Электростатическое крепежное устройство

Номер патента: 454654

Авторы: Таиров, Тонкий

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е р) 454654ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 24,07.73 (21) 1948077/26-25 51) М, Кл. Н 02 п 130 ОВ 23 ц 3/15 мнением заявкис прис Государственный комите Совета Министров СССР ло делам изобретенийи открытий(32) ПриоритетОпубликовано 25,12,74. БюллетеньДата опубликования описания 24.02.7 о 3) УДК 62-229.3В. Н, Таиров и Л. В. Тонкий Ленинградский ордена Ленина лектротехнический институт им. В. И, Ульянова (Ленина(54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕ КРЕПЕЖНОЕ УСТРОЙС Изобретение относится к элект ским крепежным устройствам и мо применение в тех областях техники буется закрепление электропровод магнитных, так н немагнитных дет технологической обработке металли полупроводниковых объектов. ростатичежет найти , где тре ящих как алей при ческпх и статическое общий впд междузакрепо обра ли, осоИзвестно электростатическое крепежное устройство, имеющее в качестве рабочего эле мента полупроводящую плиту, нижняя поверхность которой металлизирована, а верхняя, рабочая поверхность покрыта тонким слоем диэлектрика. Источник высокого напряжения одним полюсом соединен с ниж ней стороной плиты, другим - с объемным контактным узлом, помещенным сбоку от плиты и расположенным над ней, например, в виде скобы. При наложении детали на рабочую поверхность плиты вплотную к контактному 20 узлу образуется конденсаторная система, в которой одной обкладкой является закрепляемая деталь, другой - металлизированная сторона плиты. За счет энергии электрического поля такого конденсатора происходит 25 закрепление детали. При случайном нарушении контакт деталью и контактным узлом усилие ления исчезает, кроме того невозмож ботать всю поверхность плоской дет бенно малой толщины, из-за наличия контактного узла.Цель изобретения - увеличить надежность закрепления деталей.Это достигается тем, что вместо объемного контактного узла для подвода электрического потенциала к детали используется нанесенный непосредственно на рабочую поверхность плиты электрод в виде узких, равномерно распределенных по поверхности металлических полос, имеющих постоянный контакт с одним полюсом источника высокого напряжения.На фиг. 1 представлено электрокрепежное устройство; на фиг. 2 -плиты с электродами.Устройство состоит из полупроводящей плиты 1, закрепленной металлическими накладками 2 в корпусе 3. На нижнюю сторону плиты нанесен слой металла 4, играющий роль одного нз электродов. Второй электрод 5 в виде узких полос шириной, например, 0,2 - 0,5 мм и толщиной 5 - 10 мкм нанесен на рабочую поверхность плиты. Источник высокого напряжения 6 одним полюсом соединен с электродом 4, другим через корпус 3, накладку 2 и контактные площадки 7 - со вторым электродом 5.Расстояние между полосками второго электрода должно быть в два или более раза боль. ше, чем толщина плиты,454654 Фиг.1 Фиг Составитель В, БаевТехред Г. Васильева Редактор О. СтепинаЗаказ 186/18ЦНИИПИ Г Корректор В. Кочк Изд.242 ударственного комитета по делам изобретений Москва, Ж, РаушскаяТираж 781Совета Миниоткрытийнаб., д-: 4/5 Подписноов СССР Типография, п апунова,3Для закрепления одной или нескольких деталей необходимо установить их на рабочую поверхность плиты и подать напряжение на электроды. При снятии напряжения деталь открепляется. Предмет изобретения Электростатическое крепежное устройстводеталей, содержащее блок питания, полупроводящую плиту, установленную в корпусе, электроды, один из которых выполнен в виде слоя металла-и расположен на нижней стороне плиты, а другой расположен на верх ней рабочей стороне плиты, отличающийс я тем, что, с целью увеличения надежности закрепления деталей, второй электрод выполнен в виде по крайней мере одной полосы металлической пленки, нанесенной на верхнюю 10 рабочую поверхность плиты.

Смотреть

Заявка

1948077, 24.07.1973

ЛЕНИНГРАДСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. В. И. УЛЬЯНОВА

ТАИРОВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ, ТОНКИЙ ЛЕОНИД ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H02N 13/00

Метки: крепежное, электростатическое

Опубликовано: 25.12.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-454654-ehlektrostaticheskoe-krepezhnoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электростатическое крепежное устройство</a>

Похожие патенты