Устройство для испарения жидкости
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(23) ПриоритетОпубликовано 30.01.75. БюллетеньДата опубликования описания 18,03.75 17 2 51)м, К рстввиный комите Министров СССР Госсу Сове2) Авторыизобретени1) Заявитель Л. И. Дьяконов и Б. И. Рударственный ордена Октябрьской Революции исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности Госу науч ЕНИЯ ЖИДКОСТИ 54) УСТРОЙ Я Об расч 25 межИзобретение относится к технологии полупроводниковых материалов.Известно устройство для испарения жидкости в процессе эпитоксиального наращивания слоев из газовой фазы, содержащее испарительную камеру, резервуар для жидкости, входной и выходной патрубки для газа,В устройстве постоянство уровня жидкости в испарительной камере обеспечено за счет автоматической компенсации испаряющейся жидкости с помощью резервуара, представляющего собой камеру, оканчивающуюся внизу открытой трубкой, отверстие которой находится на уровне жидкости в испарительной камере. Понижение уровня жидкости в испарительной камере восстанавливается за счет жидкости, поступающей из резервуара,Однако первые порции газовой смеси обогащены легколетучими примесями, последние - труднолетучими, что приводит к фракционированию примесей в жидкости, Кроме того, возможны колебания уровня жидкости, вызванные изменениями давления в системе.Цель изобретения - уменьшение фракционирования примесей жидкости при сохранении ее постоянного уровня.Для этого внутренняя камера выполнена с отверстиями в боковых стенках, расположенными на разных уровнях, размещена на поплавке и соединена по скользящеи посадке спатрубком для входа газа.На чертеже изображено предложенное устройство, вертикальный разрез.В цилиндрическом корпусе 1 размещен поплавок 2 с укрепленной на нем внутреннейкамерой 3. Камера заканчивается трубкой 4,которая свободно скользит в уплотнении 5 навходе газа в испаритель. Газ подается через10 патрубок 6 и удаляется через патрубок 7. Камера имеет отверстия а и б, расположенныена разных уровнях,Устройство работает следующим образом,Жидкость залечивают в корпус 1 через па 15 трубок 6. Газ поступает в камеру 3 черезвходной патрубок 6 и по трубке 4 отводитсячерез отверстия а в боковой стенке камеры,расположенные выше уровня жидкости в ней.При понижении уровня жидкости поплавок 220 опускается, и жидкость через отверстия б поступает в камеру, чем поддерживается постоянство уровня жидкости в ней,ъсм и вес поплавка подобраны с такиметом, чтобы уровень жидкости находилсяду входными отверстиями для жидкостии выходными отверстиями для газа. Небольшая часть газа может пройти через зазор вуплотнении 5. Однако гидравлическое сопротивление этого зазора намного больше гид 30 равлического сопротивления канала, подводяСоставитель В. Безбородоваупрякова Техред Е, Борисова Корректор И, Позняковска Редактор Изд.106сударственног по делам иМосква, Жаказ 611/12ЦНИИПИ Тираж 782комитета Совета Министробретений и открытийРаушская наб., д. 4/5 ПодписССР афия апунова, 2 щего газ к испарительной камере, поэтому этот зазор существенного значения не имеет.То, что объем жидкости в испарительной камере составляет часть общего объема жидкости в резервуаре испарителя, значительно уменьшает фракционирование. Изменения давления в системе не сказываются на работе описанного устройства.Устройство используют при выращивании эпитоксиальных слоев арсенида галлия в открытой хлоридной системе. Жидкий трихлорид мышьяка заливают в корпус, в качестве газа носителя используют водород.Полученные слои имеют значительно меньший разброс электрофизических параметров в отличие от закономерного и нежелательного изменения этих параметров в серии опытовдля испарителя барбатажного типа,Предмет изобретенияУстройство для испарения жидкости в процессе эпитоксиального наращивания слоев, ,содержащее корпус с расположенной внутри камерой, входной и выходной патрубки для газа, отличающееся тем, что, с целью 10 уменьшения фракционирования примесейжидкости при сохранении ее постоянного уровня, внутренняя камера выполнена с от верстиями в боковых стенках, расположенными на разных уровнях, размещена на поплав ке и соединена по скользящей посадке с патрубком для входа газа.
СмотретьЗаявка
1901179, 29.03.1973
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ НАУЧНО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ПРОЕКТНЫЙ ИНСТИТУТ РЕДКОМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
ДЬЯКОНОВ ЛЕВ ИВАНОВИЧ, РУДА БОРИС ИОСИФОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B01J 17/28
Опубликовано: 30.01.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-458326-ustrojjstvo-dlya-ispareniya-zhidkosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для испарения жидкости</a>
Предыдущий патент: Способ получения катализатора для воздушного электрода
Следующий патент: Электролит для электролитического получения кислорода
Случайный патент: Устройство для защиты от перегрузок