Устройство для травления плоских заготовок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51) М. Кл. Н 051 3,06 с присоединением заявки ЛЪ Гасудвратвенный иа 1 иитет23 ПриоритетСовета Министров СССРда дедам изобретений Спубликовано 15.08,75. Бюллетень Ле 30,002 (088.8) и аткрытий Дата опубликования описания 11.11.75(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК 15 Предмет изобретения Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления изделий радиоэлектроники.Известны устройства для травления плоских заготовок, содержащие камеру травления, кольцевую зубчатую кассету, размещенную в пазу направляющей, и насос с трубопроводом, имеющим сопла для подачи травителя.Недостатком известных устройств является неравномерное распыление травителя.Цель изобретения - повышение равномерности травления достигается тем, что труоопровод с соплами, соединенный с насосом, размещен в пазу направляющей, причем сопла расположены в продольной плоскости кассеты с воз:Ожностью передачи перемещения кассете при воздействии на нее травителя, подаваемого из сопл.Ня чертеже показано описываемое устройство. Оно содержит камеру травления 1, в нижней части которой размещена направляющая 2, В пазу направляющей расположена кольцевая зубчатая кассета 3 с обрабатываемой заготовкой 4. В продольной плоскости кассеты смонтированы сопла 5 так, что их выходные отверстия расположены напротив уступов отдельных зубцов кассеты. Для циркуляции травителя в устройстве предусмотрен насос б с трубопроводом, расположенным в пазу направляющей. Прн включении насоса камера заполняетсятрявителем, после 1 СГО В нее зяГружяется кассета с обрабатываемой заготовкой (лист метялля нли фольГировяннОГО диэле 1 трикя с ня несе 1 гным защитным слоем фоторсзиста).В процсссе работы насоса травитель, поступаюгций через сопла в виде струи, приводит кассету во вращательное движение. Одновременно с вращением кассета получает колеба З тельное движенне в всртикальнои плоскости,благодаря чему обеспечиваются условия для равномерного двустороннего травления. Устройство для травления плоских загото вок, содержащее камеру травления, кольцсгуюзубчатую кассету, размещешую в пазу направляющей, и насос с трубопроводом с соплами для подачи трявителя, о т л и ч я ю щ е ес я тем, что, с целью повышения равномерно 25 стп травления, труоопровод с соилами, соединенный с насосом, размещен в пазу направляющей, причем сопла расположены в проДОЛЬНой ПЛОСКОСТИ КЯССЕТЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ переда ш перемещения кассете при воздейст вии на нее травителя, подаваемого из сопл.Заказ 256915 Из;. Ло 170-1 Тира,к Е 6 о Ц 11 ИИг 1 И Готу;ррлпсппо и ксп. тста Гогота Мпппстроп СС,СР по дсча.д и обостсппи и откр;.гпи Москва, /1,-3 о. Ратигкап иао., а, 4 ипограсп;и, пр, (.апуиопа,оаипси
СмотретьЗаявка
1949362, 06.07.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8657
ШАПКИН ГЕРАЛЬД АЛЕКСАНДРОВИЧ, ШОРШИГИН ИВАН НИКАНОРОВИЧ, БЕЛЕВИЧ ГЕНРИХ МЕЧИСЛАВОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05K 3/06
Метки: заготовок, плоских, травления
Опубликовано: 15.08.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-481144-ustrojjstvo-dlya-travleniya-ploskikh-zagotovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для травления плоских заготовок</a>
Предыдущий патент: Нагреватель газа регенеративного типа
Следующий патент: Устройство для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблона с подложкой
Случайный патент: Автономная криогенная теплозащитная система жизнеобеспечения