку 7 на две камеры, в одну из которых вмонтированы входной 8 ы выходной 9 патрубки для инертного газа-носителя. Полость корпуса 3 сообщается с магистралью сжатого газа или жидкости .ерез патрубок 10 для подачи сжимающего газа.На противоположных плоских поверхностях перегородки 6 впаяны сетчатые электроды, соединяемые с источником напряжения постоянного тока контактами 11.Устройство работает следующим образом, После заправки жидкостью и соединения патрубков 8 и 9 с магистралью инертного газа контакты 11 соединяют с источником постоянного тока. Полярность контактов выбирают так, чтобы создать запирающее электрическое поле между сетчатыми электродами. Затем по патрубку 10 в зазор между контейнером 1 и внутренней поверхностью корпуса 3 подают сжатый газ под избыточным давлением. Контейнер сжимается, но жидкость не проникает сквозь запертую пористую перегородку 6 в магистраль инертного газа-носителя, Напряжение на контактах снижают до нуля. При этом, в зависимости от давления газа, сжимающего контейнер, и размеров каналов в перегородке.б создается начальный расход жидкости из контейнера. Изменяя полярность,контактов и повышая напряжение на них от нуля до максимума, изменяют расход жидкости. Ее расход соответствует напряжению, приложенному к контактам 11.Если расход газа-носителя через патрубки 8 и 9 постоянный, изменению расхода жидЗаказ 229/698ЦНИИП Изд.201осударственного комитетапо делам изобретенийМосква, Ж, Раушская Тираж 1029овета Министровоткрытийнаб., д, 4/5 Подписно ип, Харьк. фил. пред, Патент кости сквозь перегородку 6 соответствуют изменения концентрации паров жидкости в газовой смеси, поступающей в рабочую зону технологического оборудования. Формула изобретенияДозатор жидкости, содержащий контейнер для жидкости и сообщающийся с ним через пористую перегородку испаритгль с патрубками для газа-носителя, отлиающйся тем, что, с целью повышения точности дозирова нпя, он снабжен находящимися на противоположных плоскостях пористой перегородки сетчатыми электродами, соединенными с источником напряжения.

Смотреть

Заявка

2033335, 26.03.1974

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

ЯЛОВЕГА НИКОЛАЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H05K 3/18

Метки: дозатор, жидкости

Опубликовано: 05.01.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-498770-dozator-zhidkosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Дозатор жидкости</a>

Похожие патенты